Микроскоп электронно-ионный растровый Quanta 200 3D
| Номер в ГРСИ РФ: | 44976-10 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "FEI Company", США |
| 44976-10: Описание типа СИ | Скачать | 141.7 КБ |
Для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком. Микроскоп может применяться при проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты, в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 44976-10 |
| Наименование | Микроскоп электронно-ионный растровый |
| Модель | Quanta 200 3D |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40537 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.353 |
Производитель / Заявитель
Фирма "FEI Company", США
США
5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon 97124, USA Тел. +1(503)726-7500. Факс +1(503)726-2570
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.631-07 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 44976-10: Описание типа СИ | Скачать | 141.7 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронно-ионный растровый Quanta 200 3D (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Микроскоп может применяться при проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты, в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с таллиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Технические характеристики
|
Параметры |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных, размеров элементов топологии, мкм |
от 0,05 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии: - в диапазоне от 0,05 до 0,15 мкм, % - в диапазоне от 0,15 до 1000 мкм, % |
±12 ±5 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
32 |
|
Источник электронов |
Вольфрамовый катод |
|
Источник ионов |
Жидкометаллический галлиевый |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм |
3 |
|
Напряжение питания переменного тока, В |
ZZU -15% |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
4,7 |
|
Масса, кг |
1000 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
2820х1350х1800 |
|
Рабочие условия эксплуатации: • температура окружающей среды, °C • относительная влажность воздуха, не более, % |
20±3 95 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый Quanta 200 3D, комплект ЗИП, расходные материалы, руководство по эксплуатации.
Поверка
Поверка микроскопа электронно-ионного растрового Quanta 200 3D проводится по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Заключение
Тип микроскопа электронно-ионного растрового Quanta 200 3D, утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
