Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500
| Номер в ГРСИ РФ: | 50909-12 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 50909-12 |
| Наименование | Микроскоп электронно-ионный растровый |
| Модель | JIB-4500 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Япония |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 47772 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 650 п. 06 от 24.08.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Jeol", Япония
Япония
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.631-2007 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 50909-12: Описание типа СИ | Скачать | 262.9 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне измерений микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом для их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
Multi Beam System Control Program |
1.04 |
BA7A1O6561F93C5E9 46D513EA6D3155C44 6B292ECC7AC714A69 466220DC0F68F |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового JIB-4500
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм |
от 0,1 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, %: - в диапазоне от 0,1 до 0,2 мкм - в диапазоне от 0,2 до 0,4 мкм - в диапазоне от 0,4 до 1000 мкм |
±11 ±7 ±5 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец - кремний), нм, не более |
25 |
|
Разрешение при возбуждении электронным пучком и ускоряющем напряжении 30 кВ, нм |
2,5 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-33 |
|
Потребляемая мощность, кВ^А |
4,7 |
|
Масса, кг |
1000 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
1820х1100х1700 |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, кПа |
20±5 95 84^107 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 фирмы
«JEOL», Япония»
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Микроскопы
