Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100
| Номер в ГРСИ РФ: | 50159-12 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Veeco Instruments Inc.", США |
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 50159-12 |
| Наименование | Микроскоп атомно-силовой |
| Модель | Veeco Dimension 3100 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | США |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 46850 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 424 п. 23 от 18.06.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
США
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 31.Д4-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 50159-12: Описание типа СИ | Скачать | 633.9 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на сканировании исследуемой поверхности зондами и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
В состав микроскопа Veeco Dimension 3100 входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Veeco Dimension 3100 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,
- контактная атомно-силовая микроскопия.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Veeco Dimension 3100
Марка изготовителя и наименование прибора
Заводской номер прибора, место пломбирования
Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа атомно-силового
Veeco Dimension 3100
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО) «femtoscan online».
Управление работой микроскопом, визуализация экспериментальных данных, а также обработка результатов измерений проводится с помощью программного продукта «femtoscan online».
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющих программ, файлов драйвера для работы через порт USB. Управляющая программа работает в удобном диалоговом режиме. В программе предусмотрен ввод данных о параметрах образца и дисперсанта (температура, коэффициент преломления и пр.), а также устанавливается режим измерений. Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификаци онное наименование ПО |
Номер версии (идентификаци онный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
femtoscan |
femtoscan online |
2.3 |
9B82BA090D15D25B5 A6A0D697F685FC4 |
MD5 |
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
2 - 90 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
0,02 - 0,60 |
|
Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
±0,06 |
|
Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм |
±0,02 |
|
СКО измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм, не более |
0,05 |
|
СКО измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм, не более |
0,002 |
|
Напряжение питания переменного тока, В |
230 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
600 |
|
Г абаритные размеры контроллера, мм, не более |
585x191x585 |
|
Г абаритные размеры микроскопа, мм, не более |
818x865x1270 |
|
Масса, кг, не более |
85 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт. |
|
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 |
1 |
|
Контроллер микроскопа |
1 |
|
Персональный компьютер |
2 |
|
Монитор |
2 |
|
Кабель USB для соединения с ПК |
2 |
|
Комплект кабелей для подключения к сети электропитания |
2 |
|
Пакет прикладного программного обеспечения (диск) |
2 |
|
Виброзащищенный стол |
1 |
|
Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм |
1 |
|
Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм |
1 |
|
Набор кантилеверов для полуконтактного режима работы |
1 |
|
Набор кантилеверов для контактного режима работы |
1 |
|
Запасной предохранитель |
4 |
|
Упаковка |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки № МП 31. Д4-11 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Методика поверки № МП 31.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 10 октября 2011 г.
Основные средства поверки:
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Таблица 4
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Передача размера единицы длины в диапазоне, м |
10-9 - 10-4 |
|
Номинальное значение шага шаговой структуры меры, мкм |
2,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм |
± 0,05 |
Сведения о методах измерений
«Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Руководство по эксплуатации», раздел 2 «Подготовка к работе и порядок работы».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
Другие Микроскопы
