Микроскопы сканирующие зондовые СММ-2000
| Номер в ГРСИ РФ: | 46918-11 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва |
Для измерений геометрических и физических параметров топографии поверхности образцов с нанометровым пространственным разрешением без их вакуумирования.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 46918-11 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | СММ-2000 |
| Технические условия на выпуск | ТУ 4431-002-70281271-2011 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 06.06.2016 |
| Номер сертификата | 42785 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 2604 от 06.06.11 п.02 |
Производитель / Заявитель
ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва
Россия
124498, Зеленоград, пр-д 4806, д.5, стр.20 Тел/факс: 7 (499) 720-85-31, E-mail: logi@miee.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 46918-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 46918-11: Описание типа СИ | Скачать | 565.7 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые «СММ-2000» предназначены для измерений геометрических и физических параметров топографии поверхности образцов с нанометровым пространственным разрешением без их вакуумирования.
Описание
Микроскопы сканирующие зондовые «СММ-2000» (рисунок 1), далее микроскопы, представляют собой стационарную измерительную систему и состоят из трех блоков: измерительной головки, блока управления и блока питания. Считывание информации осуществляется с помощью компьютера, который не входит в комплект поставки микроскопа.
Микроскоп «СММ-2000» обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием различных методик зондовой микроскопии.
Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. При работе в режиме АСМ осуществляется измерение силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
Микроскопы, работая в режимах сканирующего атомно-силового или сканирующего туннельного микроскопов, позволяют дополнительно воздействовать зондом на поверхность и снимать дополнительные сигналы взаимодействия зонда и поверхности, в том числе за счет подключения оператором различных внешних приборов, отражая при этом не только геометрические, но и физические параметры поверхности объекта.
В состав микроскопов входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены ниже.
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии программ-много обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программ-много обеспечения |
|
SMM2000 |
SMM2000 |
2.2 |
da24a56cc3102021261297968dc b1244 *Metrology.dll |
алгоритм MD5 |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с МИ 3286-2010 соответствует уровню «С». Блок управления и блок питания микроскопа защищены от несанкционированного доступа за счет опломбирования крышек их корпусов.
Рисунок 1 - Микроскоп сканирующий зондовый «СММ-2000», общий вид
Рисунок 2 - Микроскоп сканирующий зондовый «СММ-2000», измерительная головка, вид снизу; указаны места нанесения знака утверждения типа и поверительного клейма
Технические характеристики
|
Диапазон измерений по осям X и Y, мкм, не менее |
0,0003 - 20 |
|
Диапазон измерений по оси Z, мкм, не менее |
0,0002 - 2 |
|
Предел допускаемой погрешности измерений линейных размеров по осям X, Y и Z |
10 нм ± 10 % измеряемого размера |
|
Максимальные габариты исследуемого образца (длина х ширина х толщина), мм |
30 х 30 х 15 |
|
Максимальная масса исследуемого образца, г |
200 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: измерительная головка блок управления интерфейсная плата блок питания |
200x120x80 160x100x50 120x120x20 80x80x80 |
|
Масса, кг, не более: измерительная головка блок управления интерфейсная плата блок питания |
3 0,5 0,2 0,5 |
|
Напряжение питания переменного тока, В |
200 - 240 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
3 |
Рабочие условия: температура окружающего воздуха 20±2 °С.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус блока измерительной головки микроскопа снизу методом наклейки (рисунок 2) и на титульный лист паспорта методом печати.
Комплектность
|
Измерительная головка |
1 шт. |
|
Блок управления |
1 шт. |
|
Блок питания |
1 шт. |
|
Интерфейсная плата |
1 шт. |
|
Соединительные кабели |
3 шт. |
|
Программное обеспечение для управления и обработки данньк |
1 шт. |
|
Мера рельефная «Кварц-ХУ1400А/90нм» |
1 шт. |
|
Набор ЗИП |
1 шт. |
|
Паспорт |
1 экз. |
|
Методика поверки |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу «Микроскопы сканирующие зондовые «СММ-2000».
Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основные средства поверки:
М^__
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двуx ортогональныx направлений в плоскости XOY, мкм |
1,400 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности шага периодической структуры, % |
± 2 |
|
Номинальное значение высоты выступов периодической структуры, мкм |
0,090 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности высоты выступов периодической структуры, % |
± 5 |
Сведения о методах измерений
«Микроскопы сканирующие зондовые «СММ-2000». Паспорт», раздел 8.
Нормативные документы
Микроскопы сканирующие зондовые «СММ-2000». Технические условия ТУ 4431002-70281271-2011
Рекомендации к применению
Применяются при осуществлении деятельности в области здравоохранения; осуществлении ветеринарной деятельности; осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды; выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Другие Микроскопы
