Микроскоп атомно-силовой Innova
| Номер в ГРСИ РФ: | 45021-10 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Veeco Instruments Inc.", США |
| 45021-10: Описание типа СИ | Скачать | 123.3 КБ |
Для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах. Область применения - в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП "ВНИИОФИ".
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 45021-10 |
| Наименование | Микроскоп атомно-силовой |
| Модель | Innova |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40590 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д2 от 29.07.10 п.49 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
США
112 Robin Hill Road Santa Barbara С A 93117 USA Attn.: Service Center, тел. (805) 967-2700 факс (805) 967-7717 www.veeco.com
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 45021-10: Описание типа СИ | Скачать | 123.3 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп атомно-силовой Innova (далее микроскоп Innova) предназначен для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.
Область применения — в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП «ВНИИОФИ».
Описание
Принцип действия микроскопа Innova основан на сканировании исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин <р;(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
В состав микроскопа Innova входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Innova реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,
- контактная атомно-силовая микроскопия,
- электростатическая микроскопия,
- магнитно-силовая микроскопия,
- сканирующая туннельная микроскопия,
- нанолитография.
Программное обеспечение микроскопа Innova защищено от несанкционированного доступа.
Технические характеристики
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, % |
± 1 |
|
Угол между осями сканирования X и Y, градус |
90,0±0,7 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % |
±5 |
|
Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, % |
0,5 |
|
Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм |
80 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5% |
|
Габаритные размеры основных составных частей не более, мм - микроскоп Innova - контроллер микроскопа |
380x355x355 585x191x585 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %.................................... |
(22 ± 0,2) (40 ± 2) |
|
Масса, не более, кг |
47 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входят:
|
1. |
Микроскоп атомно-силовой Innova |
1 шт. |
|
2. |
Контроллер микроскопа |
1 шт. |
|
3. |
Персональный компьютер |
1 шт. |
|
4. |
Монитор |
2 шт. |
|
5. |
Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм |
1шт. |
|
6. |
Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм |
1шт. |
|
7. |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
|
8. |
Методика поверки |
1 экз. |
Поверка
Поверка микроскопа Innova осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп атомно-силовой Innova фирмы Veeco Instruments Inc. Методика поверки”, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2010 г.
Основные средства поверки:
мера периода и высоты линейная TGQ1 (Госреестр № 41680-09);
мера периода и высоты линейная TGZ3 (Госреестр № 41678-09).
Межповерочный интервал - один год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Veeco Instruments Inc.», США.
Заключение
Тип микроскопа атомно-силового Innova утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
