Микроскоп электронный просвечивающий Libra120
| Номер в ГРСИ РФ: | 45324-10 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия |
| 45324-10: Описание типа СИ | Скачать | 142.4 КБ |
Для измерения геометрических расстояний и размеров элементов тонкой субмикронной структуры твердотельных материалов. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а так же в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 45324-10 |
| Наименование | Микроскоп электронный просвечивающий |
| Модель | Libra120 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | Германия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40930 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д2 от 29.07.10 п.353 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Carl Zeiss, Inc.", Германия
Германия
Carl Zeiss Strasse 56 D-73447 Oberkochen, тел. +497364/205991 факс +497364/943226
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 45324-10: Описание типа СИ | Скачать | 142.4 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120 (далее ПЭМ Libra) предназначен для измерения геометрических расстояний и размеров элементов тонкой субмикронной структуры твердотельных материалов.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а так же в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
Описание
ПЭМ Libra представляет собой стационарную измерительную систему.
ПЭМ Libra формирует пучок электронов с энергией до 120 кэВ для непосредственного просвечивания объекта. В качестве объектов, прозрачных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др. Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение объекта в проходящих электронах. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная освещенность, возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического вещества, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микроскопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронно-микроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие углы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного изображения.
ПЭМ Libra оснащен гониометрическим держателем препаратов. Насос высокого вакуума является безмасляным.
Программное обеспечение ПЭМ Libra защищено от несанкционированных изменений.
Технические характеристики
|
Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 120 кВ, нм |
0,2 |
|
Диапазон регулировки увеличения |
8+630 000 |
|
Диапазон измерения геометрических расстояний, мкм |
100+4-1 О'4 |
|
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 120 кВ*: в диапазоне (100+0,4) мкм при измерении абсолютных размеров в диапазоне (100+0,4) мкм при сличении геометрических расстояний в режиме компаратора в диапазоне (0,4+4-1 О'4) мкм при измерении абсолютных размеров в диапазоне (0,4+4-1 О'4) мкм при сличении геометрических расстояний в режиме компаратора |
±7% ± 0,5% ± 25% ± 10% |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
80 или 120 |
|
Номинальное напряжение трехфазной сети питания, В |
360-420 |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВ-А |
13 |
|
Габаритные размеры основных блоков не более, мм стенд с колонной, блок питания высоковольтный блок блок управления блок охлаждения |
1400x1960x2440 800x720x1560 550x780x1270 930x530x1930 680x680x1480 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %.................................... |
(22 ± 0,2) (40 ± 2) |
|
Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг |
2615 |
* Погрешность измерения при сличении геометрических размеров в режиме компаратора определяется техническими возможностями самого ПЭМ Libra. Погрешность при измерении абсолютных размеров в значительной степени определяется точностью передачи единицы длины с помощью утвержденных и применяемых мер длины соответствующего диапазона.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входят:
1. Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120 - 1экз.;
2. Комплект ЗИП и расходные материалы -1 компл.;
3. Руководство по эксплуатации -1 шт.
Поверка
Поверка ПЭМ Libra осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в 2010 г.
Основные средства поверки:
• Мера периода рельефная S106 (Госреестр № 44966-10)
• Мера рельефная графитовая S140 (Госреестр № 44968-10)
Межповерочный интервал - один год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Carl Zeiss, Inc», Германия.
Заключение
Тип микроскопа растрового электронного просвечивающего Libra 120 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
