Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200A
Номер в ГРСИ РФ: | 48291-11 |
---|---|
Категория: | Микроскопы |
Производитель / заявитель: | Фирма "Veeco Instruments Inc.", США |
Для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 48291-11 |
Наименование | Микроскоп конфокальный сканирующий |
Модель | VCM-200A |
Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
Класс СИ | 27.01 |
Год регистрации | 2011 |
Страна-производитель | Великобритания |
Центр сертификации СИ | |
Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
Телефон | (8*095) 437-55-77 |
Факс | 437-56-66 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 44510 |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
Дата протокола | Приказ 6335 от 25.11.11 п.25 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Veeco Instruments", Великобритания
Великобритания
Плейнвью, Нью-Йорк 11803, Тел. (516) 677-0200, Факс (516) 714-1200, E-mail: info@veeco.com
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП 48291-11 |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 3 |
Найдено поверителей | 3 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
48291-11: Описание типа СИ | Скачать | 517.4 КБ | |
Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA (далее микроскоп) предназначен для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Описание
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA представляет собой конфокальный микроскоп тандемного типа. Конфокальная микроскопия - вид оптической микроскопии, в которой изображение объекта формируется послойно за счет сканирования и пространственной фильтрации прошедшего, отраженного или испускаемого объектом излучения. Использование пространственной фильтрации позволяет увеличить разрешающую способность и контраст по сравнению с обычным световым микроскопом.
В составе микроскопа имеется конфокальный сканирующий модуль позволяющий переносить изображения точек образца находящихся в фокальной плоскости объектива, отсекая паразитный сигнал от остальных точек образца. Таким образом изменяя расстояние от объектива до образца производится получение различных сечений образца вдоль вертикальной оси с последующим построением трехмерного изображения исследуемого объекта путем объединения полученных сечений.
Рис. 1 - Внешний вид микроскопа VCM-2OOA
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением VCM-2OOA версии v3.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм VCM-2OOA расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах, которые не могут быть модифицированы. VCM-2OOA задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
VCM-200A |
VCM-200A Hypernated-System (R) HS200 |
v3 |
D2263A1FCEF3 E920E75652585 C29911B |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения микроскопа соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Наименование параметра |
Значение параметра |
Линейное поле зрения в плоскости X и Y , мкм |
Объектив 10х 773х587 Объектив 20х 336х292 Объектив 50х 146х117 Объектив 100х 72х58 |
Диапазон измерений по оси Z, мкм |
Свыше 0 до 6 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±0,2 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z , мкм |
±0,07 |
Масса, кг |
50 |
Питание, В |
240 ± 5 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус прибора методом наклейки.
Комплектность
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA |
1 шт. | |
Цифровая ПЗС-камера Pixelink |
1 шт | |
Компьютер |
2 шт | |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. | |
Методика поверки |
1 экз |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48291-11 «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM 200A. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: Мера ширины и периода МШПС-2.0К 7, Период шаговой структуры: 2000±10 нм.
Сведения о методах измерений
Метод измерений изложен в документе «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А. Руководство по эксплуатации» в разделе 2.4.
Нормативные документы
1. ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям