Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1
| Номер в ГРСИ РФ: | 44713-10 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва |
| 44713-10: Описание типа СИ | Скачать | 151.2 КБ |
Для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов. Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 44713-10 |
| Наименование | Микроскоп интерференционный автоматизированный |
| Модель | МИА-1 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация ФГУП |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40262 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.74 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва
Россия
119361, ул.Озерная, 46, тел./факс (495) 437-29-92, 437-32-01, 437-33-11, тел/факс 437-31-47 (103031, ул.Рождественка, 27) www.vniiofi.ru, E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | раздел 4 Руководства по эксплуатации ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 44713-10: Описание типа СИ | Скачать | 151.2 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (далее микроскоп) предназначен для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов.
Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в
Приложение к свидетельству № Лист 2
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Технические характеристики
|
Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм |
175x130 |
|
Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм |
20 |
|
Пределы допускаемой погрешности по глубине рельефа, в долях длины волны А |
±АУ350 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности в плоскости изображения, мкм |
±0,4 |
|
Числовая апертура микрообъектива |
0,65 |
|
Пределы перемещения для фокусировки, мм |
3 |
|
Увеличение, крат |
33,4 |
|
Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм |
±1,5 |
|
Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм |
0,003 |
|
Осветитель |
твердотельный лазер |
|
длина волны, мкм |
0,473 |
|
мощность, мВт |
20 |
|
Размерность изображения, пиксел |
1392x1040 |
|
Время измерения и обработки, с |
30 |
|
Число обрабатываемых интерференционных картин |
9 |
Приложение к свидетельству № Лист 3
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
|
Частота сети питания, Гц |
50±1 |
|
Напряжение в сети питания, В |
220±20 |
|
Потребляемая мощность, не более Вт |
250 |
Комплектность
|
Микроскоп МИИ-4М (ЛОМО) |
1 шт. |
|
Цифровая ПЗС-камера Видеоскан-205-USB |
1 шт. |
|
Осветительный лазерный блок |
1 шт. |
|
Волоконно-оптический жгут |
1 шт. |
|
Плата управления пьезоприводом |
1 шт. |
|
Плата контроллера PCI Ю |
1 шт. |
|
Компьютер |
1 шт. |
|
Монитор |
1 шт. |
|
Соединительные кабели |
2 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
1 шт. |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Поверка
Поверка микроскопа производится в соответствии с разделом 4 «Методика поверки» Руководства по эксплуатации, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в июле 2010 г.
Основные средства поверки: рельефная мера высоты SHS-180QC , объект-микрометр ОМО ДТ7.216.009ПС.
Межповерочный интервал - Иод.
Нормативные документы
Приложение к свидетельству № Лист 4
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1.
Заключение
Тип микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
