48284-11: НаноСкан-3Di Микроскоп сканирующий зондовый - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di

Номер в ГРСИ РФ: 48284-11
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: ФГБНУ "ТИСНУМ", г. Москва, г.Троицк
Скачать
48284-11: Описание типа СИ Скачать 401.6 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...
Нет данных о поставщике
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне. Применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 48284-11
Наименование Микроскоп сканирующий зондовый
Модель НаноСкан-3Di
Технические условия на выпуск ГОСТ 8.296-78
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2011
Страна-производитель  Россия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 44501
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола Приказ 6335 от 25.11.11 п.16
Производитель / Заявитель

ФГУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов", г.Троицк

 Россия 

142190, Московская обл., ул.Центральная, д.7а, тел. 8(499)2722314, E-mail: nanoscan@newmail.ru

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 48284-11
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Зарегистрировано поверок 1
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 1 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

48284-11: Описание типа СИ Скачать 401.6 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...

Описание типа

Назначение

Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне.

Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.

Описание

Действие сканирующего зондового микроскопа НаноСкан-3Э1 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом, регистрации параметров взаимодействия зонда с поверхностью и восстановлении по результатам регистрации геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств, создании микрорельефа на поверхности исследуемого материала.

Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-3Э1 представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоит из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, гетеродинного интерферометра и персонального компьютера. В сканирующем зондовом микроскопе НаноСкан-3Э1 реализован следующий режим сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ.

Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.

Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Э1

Программное обеспечение

ПО предназначено для обработки данных о перемещениях пьезостолика, полученных с емкостного и интерференционного датчиков и последующего восстановления профилей исследуемых поверхностей. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы NSDevCtrl.exe, служебных файлов NSMover.dll, NSDevComm.dll, Motor_vc.dll, index.ini, DeviceSetup.ini, MoverSetup.ini, Signals.ini, Variables.ini и ViewerSetup.ini обеспечивающих управление прибором, хранение настроек и обработку результатов. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.

Наименование программного обеспечения

Идентификационное наименование Программного обеспечения

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения

NanoScan Device

NSDevCtrl.exe

1.0

CC88E236

CRC32

Идентификация ПО: осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.

Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: С.

Технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон сканирования

500х500х50 мкм

Разрешение при сканировании в плоскости XY

3 нм

Разрешение при сканировании по оси Z

0,2 нм

Погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY (не хуже)

± 0,1%

Погрешность измерения линейных размеров по оси Z (не хуже):

± 0,1%

Знак утверждения типа

наносится и на раму прибора методом наклейки.

Комплектность

№ п/п

Наименование комплектующей части поставки

Количество

1

Микроскоп сканирующий зондовый «НаноСкан-3ЭЬ»

1

2

Г етеродинный интерферометр

1

3

Плата управляющей электроники

1

4

Соединительные кабели

1

5

Сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами

2

6

Программное обеспечение для управления прибором и обработки данных

1

7

Руководство по эксплуатации

1

8

Набор рельефных мер типа TGZ (01,02)

1

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 48284-11 «Микроскоп сканирующий зондовый HaHoCkaH-3Di. Методика поверки», утвержденной ВНИИМС в сентябре 2011 года и входящей в комплект документации к прибору.

Основные средства поверки: рельефные меры TGZ01, (высота ступеньки 18,4 ± 1,0 нм, период 3000,07±0,18 нм), TGZ02 (высота ступеньки 101,1 ± 1,6 нм период 3000,07±0,18 нм).

Сведения о методах измерений

Методики измерений изложены в документе «Микроскоп сканирующий зондовый На-HoC^H^Di. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм

Рекомендации к применению

Вне сферы государственного регулирования

Другие Микроскопы

48289-11
WITec alpha 300 Микроскоп ближнепольный
Фирма "WITec GmbH", Германия
Для измерений геометрических параметров рельефа поверхности в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении.
48291-11
VCM-200A Микроскоп конфокальный сканирующий
Фирма "Veeco Instruments", Великобритания
Для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
48389-11
AxioImager m2M Микроскоп оптический
Фирма "Carl Zeiss MicroImaging GmbH", Германия
Для измерений линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.
Для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку)....