Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di
| Номер в ГРСИ РФ: | 48284-11 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ФГБНУ "ТИСНУМ", г. Москва, г.Троицк |
Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне. Применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48284-11 |
| Наименование | Микроскоп сканирующий зондовый |
| Модель | НаноСкан-3Di |
| Технические условия на выпуск | ГОСТ 8.296-78 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44501 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6335 от 25.11.11 п.16 |
Производитель / Заявитель
ФГУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов", г.Троицк
Россия
142190, Московская обл., ул.Центральная, д.7а, тел. 8(499)2722314, E-mail: nanoscan@newmail.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48284-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 48284-11: Описание типа СИ | Скачать | 401.6 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне.
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
Описание
Действие сканирующего зондового микроскопа НаноСкан-3Э1 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом, регистрации параметров взаимодействия зонда с поверхностью и восстановлении по результатам регистрации геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств, создании микрорельефа на поверхности исследуемого материала.
Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-3Э1 представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоит из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, гетеродинного интерферометра и персонального компьютера. В сканирующем зондовом микроскопе НаноСкан-3Э1 реализован следующий режим сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Э1
Программное обеспечение
ПО предназначено для обработки данных о перемещениях пьезостолика, полученных с емкостного и интерференционного датчиков и последующего восстановления профилей исследуемых поверхностей. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы NSDevCtrl.exe, служебных файлов NSMover.dll, NSDevComm.dll, Motor_vc.dll, index.ini, DeviceSetup.ini, MoverSetup.ini, Signals.ini, Variables.ini и ViewerSetup.ini обеспечивающих управление прибором, хранение настроек и обработку результатов. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование Программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
|
NanoScan Device |
NSDevCtrl.exe |
1.0 |
CC88E236 |
CRC32 |
Идентификация ПО: осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: С.
Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон сканирования |
500х500х50 мкм |
|
Разрешение при сканировании в плоскости XY |
3 нм |
|
Разрешение при сканировании по оси Z |
0,2 нм |
|
Погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY (не хуже) |
± 0,1% |
|
Погрешность измерения линейных размеров по оси Z (не хуже): |
± 0,1% |
Знак утверждения типа
наносится и на раму прибора методом наклейки.
Комплектность
|
№ п/п |
Наименование комплектующей части поставки |
Количество |
|
1 |
Микроскоп сканирующий зондовый «НаноСкан-3ЭЬ» |
1 |
|
2 |
Г етеродинный интерферометр |
1 |
|
3 |
Плата управляющей электроники |
1 |
|
4 |
Соединительные кабели |
1 |
|
5 |
Сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами |
2 |
|
6 |
Программное обеспечение для управления прибором и обработки данных |
1 |
|
7 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
8 |
Набор рельефных мер типа TGZ (01,02) |
1 |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 48284-11 «Микроскоп сканирующий зондовый HaHoCkaH-3Di. Методика поверки», утвержденной ВНИИМС в сентябре 2011 года и входящей в комплект документации к прибору.
Основные средства поверки: рельефные меры TGZ01, (высота ступеньки 18,4 ± 1,0 нм, период 3000,07±0,18 нм), TGZ02 (высота ступеньки 101,1 ± 1,6 нм период 3000,07±0,18 нм).
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскоп сканирующий зондовый На-HoC^H^Di. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм
Рекомендации к применению
Вне сферы государственного регулирования
Другие Микроскопы
