46672-11: Кварц-XY1400/Z90нм Меры рельефные - Производители, поставщики и поверители

Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм

Номер в ГРСИ РФ: 46672-11
Производитель / заявитель: ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва
Скачать
46672-11: Описание типа СИ Скачать 691.7 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...
Нет данных о поставщике
Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4)м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 46672-11
Наименование Меры рельефные
Модель Кварц-XY1400/Z90нм
Технические условия на выпуск ТУ 4254-001-58699387-2010
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2011
Страна-производитель  Россия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата 21.04.2016
Номер сертификата 42471
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С
Дата протокола Приказ 1872 от 21.04.11 п.02
Производитель / Заявитель

ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва

 Россия 

124498, Зеленоград, пр-д 4806, д.5, стр.20 Тел/факс: 7 (499) 720-85-31, E-mail: logi@miee.ru

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 46672-11
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 3
Найдено поверителей 1
Актуальность информации 14.04.2024

Поверители

Скачать

46672-11: Описание типа СИ Скачать 691.7 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...

Описание типа

Назначение

Меры рельефные Кварц-ХУ1400//90нм предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 1(-9 до 1(-4 м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.

Описание

Мера представляет собой совокупность элементов рельефа - выступов - на поверхности подложки в виде кварцевой пластины, с нормированным шагом (периодом) выступов в латеральной плоскости по осям X и У, а также с нормированной высотой выступов (рисунок 1).

Рисунок 1 - Фото меры рельефной Кварц-ХУ1400//90нм в футляре (1а), отдельно (1б) и на столике микроскопа сканирующего зондового СММ-2000 (1в)

Подложка (кварцевая пластина) имеет форму прямоугольного параллелепипеда с размерами 5 мм х 5 мм х 2.2 мм. Периодические выступы выполнены из хрома. Кадр рабочей поверхности меры приведен на рис. 2.

Рисунок 2 - Мера рельефная Кварц-ХУ1400^90нм, кадр 7 х 7 мкм

При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений в плоскости XOY, мкм

1,400

Пределы допускаемой относительной погрешности шага периодической структуры, %

± 2

Номинальное значение высоты выступов периодической структуры, мкм

0,090

Пределы допускаемой относительной погрешности высоты выступов периодической структуры, %

± 5

Габаритный размер меры (длина х ширина х толщина), мм, не более

5,5 х 5,5 х 2,5

Размер рабочей области меры (длина х ширина), мм, не менее

4,5 х 4,5

Масса меры, г, не более

0,2

Рабочие условия: температура окружающего воздуха 20±2 °С.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.

Комплектность

Мера рельефная Кварц-ХУ1400А/90нм       1 шт.

Футляр                                    1 шт.

Паспорт                                      1 экз.

Поверка

осуществляется по документу «Меры рельефные Кварц-ХУ1400^90нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.

Основными средствами поверки являются:

меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 и TGZ3 (ГР 41678-09) с пределами допускаемых значений абсолютной погрешности высоты выступов в шаговых структурах не более ±2, ±10, ±20 нм соответственно;

мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого значения абсолютной погрешности периода шаговой структуры не более ±1 нм;

микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.

Сведения о методах измерений

«Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Паспорт», раздел 6.

Нормативные документы

Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Технические условия ТУ 4254-001-586993872010

Рекомендации к применению

Применяется при осуществлении деятельности в области здравоохранения; осуществлении ветеринарной деятельности; осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды; выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерения температуры деталей насосов и электрических машин.
Для измерения температуры деталей насосов и электрических машин.
46675-11
Ephy Mess EM 24 Термопреобразователи сопротивления
Компания "Ephy Mess GmbH", Германия
Для измерения температуры деталей электрических машин.
Default ALL-Pribors Device Photo
46676-11
Ephy Mess NWT-ST Термопреобразователи сопротивления
Компания "Ephy Mess GmbH", Германия
Для измерения температуры деталей электрических машин.
Default ALL-Pribors Device Photo
46677-11
FS11 Нефелометр
Фирма "Vaisala Oyj", Финляндия
Для поверки комплекта поверочного FSA11.