Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д
| Номер в ГРСИ РФ: | 48172-11 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва |
Для измерений высоты профиля поверхности отражающего динамического объекта в микро- и нанодиапазоне.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48172-11 |
| Наименование | Микроскопы интерференционные автоматизированные |
| Модель | МИА-Д |
| Технические условия на выпуск | тех.документация ФГУП |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44402 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6295 от 08.11.11 п.07 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва
Россия
119361, ул.Озерная, 46, тел./факс (495) 437-29-92, 437-32-01, 437-33-11, тел/факс 437-31-47 (103031, ул.Рождественка, 27) www.vniiofi.ru, E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48172-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 48172-11: Описание типа СИ | Скачать | 472.3 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д (далее - микроскопы) предназначены для измерений высоты профиля поверхности отражающего динамического объекта в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой скоростной видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхности изменяющихся во времени (динамических) объектов с частотой 50Гц в диапазоне от 0,03 до 3мкм в латеральной плоскости и от от Х/350 до Х/4 по высоте. Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-Д
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование Программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
|
WinPhast |
WinPhast.exe |
1.0 |
F554EB8D |
CRC32 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
180 х 135 |
|
Диапазон измерения высоты профиля поверхности: - для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм - для ступенек, в долях длины волны X не более |
от 0,03 до 3 от X/350 до X/4 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
± 0,5 |
|
Предел частоты измерения, при которой допускаемая абсолютная погрешность измерения высоты профиля поверхности составляет не более X/350, Гц |
50 |
|
Источник излучения |
лазеры |
|
Длина волны излучения, мкм |
0,473 0,532 0,650 |
|
Частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |
|
Напряжение в сети питания, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
250 |
|
Г абаритные размеры (без предметного стола), мм |
340 х 370 х 380 |
|
Масса, кг |
30 |
|
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, кПа |
20±0.5 60 (при 20° С) от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
|
1. |
Микроскоп МИА-Д |
1 шт. |
|
2. |
Плата ввода изображения |
1 шт. |
|
3. |
Блок освещения и управления |
1 шт. |
|
4. |
Волоконно-оптический жгут |
1 шт. |
|
5. |
ПЭВМ |
1 шт. |
|
6. |
Программное обеспечение WinPhast |
1 шт. |
7. Кабели 5 шт.
8. Руководство по эксплуатации 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 48172-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д. Методика поверки».
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55), осциллограф цифровой Tektronix TDS 2012B (номер в госреестре 32618-06).
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм».
МИ 2090-90. «Определение динамических характеристик линейных аналоговых средств измерений с сосредоточенными параметрами. Общие положения».
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
Другие Микроскопы
