Микроскоп растровый электронный SUPRA-25

Назначение

Растровый электронный микроскоп SUPRA-25 (далее - микроскоп), предназначен для проведения измерений линейных размеров топологических элементов, толщин и глубин залегания технологических слоев больших и сверхбольших интегральных схем и параметров микрорельефа поверхности различных объектов в твердой фазе методом растровой электронной микроскопии.

Область применения - в производственной лаборатории

ФГУП «ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова».

Описание

Принцип действия микроскопа основан на сканировании поверхности образца электронным зондом и распознавании возникающего при этом широкого спектра излучений. Сигналами для получения изображения служат вторичные, отраженные и поглощённые электроны. В частности, рентгеновское излучение используется для получения дополнительной информации о химическом составе материала исследуемого образца.

Вышедшие из объекта электроны улавливаются соответствующими детекторами. Зарегистрированные детектором электроны преобразовываются в электрический сигнал, который усиливается предварительным усилителем, затем поступает в видеосигнальный тракт, где вновь усиливается до нужного уровня, обрабатывается и далее выводится на монитор.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных или отраженных электронов, образующихся при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Микроскоп выполнен в стационарном напольном исполнении. Основными элементами конструкции микроскопа являются:

- вакуумный танк, служащий для создания аналитической среды;

- электронный зонд;

- энергодисперсионный детектор;

- источник питания, служащий для обеспечения всех частей микроскопа электроэнергией с определенными характеристиками;

- блок охлаждения рентгеновской трубки;

- корпус микроскопа, служащий для размещения агрегатов микроскопа, стабилизации аналитических условий и для защиты пользователя от излучения.

Для приема, обработки и выдачи информации под управлением специализированного программного обеспечения предназначен персональный компьютер.

Технические характеристики

1 Встроенные детекторы:

- детектор вторичных электронов;

- детектор отраженных электронов;

- детектор рентгеновского излучения.

2 Разрешающая способность микроскопа: - во вторичных электронах не более, нм..........................................1,5

- в отраженных электронах не более, нм............................................6

3 Диапазон регулировки увеличения, крат..............................50-5-800000

4 Диапазон измерения линейных размеров, мкм........................0,05+5000

5 Пределы допускаемой основной погрешности измерения линейных размеров:

- в диапазоне от 0,05 мкм до 0,2 мкм не более, нм

- в диапазоне от 0,2 мкм 0,8 мкм не более, нм

- в диапазоне от 0,8 мкм до 5000 мкм не более, %

6 Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ..................0,5-5-30

7 Относительная нестабильность ускоряющего напряжения за 10 мин не более, %....................................................................................1 • 10‘3

8 Давление в электронной пушке не более, аг

9 Давление в рабочей камере не более, ат

12 Напряжение питания переменного тока микроскопа, В............208+240

13 Потребляемая мощность микроскопа не более, кВА

14 Полный средний срок службы микроскопа не менее, лет

15 Габаритные размеры* мм, не более.....................................1910x985x1600

16 Масса* кг, не более

17 Условия эксплуатации: температура, °C................................................................22±2

относительная влажность, %, не более.....................................60

* - без персонального компьютера.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят:

- микроскоп электронный растровый SUPRA-25;

- персональный компьютер (ПК) с программным обеспечением;

- руководство по эксплуатации.

Поверка

Поверка проводится по документу ГОСТ Р 8.631-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Межповерочный интервал - 6 месяцев.

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.631-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Техническая документация фирмы «Carl Zeiss», Германия.

Заключение

Тип микроскопа растрового электронного SUPRA-25 (серийный № 2428) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.