48388-11: Helios NanoLab 650 Микроскоп электронно-ионный растровый - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650

Номер в ГРСИ РФ: 48388-11
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "FEI Company", США
Скачать
48388-11: Описание типа СИ Скачать 480.7 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...
Нет данных о поставщике
Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 48388-11
Наименование Микроскоп электронно-ионный растровый
Модель Helios NanoLab 650
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2011
Страна-производитель  США 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ"
Адрес центра 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1
Руководитель центра Тодуа Павел Андреевич
Телефон (8*095) 935-97-77
Факс 132-60-13
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 44655
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола Приказ 6354 от 06.12.11 п.08
Производитель / Заявитель

Фирма "FEI Company", США

 США 

5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon 97124, USA Тел. +1(503)726-7500. Факс +1(503)726-2570

Поверка

Методика поверки / информация о поверке ГОСТ Р 8.631-07
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1
Актуальность информации 24.03.2024

Поверители

Скачать

48388-11: Описание типа СИ Скачать 480.7 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...

Описание типа

Назначение

Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.

Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

xT Microsoft Control 4.5.2.2371

1.0

B147D7322D89F836E8 807411AA7F2D086A1 D66F3595C4A03C2BB C33896F0C04D

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм

от 0,05 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, %

±5

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более

10

Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более

0,8

Разрешение при ускоряющем напряжении 0,2 кВ, нм, не более

1,5

Потребляемая мощность, кВт, не более

3

Рабочие условия эксплуатации:

• температура окружающего воздуха, °С

• атмосферное давление, кПа

• относительная влажность воздуха, не более, %

• напряжение сети питания, В

• частота сети питания, Гц

20±3

100±4

80

220+10 %-15 %

50±1

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и типографским способом на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.

Комплектность

В комплект микроскопа входят: микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 фирмы «FEI Company», США»

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Другие Микроскопы

48389-11
AxioImager m2M Микроскоп оптический
Фирма "Carl Zeiss MicroImaging GmbH", Германия
Для измерений линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.
Для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку)....
Микроскопы измерительные оптические OLYMPUS STM6, STM6-LM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров деталей.
50159-12
Veeco Dimension 3100 Микроскоп атомно-силовой
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскоп электронный растровый S-4800 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.