Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
| Номер в ГРСИ РФ: | 51170-12 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Vistec Semiconductor Systems GmbH", Германия |
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV, (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 51170-12 |
| Наименование | Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона |
| Модель | INM 300 DUV |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Германия |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 48066 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 740 п. 99 от 11.09.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Vistec Semiconductor Systems GmbH", Германия
Германия
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 62.Д4-12 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 24.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 51170-12: Описание типа СИ | Скачать | 371.3 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV, (далее по тексту -микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип работы микроскопа основан на освещении объекта через объектив микроскопа излучением видимого или ультрафиолетового диапазона длин волн и проведением измерений структуры его поверхности в отраженном свете.
Оптическая часть микроскопа содержит канал освещения объекта и канал измерений. Канал измерений предназначен для визуального наблюдения (с помощью окуляра), а также для измерения и документирования с помощью цифровой видеокамеры или цифровой фотокамеры. Канал освещения предназначен для освещения объекта. Интенсивность освещения поверхности объекта контроля регулируется потенциометром. Изображение с цифровой фотокамеры вводится в ПЭВМ через USB - порт или через устройство цифрового ввода видеосигнала (УЦВВ) в режиме реального времени.
Оптическое изображение проецируется на видеокамере. С помощью программного обеспечения, учитывая масштабный коэффициент размера цифрового изображения к размеру реального объекта, определяется линейный размер твердотельных микроструктур.
В состав микроскопа входят персональный компьютер, программное обеспечение. В микроскопе реализованы следующие режимы оптической микроскопии:
- микроскопия в видимом диапазоне длин волн;
- микроскопия в режиме глубокого ультрафиолета.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
Заводской номер прибора, место пломбирования
Рисунок 2 - Маркировка и пломбирование микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
Марка изготовителя и наименование прибора
Программное обеспечение
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV оснащен программным обеспечением High Performance Image Control.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификац ионное наименование ПО |
Номер версии (идентификацион ный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификато ра ПО |
|
High Performance Image Control |
HiPic 32 |
7.1.0 |
D8220560DF13E1C6AE52DA AC03CE8EA9 |
MD5 |
|
ImageScope |
ImageScope M |
1.0. 1 |
E60FA5E92F13F275C5E2F452 3EF93BE4 |
MD5 |
Изменение ПО возможно только с помощью специальных технических средств сервисными инженерами фирмы-изготовителя. Пользователь долступа к ПО не имеет.
ПО защищено USB-ключом.
Защита программного обеспечения микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2. Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 5х, мкм по оси Х |
3 - 1290 |
|
по оси Y |
3 - 969 |
|
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 10х, мкм по оси Х |
2 - 645 |
|
по оси Y |
2 - 494 |
|
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 20х, мкм по оси Х |
2 - 323 |
|
по оси Y |
2 - 242 |
|
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 50х, мкм по оси Х |
0,2 - 130 |
|
по оси Y |
0,2 - 97 |
|
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х, мкм по оси Х |
0,5 - 43,7 |
|
по оси Y |
0,5 - 32,8 |
|
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х DUV, мкм по оси Х |
0,1 - 28,4 |
|
по оси Y |
0,1 - 22,7 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм для объектива 5х |
± 2 |
|
для объектива 10х |
± 1 |
|
для объектива 20х |
± 1 |
|
для объектива 50х |
± 0,1 |
|
для объектива 150х |
± 0,05 |
|
для объектива 150х DUV |
± 0,03 |
|
СКО измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм, не более для объектива 5х |
0,7 |
|
для объектива 10х |
0,3 |
|
для объектива 20х |
0,3 |
|
для объектива 50х |
0,03 |
|
для объектива 150х |
0,0012 |
|
для объектива 150х DUV |
0,001 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В |
220 ± 22 |
|
частотой, Гц |
50 ± 1 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
600 |
|
Габаритные размеры микроскопа (ДхШхВ), мм, не более |
950x650x550 |
|
Масса, кг, не более |
85 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, 0С Максимальная относительная влажность воздуха при температуре 25 0С, |
20 ± 5 |
|
% |
80 |
|
Атмосферное давление, кПа |
101,3± 4 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус микроскопа методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт. |
|
Микроскоп INM 300 DUV |
1 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Монитор |
2 |
|
Элементы контроля: клавиатура Vistec INM 300 DUV встроенные функциональные клавиши, трекбол |
1 |
|
Комплект оптических элементов: объективы, призмы, оптические фильтры, светоделители |
1 |
|
Упаковка |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки МП 62.Д4-12 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Методика поверки МП 62.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 16 июля 2012 г.
Основные средства поверки:
1 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Основные метрологические характеристики:
Среднее значение шага 2,001 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры ± 0,002 мкм.
2 Мера графитовая S106.
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение шага 0,463 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры ± 0,020 мкм.
Сведения о методах измерений
«Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Руководство по эксплуатации», раздел 2.3 «Подготовка к работе» и 2.4 «Порядок работы».
Нормативные документы
1 Техническая документация фирмы - изготовителя.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
Другие Микроскопы
