Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров фазовых и структурных составляющих металлов и сплавов, композиционных и полимерных материалов, порошков, микрокристаллов, локального микрорентгеноспектрального анализа, определения параметров кристаллических решеток.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на использовании электронного пучка с длиной волны, значительно более короткой, чем световая.

В состав микроскопа входят:

- вакуумная система;

- источник электронов;

- источник высокого напряжения для ускорения электронов;

- набор электромагнитных линз и электростатических пластин для управления и контроля электронного пучка;

- экран, на который проецируется увеличенное электронное изображение;

- энергодисперсионный детектор с пакетом программного обеспечения INCA Energy TEM-250 для проведения элементного анализа с высокой локальностью измерений.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX

Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX

Программное обеспечение

Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).

Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющих программ:

- Digital Micrograph предназначено для обработки изображений, получаемых от микроскопа;

- INCA Energy TEM-250 предназначено для накопления спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования на просвет, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам.

Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.

Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.

Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.

Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики Микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX приведены в таблице 2.

Таблица 2

Знак утверждения типа

наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

Перечень основного и дополнительного оборудования приведен в таблице 3.

Таблица 3

Поверка

осуществляется по документу: «Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX. Методика поверки № МП 66.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 15 марта 2011 г.

Основные средства поверки:

1 Мера периода рельефная S106

Основные метрологические характеристики:

Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений - 0,463 мкм

Предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры -± 0,020 мкм.

2 Мера рельефная графитовая S140

Основные метрологические характеристики:

Номинальное значение периода кристаллической решетки меры - 0,314 нм.

Предел допускаемой абсолютной погрешности периода кристаллической решетки -± 0,05 нм

Сведения о методах измерений

«Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX. Руководство по эксплуатации», раздел 7 «Работа с образцами».

Нормативные документы

Техническая документация JEOL Ltd, Япония.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям