44713-10: МИА-1 Микроскоп интерференционный автоматизированный - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 44713-10
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва
Скачать
44713-10: Описание типа СИ Скачать 151.2 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов. Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 44713-10
Наименование Микроскоп интерференционный автоматизированный
Модель МИА-1
Технические условия на выпуск тех.документация ФГУП
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2010
Страна-производитель  Россия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 40262
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.74
Производитель / Заявитель

ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва

 Россия 

119361, ул.Озерная, 46, тел./факс (495) 437-29-92, 437-32-01, 437-33-11, тел/факс 437-31-47 (103031, ул.Рождественка, 27) www.vniiofi.ru, E-mail: vniiofi@vniiofi.ru

Поверка

Методика поверки / информация о поверке раздел 4 Руководства по эксплуатации ВНИИМС
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

44713-10: Описание типа СИ Скачать 151.2 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (далее микроскоп) предназначен для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов.

Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в

Приложение к свидетельству №                       Лист 2

об утверждении типа средств измерений                            Всего листов 4

персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

Технические характеристики

Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм

175x130

Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм

20

Пределы допускаемой погрешности по глубине рельефа, в долях длины волны А

±АУ350

Пределы допускаемой абсолютной погрешности в плоскости изображения, мкм

±0,4

Числовая апертура микрообъектива

0,65

Пределы перемещения для фокусировки, мм

3

Увеличение, крат

33,4

Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм

±1,5

Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм

0,003

Осветитель

твердотельный лазер

длина волны, мкм

0,473

мощность, мВт

20

Размерность изображения, пиксел

1392x1040

Время измерения и обработки, с

30

Число обрабатываемых интерференционных картин

9

Приложение к свидетельству №                       Лист 3

об утверждении типа средств измерений                            Всего листов 4

Частота сети питания, Гц

50±1

Напряжение в сети питания, В

220±20

Потребляемая мощность, не более Вт

250

Комплектность

Микроскоп МИИ-4М (ЛОМО)

1 шт.

Цифровая ПЗС-камера Видеоскан-205-USB

1 шт.

Осветительный лазерный блок

1 шт.

Волоконно-оптический жгут

1 шт.

Плата управления пьезоприводом

1 шт.

Плата контроллера PCI Ю

1 шт.

Компьютер

1 шт.

Монитор

1 шт.

Соединительные кабели

2 шт.

Руководство по эксплуатации

1 шт.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.

Поверка

Поверка микроскопа производится в соответствии с разделом 4 «Методика поверки» Руководства по эксплуатации, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в июле 2010 г.

Основные средства поверки: рельефная мера высоты SHS-180QC , объект-микрометр ОМО ДТ7.216.009ПС.

Межповерочный интервал - Иод.

Нормативные документы

Приложение к свидетельству №                       Лист 4

об утверждении типа средств измерений                            Всего листов 4

Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1.

Заключение

Тип микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Другие Микроскопы

Default ALL-Pribors Device Photo
Универсальный (многоцелевой) прибор для трёхмерного анализа микрорельефа отражающей поверхности, создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта. Область...
Default ALL-Pribors Device Photo
44846-10
Z200 Микроскопы измерительные универсальные
ООО "МЦ "Мастер-Сервис", г.С.-Петербург
Для измерений линейных и угловых размеров различных изделий (резьбовых изделий, режущего инструмента, профильных шаблонов, лекал, кулачков, конусов, метчиков, резьбонарезных гребенок, диаметров сквозных отверстий и др) в прямоугольных и полярных коор...
Default ALL-Pribors Device Photo
44967-10
NVision 40 Микроскоп растровый электронный
Фирма "Carl Zeiss, Inc.", Германия
Для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследоват...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком. Микроскоп может применяться при проведения научных...
Default ALL-Pribors Device Photo
45021-10
Innova Микроскоп атомно-силовой
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
Для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах. Область применения - в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и про...