Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М
| Номер в ГРСИ РФ: | 48171-11 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва |
Для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 48171-11 | ||||||
| Наименование | Микроскопы интерференционные автоматизированные | ||||||
| Модель | МИА-1М | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 9b0aaa95-6312-3617-2c5b-d20f5412778d | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2011 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | ГОСТ 8.296-78 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44401 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6295 от 08.11.11 п.06 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), РОССИЯ, г.Москва
Россия
119361, ул.Озерная, 46, тел./факс (495) 437-29-92, 437-32-01, 437-33-11, тел/факс 437-31-47 (103031, ул.Рождественка, 27) www.vniiofi.ru, E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48171-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 6 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
48171-11: Описание типа
2011-48171-11.pdf
|
Скачать | 140.6 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М (далее - микроскопы) предназначены для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1М
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование Программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
|
WinPhast |
WinPhast.exe |
1.0 |
F554EB8D |
CRC32 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица
|
Наименование характеристики прибора |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
175 х 130 |
|
Диапазон измерения высоты профиля поверхности: - для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм - для ступенек, в долях длины волны X не более |
от 0,03 до 3 от X/350 до X/4 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
± X/350 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
± 0,4 |
|
Числовая апертура микрообъектива |
0,65 |
|
Источник излучения |
твердотельный лазер |
|
- длина волны, мкм |
0,473 |
|
- мощность, мВт |
20 |
|
Частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |
|
Напряжение в сети питания, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, не более Вт |
250 |
|
Г абаритные размеры, мм, не более |
340 х 370 х 380 |
|
Масса, кг, не более |
30 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность | ||
|
1. |
Микроскоп МИА-1М |
1 шт. |
|
2. |
Осветительный блок |
1 шт. |
|
3. |
Волоконно-оптический жгут |
1 шт. |
|
4. |
Компьютер |
1 шт. |
|
5. |
Программное обеспечение WinPhast |
1 шт. |
|
6. |
Соединительные кабели |
2 шт. |
|
7. |
Руководство по эксплуатации |
1 шт. |
Поверка
осуществляется по документу МП 48171-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2011 г.
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55).
Межповерочный интервал - 1год.
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм»
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
Другие Микроскопы
