Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм
| Номер в ГРСИ РФ: | 46672-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва |
Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4)м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 46672-11 |
| Наименование | Меры рельефные |
| Модель | Кварц-XY1400/Z90нм |
| Технические условия на выпуск | ТУ 4254-001-58699387-2010 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 21.04.2016 |
| Номер сертификата | 42471 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 1872 от 21.04.11 п.02 |
Производитель / Заявитель
ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва
Россия
124498, Зеленоград, пр-д 4806, д.5, стр.20 Тел/факс: 7 (499) 720-85-31, E-mail: logi@miee.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 46672-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 46672-11: Описание типа СИ | Скачать | 691.7 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Меры рельефные Кварц-ХУ1400//90нм предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 1(-9 до 1(-4 м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.
Описание
Мера представляет собой совокупность элементов рельефа - выступов - на поверхности подложки в виде кварцевой пластины, с нормированным шагом (периодом) выступов в латеральной плоскости по осям X и У, а также с нормированной высотой выступов (рисунок 1).
Рисунок 1 - Фото меры рельефной Кварц-ХУ1400//90нм в футляре (1а), отдельно (1б) и на столике микроскопа сканирующего зондового СММ-2000 (1в)
Подложка (кварцевая пластина) имеет форму прямоугольного параллелепипеда с размерами 5 мм х 5 мм х 2.2 мм. Периодические выступы выполнены из хрома. Кадр рабочей поверхности меры приведен на рис. 2.
Рисунок 2 - Мера рельефная Кварц-ХУ1400^90нм, кадр 7 х 7 мкм
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений в плоскости XOY, мкм |
1,400 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности шага периодической структуры, % |
± 2 |
|
Номинальное значение высоты выступов периодической структуры, мкм |
0,090 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности высоты выступов периодической структуры, % |
± 5 |
|
Габаритный размер меры (длина х ширина х толщина), мм, не более |
5,5 х 5,5 х 2,5 |
|
Размер рабочей области меры (длина х ширина), мм, не менее |
4,5 х 4,5 |
|
Масса меры, г, не более |
0,2 |
Рабочие условия: температура окружающего воздуха 20±2 °С.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
Мера рельефная Кварц-ХУ1400А/90нм 1 шт.
Футляр 1 шт.
Паспорт 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу «Меры рельефные Кварц-ХУ1400^90нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 и TGZ3 (ГР 41678-09) с пределами допускаемых значений абсолютной погрешности высоты выступов в шаговых структурах не более ±2, ±10, ±20 нм соответственно;
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого значения абсолютной погрешности периода шаговой структуры не более ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
«Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Паспорт», раздел 6.
Нормативные документы
Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Технические условия ТУ 4254-001-586993872010
Рекомендации к применению
Применяется при осуществлении деятельности в области здравоохранения; осуществлении ветеринарной деятельности; осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды; выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Смотрите также
