Микроскоп растровый электронный NVision 40
| Номер в ГРСИ РФ: | 44967-10 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия |
| 44967-10: Описание типа СИ | Скачать | 125.8 КБ |
Для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 44967-10 |
| Наименование | Микроскоп растровый электронный |
| Модель | NVision 40 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | Германия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40519 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.345 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Carl Zeiss, Inc.", Германия
Германия
Carl Zeiss Strasse 56 D-73447 Oberkochen, тел. +497364/205991 факс +497364/943226
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.631-07 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 44967-10: Описание типа СИ | Скачать | 125.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп растровый электронный NVision 40 (далее РЭМ NVision) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
Описание
РЭМ NVision представляет собой стационарную измерительную систему.
Принцип работы растрового электронного микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
РЭМ NVision измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
РЭМ NVision укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения. Это два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
РЭМ NVision оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Программное обеспечение РЭМ NVision защищено от несанкционированного доступа.
Технические характеристики
|
Разрешающая способность, мкм |
1,8-10’3 |
|
Диапазон регулировки увеличения |
20-900 000 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
2-10'2+2-103 |
|
Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности измерения линейных размеров по осям X иУ не более, нм |
(4+0,051?) |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5% |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВ-А |
3,6 |
|
Габаритные размеры основных составных частей не более, мм стенд с колонной, агрегатом вакуумным блок питания |
2335x980x1740 800x600x1430 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %.................................... - избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па........................................................... |
(22 ± 0,2) (40 ± 2) (30 ± 0,3) |
|
Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг |
1520 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входят:
1. Микроскоп электронный растровый NVision 40 - 1экз.;
2. Комплект ЗИП и расходные материалы -1 компл.;
3. Руководство по эксплуатации -1 шт.
Поверка
Поверка РЭМ NVision осуществляется в соответствии с ГОСТ Р 8.631-2007 «ГСИ.
Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Межповерочный интервал - один год.
1 L - длина измеряемого объекта в нм
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Carl Zeiss, Inc», Германия.
Заключение
Тип микроскопа растрового электронного NVision 40 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
