Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М
Номер в ГРСИ РФ: | 48171-11 |
---|---|
Категория: | Микроскопы |
Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва |
Для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 48171-11 |
Наименование | Микроскопы интерференционные автоматизированные |
Модель | МИА-1М |
Технические условия на выпуск | ГОСТ 8.296-78 |
Класс СИ | 27.01 |
Год регистрации | 2011 |
Страна-производитель | Россия |
Центр сертификации СИ | |
Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
Телефон | (8*095) 437-55-77 |
Факс | 437-56-66 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 44401 |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
Дата протокола | Приказ 6295 от 08.11.11 п.06 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва
Россия
119361, ул.Озерная, 46, тел./факс (495) 437-29-92, 437-32-01, 437-33-11, тел/факс 437-31-47 (103031, ул.Рождественка, 27) www.vniiofi.ru, E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП 48171-11 |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 5 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 5 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
48171-11: Описание типа СИ | Скачать | 495.9 КБ | |
Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М (далее - микроскопы) предназначены для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1М
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование Программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
WinPhast |
WinPhast.exe |
1.0 |
F554EB8D |
CRC32 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица
Наименование характеристики прибора |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
175 х 130 |
Диапазон измерения высоты профиля поверхности: - для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм - для ступенек, в долях длины волны X не более |
от 0,03 до 3 от X/350 до X/4 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
± X/350 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
± 0,4 |
Числовая апертура микрообъектива |
0,65 |
Источник излучения |
твердотельный лазер |
- длина волны, мкм |
0,473 |
- мощность, мВт |
20 |
Частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |
Напряжение в сети питания, В |
220 ± 22 |
Потребляемая мощность, не более Вт |
250 |
Г абаритные размеры, мм, не более |
340 х 370 х 380 |
Масса, кг, не более |
30 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность | ||
1. |
Микроскоп МИА-1М |
1 шт. |
2. |
Осветительный блок |
1 шт. |
3. |
Волоконно-оптический жгут |
1 шт. |
4. |
Компьютер |
1 шт. |
5. |
Программное обеспечение WinPhast |
1 шт. |
6. |
Соединительные кабели |
2 шт. |
7. |
Руководство по эксплуатации |
1 шт. |
Поверка
осуществляется по документу МП 48171-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2011 г.
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55).
Межповерочный интервал - 1год.
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм»
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям