Микроскоп сканирующий интерференционный белого света Zygo NewView 6200
| Номер в ГРСИ РФ: | 44714-10 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Zygo Corporation", США |
| 44714-10: Описание типа СИ | Скачать | 242.6 КБ |
Универсальный (многоцелевой) прибор для трёхмерного анализа микрорельефа отражающей поверхности, создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта. Область применения - научно-исследовательские институты, оптическое приборостроение и микроэлектроника.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 44714-10 |
| Наименование | Микроскоп сканирующий интерференционный белого света |
| Модель | Zygo NewView 6200 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40263 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.75 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Zygo Corporation", США
США
Laurel Brook Road P.O. Box 448 Middlefield, Connecticut 06455 тел. (860) 347-8506
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 44714-10: Описание типа СИ | Скачать | 242.6 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп сканирующий интерференционный белого света NewView 6200 (далее - микроскоп) - это универсальный (многоцелевой) прибор для трёхмерного анализа микрорельефа отражающей поверхности, создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта.
Область применения - научно-исследовательские институты, оптическое приборостроение и микроэлектроника.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на способности световых колебаний отражаться от поверхности среды, имеющей отличный от воздуха показатель преломления и интерференции отраженных от поверхности исследуемого объекта и опорного зеркала световых колебаний. Прибор использует сканирующую (по оси Z) интерферометрию белого света для получения изображений и определения микроструктуры и топографии поверхности. Сканирование осуществляется с помощью шагового двигателя при большом изменении высоты (до 15 мм) и с помощью дискретного пьезоманипулятора при изменении высоты в пределах 150 мкм. Свет от излучателя микроскопа делится внутри интерферометрического объектива на два пучка: опорный и тестовый. Тестовый пучок направляется на исследуемую поверхность, отражается от неё и внутри объектива интерферирует с опорным пучком. При вертикальном сканировании изменяется расстояние между интерференционным объективом и исследуемым участком поверхности. На определённом удалении объектива от поверхности оптическая разность хода между опорным и тестовым пучками обращается в нуль, и выполняется условие максимума, причём для всех длин волн, входящих в спектр излучения излучателя микроскопа. Для этой высоты с помощью ПЗС-камеры формируется изображение, на котором максимальную интенсивность будут иметь точки поверхности, находящиеся на этой высоте. При дальнейшем изменении высо-
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
ты условие максимума будет выполняться уже для других точек поверхности. Сформированный таким образом массив данных преобразуется с помощью программного обеспечения MetroPro в топограмму поверхности.
В приборе используются интерферометрические объективы, реализующие схему интерферометра Миро (объективы с увеличением 100х, 50х, 20х и Юх) и схему интерферометра Майкельсона (объективы с увеличением 5х и 1х).
Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Средняя длина волны оптического излучения, нм |
550 |
|
Ширина спектра оптического излучения, нм |
125 |
|
Длина когерентности оптического излучения, мкм |
2,9 |
|
Диапазон измерения относительной высоты, мкм1 |
0+150 |
|
Расширенный диапазон измерения относительной высоты, мм2 |
0,1+15 |
|
Предел вертикального разрешения (шагового двигателя), мкм |
<0,1 |
|
Скорость сканирования, мкм/с |
до 7 |
|
Линейное поле зрения, мм2 для объектива с увеличением: | |
|
1х |
5,2 х 7,0 |
|
5х |
1,05 х 1,4 |
|
Юх |
0,52 х 0,70 |
|
20х |
0,26 х 0,35 |
|
50х |
0,1 х 0,14 |
|
прим.: может быть увеличено в режиме сшивки | |
|
Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы) |
640x480 |
|
Характеристики тестовых пластинок | |
|
- максимальные размеры (В х Ш хД), мм |
89x203x203 |
|
- коэффициент отражения поверхности, % |
1+100 |
|
- материал поверхности |
непрозрачный, прозрачный, с покрытием, без покрытия |
|
Рабочие условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха, °C |
15-30 |
|
- стабильность температуры, °C/15 мин |
<1 |
|
- относительная влажность воздуха, % |
5+95 |
|
Давление воздуха в системе виброизоляции, бар |
4,1-5,5 |
|
Питание от сети общего назначения | |
|
- номинальное напряжение, В |
100+240 |
|
- частота, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
1,2 |
|
Масса микроскопа, кг, не более |
430 |
|
Габаритные размеры (В х Ш хД), мм, не более |
157x132x89 |
1 Сканирование пьезоманипулятором
2 Сканирование шаговым двигателем
Приложение к свидетельству № Лист 3
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
|
Площадь, занимаемая микроскопом, м2, не более |
4 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |
Метрологические характеристики:
|
Диапазон измерений относительной высоты неровности, мкм |
0-2 |
|
Предел разрешения, нм |
<0,2 |
|
Расширенная неопределённость измерения относительной высоты h, нм, не более, | |
|
в интервале 0-20 нм |
(0,2 +0,065h) |
|
в интервале 20-180 нм |
( 1,5 + 0,0063(h-20)) |
|
в интервале 80 нм - 2 мкм |
(2,5 + 0,0094(h-180)) |
|
Повторяемость измерений относительной высоты двух плоскостей, не хуже, нм | |
|
в интервале 0-20 нм |
0,1 |
|
в интервале 20-180 нм |
0,2 |
|
в интервале 180 нм - 2 мкм |
1 |
|
Диапазон измерения поперечных размеров, мкм |
1 - 7000 |
|
Расширенная неопределённость измерения поперечных размеров, мкм, не более при увеличении объектива | |
|
1х |
бмкм |
|
5х |
Змкм |
|
Юх |
±2мкм |
|
20х |
±1,5мкм |
|
5 Ох |
±0,7мкм |
Комплектность
|
№ п/п |
Наименование устройства |
Обозначение |
Кол-во, шт |
|
1 |
Базовый блок микроскопа (датчик) |
ZYGO/NewView6K NV6200Microscope Part#6300-0501-02 S/N 07-28-59448 |
1 |
|
2 |
Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich |
Zygo Corp L 10221 1XLWD/0.03 WD 8.0 |
1 |
|
3 |
Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich |
Zygo Corp L 10180 1XSLWD/0.03 WD 8.0 |
1 |
|
4 |
Интерферометрический объектив Майкельсона 5х Mich |
Nikon 5X70,13 TI WD.9.3 426183 |
1 |
|
5 |
Интерферометрический объектив Миро Юх Mirau |
Zygo Corp 1 100766 Юх Юх/0.30 WD7.4 oo/0 |
1 |
|
6 |
Интерферометрический объектив Миро 20х Mirau |
Zygo Corp 1200545 20x 20x70.40 WD4.7 oo/0 |
1 |
|
7 |
Интерферометрический объектив Миро 50х Mirau |
Zygo Corp I 500612 50x /0.55 WD 3.4 oo/0 |
1 |
|
8 |
Моторизованная турель для объективов на 6 мест |
Nikon |
1 |
|
9 |
Моторизованный X-Y столик |
Zygo 1520-500-114 S/N:080416P138350 |
1 |
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
|
10 |
Контроллер сканирования микроскопа по оси Z и рабочего столика по осям X и Y; |
Zygo 6202-0190-14 |
1 |
|
11 |
Драйвер рабочего столика |
Zygo S/N: ТК0801010 |
1 |
|
12 |
Блок управления микроскопом |
Zygo S/N: 07-28-59448 |
1 |
|
13 |
Компьютер |
Dell Optiplex 745 |
1 |
|
14 |
Основной ЖК монитор |
Dell 1708FPf |
1 |
|
15 |
Вспомогательный ЖК монитор |
Dell 1708FPf |
1 |
|
16 |
Клавиатура |
Типовая |
1 |
|
17 |
Мышь |
Типовая |
1 |
|
18 |
Стол на виброизолирующих опорах |
Dynamics Engineering |
1 |
|
19 |
Компрессор |
E.C.CIAO 6/185 (до 12 бар); |
1 |
|
20 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят фотохимическим методом на табличку, закрепляемую с помощью клея на корпус микроскопа, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Поверка
Поверка микроскопа проводится по документу «Микроскоп сканирующий интерференционный белого света NewView6200 фирмы “Zygo Corporation”, США. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в июле 2010 г.
Основные средства поверки: меры рельефные высоты ступеньки SHS-1.8QC, SHS-1800QC, SHS-180QC, входящие в состав вторичного эталона ВЭТ 113-2-09; объект-микрометр ОМО ДТ7.216.009ПС, серийный номер №3347.
Вспомогательное средство поверки: Прецизионная опорная пластина ZYGO. Номер модели 1776-666-013. Серийный номер 1776-666-012.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя фирмы “Zygo Corporation”, США
Заключение
Тип микроскопа сканирующий интерференционный белого света NewView 6200 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
