48389-11: AxioImager m2M Микроскоп оптический - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп оптический AxioImager m2M

Номер в ГРСИ РФ: 48389-11
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия
Скачать
48389-11: Описание типа СИ Скачать 481.4 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...
Нет данных о поставщике
Микроскоп оптический AxioImager m2M поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 48389-11
Наименование Микроскоп оптический
Модель AxioImager m2M
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2011
Страна-производитель  Германия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ"
Адрес центра 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1
Руководитель центра Тодуа Павел Андреевич
Телефон (8*095) 935-97-77
Факс 132-60-13
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 44656
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола Приказ 6354 от 06.12.11 п.09
Производитель / Заявитель

Фирма "Carl Zeiss MicroImaging GmbH", Германия

 Германия 

37030, г. Готтинген, Германия

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 48389-11
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 9
Найдено поверителей 2
Успешных поверок (СИ пригодно) 9 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

48389-11: Описание типа СИ Скачать 481.4 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...

Описание типа

Назначение

Микроскоп оптический AxioImager m2M (далее - прибор) предназначен для измерений линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении преломления световых лучей системой оптических элементов и построения увеличенного изображения системой объектив-окуляр. Объект изучения помещается под объектив, где он освещается с помощью источника искусственного светового потока и системы зеркал (конденсора). Основным элементом оптического микроскопа в данном случае является оптическая система, нижней частью которой является объектив, оснащенный системой оптических линз. Различная кратность микроскопа достигается установкой объективов необходимого увеличения в рабочее положение с помощью, револьверного устройства, верхняя часть которого заканчивается специальной насадкой, позволяющей вести изучение объекта как при помощи глаза, так и с помощью цифровой камеры, подающей изображение на ПЭВМ.

Прибор состоит из основания с встроенными осветителями и кронштейном с предметным столиком, окуляров, револьверного устройства и набора объективов к нему, двух камер с ПЗС-матрицей (верхняя и боковая), источников питания током осветителей и рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.

Рисунок 1. Общий вид микроскопа оптического AxioImager m2M.

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

Carl Zeiss AxioVision

4.8.3

233D2490AD2CC70501 5D2D1B1D9DE5F9BD F89AEF2A7D439F7469 1EA63DFAFDCF

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон увеличений, крат

от 50 до 1000

Максимальное разрешение, мкм

0,3

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,1 до 200

Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров, мкм: в диапазоне от 1 до 10 в диапазоне от 10 до 200

± 0,1

± 1

Размеры исследуемых объектов, мкм

от 500 до 75000

Потребляемая мощность, Вт

190

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, оС

- атмосферное давление, мм рт. ст.

- относительная влажность воздуха, %, не более

- напряжение сети питания, В

- частота сети питания, Гц

22 ± 3

от 730 до 800

70

220 ± 10

50 ± 1

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на основание прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.

Комплектность

В комплект прибора входят: микроскоп оптический AxioImager m2M, комплект ЗИП, ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 48389-11 «Микроскоп оптический AxioImager m2M фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в сентябре 2011 г.

Средство поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия», раздел 6.

Нормативные документы

Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия».

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Другие Микроскопы

Для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку)....
Микроскопы измерительные оптические OLYMPUS STM6, STM6-LM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров деталей.
50159-12
Veeco Dimension 3100 Микроскоп атомно-силовой
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскоп электронный растровый S-4800 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее ╞ микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.