Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650
| Номер в ГРСИ РФ: | 48388-11 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "FEI Company", США |
Для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48388-11 |
| Наименование | Микроскоп электронно-ионный растровый |
| Модель | Helios NanoLab 650 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44655 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6354 от 06.12.11 п.08 |
Производитель / Заявитель
Фирма "FEI Company", США
США
5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon 97124, USA Тел. +1(503)726-7500. Факс +1(503)726-2570
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.631-07 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 48388-11: Описание типа СИ | Скачать | 480.7 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
xT Microsoft Control 4.5.2.2371 |
1.0 |
B147D7322D89F836E8 807411AA7F2D086A1 D66F3595C4A03C2BB C33896F0C04D |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм |
от 0,05 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, % |
±5 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
10 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более |
0,8 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 0,2 кВ, нм, не более |
1,5 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
3 |
|
Рабочие условия эксплуатации: • температура окружающего воздуха, °С • атмосферное давление, кПа • относительная влажность воздуха, не более, % • напряжение сети питания, В • частота сети питания, Гц |
20±3 100±4 80 220+10 %-15 % 50±1 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и типографским способом на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 фирмы «FEI Company», США»
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Микроскопы
