Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200A
| Номер в ГРСИ РФ: | 48291-11 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Veeco Instruments Inc.", США |
Для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 48291-11 | ||||||
| Наименование | Микроскоп конфокальный сканирующий | ||||||
| Модель | VCM-200A | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 348fe4c7-7bdb-9590-6dc7-16649cfa8ffb | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2011 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Великобритания |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44510 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6335 от 25.11.11 п.25 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Veeco Instruments", СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Великобритания
Плейнвью, Нью-Йорк 11803, Тел. (516) 677-0200, Факс (516) 714-1200, E-mail: info@veeco.com
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48291-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 14.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
48291-11: Описание типа
2011-48291-11.pdf
|
Скачать | 121.5 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA (далее микроскоп) предназначен для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Описание
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA представляет собой конфокальный микроскоп тандемного типа. Конфокальная микроскопия - вид оптической микроскопии, в которой изображение объекта формируется послойно за счет сканирования и пространственной фильтрации прошедшего, отраженного или испускаемого объектом излучения. Использование пространственной фильтрации позволяет увеличить разрешающую способность и контраст по сравнению с обычным световым микроскопом.
В составе микроскопа имеется конфокальный сканирующий модуль позволяющий переносить изображения точек образца находящихся в фокальной плоскости объектива, отсекая паразитный сигнал от остальных точек образца. Таким образом изменяя расстояние от объектива до образца производится получение различных сечений образца вдоль вертикальной оси с последующим построением трехмерного изображения исследуемого объекта путем объединения полученных сечений.
Рис. 1 - Внешний вид микроскопа VCM-2OOA
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением VCM-2OOA версии v3.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм VCM-2OOA расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах, которые не могут быть модифицированы. VCM-2OOA задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
|
VCM-200A |
VCM-200A Hypernated-System (R) HS200 |
v3 |
D2263A1FCEF3 E920E75652585 C29911B |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения микроскопа соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
|
Наименование параметра |
Значение параметра |
|
Линейное поле зрения в плоскости X и Y , мкм |
Объектив 10х 773х587 Объектив 20х 336х292 Объектив 50х 146х117 Объектив 100х 72х58 |
|
Диапазон измерений по оси Z, мкм |
Свыше 0 до 6 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±0,2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z , мкм |
±0,07 |
|
Масса, кг |
50 |
|
Питание, В |
240 ± 5 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус прибора методом наклейки.
Комплектность
|
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
|
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA |
1 шт. | |
|
Цифровая ПЗС-камера Pixelink |
1 шт | |
|
Компьютер |
2 шт | |
|
Руководство по эксплуатации |
1 экз. | |
|
Методика поверки |
1 экз |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48291-11 «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM 200A. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: Мера ширины и периода МШПС-2.0К 7, Период шаговой структуры: 2000±10 нм.
Сведения о методах измерений
Метод измерений изложен в документе «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А. Руководство по эксплуатации» в разделе 2.4.
Нормативные документы
1. ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
