Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400
| Номер в ГРСИ РФ: | 52088-12 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 (далее - микроскоп) предназначен для измерений параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 52088-12 |
| Наименование | Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой |
| Модель | JSPM 5400 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Япония |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 49135 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 1133 п. 07 от 14.12.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "JEOL Ltd.", Япония
Япония
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.630-2007 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 3 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 52088-12: Описание типа СИ | Скачать | 222.1 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 (далее - микроскоп) предназначен для измерений параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на измерении силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение микрорельефа поверхности.
Микроскоп состоит из ПЗС-камеры, системы увеличения изображения на штативе, колпака для стабилизации атмосферы, объектного столика, основания микроскопа, стола на воздушной подушке, источника лазерного излучения, системы визуализации изображения, блока управления, ПЭВМ, системы визуализации технических характеристик и блока управления осветителем.
Рисунок 1. Общий вид микроскопа зондового сканирующего атомно-силового JSPM.
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
WinSPMII |
V2.06. 070203.0 |
328858B259237FD96 B23B39DE33E0D18E 8EB1B6E51300BC5B 665FF1A3FF876EA |
по ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0 до 20 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 3 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % |
±5 |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не менее |
10 |
|
Разрешение по оси Z, нм, не менее |
от 1 до 2 |
|
Перемещение держателя образца по горизонтали, мм |
±3 |
|
Перемещение держателя образца по вертикали, мм |
±5 |
|
Геометрические размеры исследуемых образцов (длина х ширина х высота), мм, не более |
25х25х5 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-22 |
|
Потребляемая мощность, кВА |
1,5 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - атмосферное давление, мм рт. ст. - относительная влажность воздуха, % |
20 ± 5 от 730 до 800 65±15 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на основание микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400, комплект ЗИП, расходные материалы, программное обеспечение, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в Техническом паспорте «Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 фирмы JEOL Ltd., Япония».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Микроскопы
