Микроскоп электронный растровый Philips XL 40
| Номер в ГРСИ РФ: | 42432-09 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Philips Analytical X-Ray B.V.", Нидерланды |
| 42432-09: Описание типа СИ | Скачать | 136.1 КБ |
Для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотельных структур. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 42432-09 |
| Наименование | Микроскоп электронный растровый |
| Модель | Philips XL 40 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | Нидерланды |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 37477 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 12д от 10.12.09 п.14 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Philips Electronics N.V.", Нидерланды
Нидерланды
Europe nanoport achtseweg noord 5 bldg 5651 gg, Eindhoven, The Netherlands
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.631-07 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 42432-09: Описание типа СИ | Скачать | 136.1 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный растровый Philips XL 40 (далее- микроскоп) предназначен для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Прибор позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотельных структур.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Технические характеристики
|
Параметры |
Значение |
|
Диапазон регулировки увеличения, крат |
20-200000 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
32 |
|
Диапазон измерения линейных размеров, мкм |
0,1-10000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
|
Источник электронов |
катод из гексаборида лантана LaBe |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
1-30 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм |
3,5 |
|
Напряжение питания переменного тока, В |
ZZU -15% |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВт |
4,7 |
|
Общая масса, кг |
1000 |
|
Габаритные размеры в собранном виде, mmj |
2770x900x1900 |
|
Рабочие условия эксплуатации: • температура воздуха в помещении, °C • уровень стабильности температурного режима, °C /ч • влажность, % |
20±3 < 1 <95 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый Philips XL 40, комплект ЗИП и расходные материалы, руководство по эксплуатации.
Поверка
Поверка микроскопа электронного растрового Philips XL 40 проводится по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки». Средство поверки - мера ширины и периода специальная МШПС-2.ОК, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
1. ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
2. ГОСТ Р 8.628-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»
3. ГОСТ Р 8.629-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки»
Заключение
Тип микроскопа растрового электронного Philips XL 40, заводской номер D646, утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
