50908-12: JSM-6460LV Микроскоп электронный растровый - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV

Номер в ГРСИ РФ: 50908-12
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Jeol", Япония
Скачать
50908-12: Описание типа СИ Скачать 239.3 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...
Нет данных о поставщике
Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее ╞ микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 50908-12
Наименование Микроскоп электронный растровый
Модель JSM-6460LV
Год регистрации 2012
Страна-производитель  Япония 
Информация о сертификате
Срок действия сертификата ..
Номер сертификата 47771
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E
Дата протокола Приказ 650 п. 05 от 24.08.2012
Производитель / Заявитель

Фирма "Jeol", Япония

 Япония 

Поверка

Методика поверки / информация о поверке ГОСТ Р 8.613-2007
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 9
Найдено поверителей 2
Успешных поверок (СИ пригодно) 9 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

50908-12: Описание типа СИ Скачать 239.3 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...

Описание типа

Назначение

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных и детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных отраженных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6460LV

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

TR0104-020

6.54

79BD56A52F4E65 CF14CC36193B05 85A629861652466 F272F3DB974B2F 378878B

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2 Таблица 2

Наименование характеристики

Значение

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец - кремний), нм, не более

30

Диапазон регулировки увеличения, крат

8^300000

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

0,15^5000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %:

- в диапазоне от 0,15 до 0,3 мкм

- в диапазоне от 0,3 до 0,6 мкм

- в диапазоне от 0,6 до 5000 мкм

±11

±7 ±5

Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ

0,3^30

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

220+22-33

Потребляемая мощность, кВ^А

3

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ - видеоконтрольный блок

750х960х1480

1150х900х700

Масса, кг

600

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

- атмосферное давление, кПа

20 ± 5 60 84^107

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый JSM-6460LV, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV фирмы «JEOL», Япония».

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Рекомендации к применению

- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Другие Микроскопы

Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотел...
51170-12
INM 300 DUV Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона
Фирма "Vistec Semiconductor Systems GmbH", Германия
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV, (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров деталей структуры тонкопленочных объектов.
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 (далее - микроскоп) предназначен для измерений параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Default ALL-Pribors Device Photo
52096-12
РАМ-30µ Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические
ЗАО "Научные приборы", г.С.-Петербург
Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические РАМ-30µ предназначены для измерения содержания элементов в точках фокусирования рентгеновских лучей на поверхности исследуемого образца.