44967-10: NVision 40 Микроскоп растровый электронный - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп растровый электронный NVision 40

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 44967-10
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия
Скачать
44967-10: Описание типа СИ Скачать 125.8 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскоп растровый электронный NVision 40 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 44967-10
Наименование Микроскоп растровый электронный
Модель NVision 40
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2010
Страна-производитель  Германия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 40519
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.345
Производитель / Заявитель

Фирма "Carl Zeiss, Inc.", Германия

 Германия 

Carl Zeiss Strasse 56 D-73447 Oberkochen, тел. +497364/205991 факс +497364/943226

Поверка

Методика поверки / информация о поверке ГОСТ Р 8.631-07
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

44967-10: Описание типа СИ Скачать 125.8 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскоп растровый электронный NVision 40 (далее РЭМ NVision) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.

Описание

РЭМ NVision представляет собой стационарную измерительную систему.

Принцип работы растрового электронного микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.

РЭМ NVision измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

РЭМ NVision укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения. Это два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.

РЭМ NVision оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.

Программное обеспечение РЭМ NVision защищено от несанкционированного доступа.

Технические характеристики

Разрешающая способность, мкм

1,8-10’3

Диапазон регулировки увеличения

20-900 000

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

2-10'2+2-103

Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности измерения линейных размеров по осям X иУ не более, нм

(4+0,051?)

Номинальное напряжение сети питания, В

220 ± 5%

Максимальная потребляемая мощность, кВ-А

3,6

Габаритные размеры основных составных частей не более, мм стенд с колонной, агрегатом вакуумным блок питания

2335x980x1740

800x600x1430

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C..................................

- относительная влажность воздуха, %....................................

- избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па...........................................................

(22 ± 0,2) (40 ± 2)

(30 ± 0,3)

Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг

1520

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входят:

1. Микроскоп электронный растровый NVision 40          - 1экз.;

2. Комплект ЗИП и расходные материалы                  -1 компл.;

3. Руководство по эксплуатации                           -1 шт.

Поверка

Поверка РЭМ NVision осуществляется в соответствии с ГОСТ Р 8.631-2007 «ГСИ.

Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Межповерочный интервал - один год.

1 L - длина измеряемого объекта в нм

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Carl Zeiss, Inc», Германия.

Заключение

Тип микроскопа растрового электронного NVision 40 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Другие Микроскопы

Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком. Микроскоп может применяться при проведения научных...
Default ALL-Pribors Device Photo
45021-10
Innova Микроскоп атомно-силовой
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
Для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах. Область применения - в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и про...
Default ALL-Pribors Device Photo
45266-10
SUPRA-25 Микроскоп растровый электронный
Фирма "Carl Zeiss", Германия
Для проведения измерений линейных размеров топологических элементов, толщин и глубин залегания технологических слоев больших и сверхбольших интегральных схем и параметров микрорельефа поверхности различных объектов в твердой фазе методом растровой эл...
Default ALL-Pribors Device Photo
45324-10
Libra120 Микроскоп электронный просвечивающий
Фирма "Carl Zeiss, Inc.", Германия
Для измерения геометрических расстояний и размеров элементов тонкой субмикронной структуры твердотельных материалов. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а так же в лаборат...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерений при проведении металлографических наблюдений и исследований, в том числе при контроле качества образцов, в машиностроении, геологии, микроэлектронике и других отраслях промышленности.