Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV

Назначение

Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения масштабного коэффициента видеоизображения при помощи получения изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением, а также для элементного анализа и элементного картирования при малых увеличениях.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с исследуемым веществом. Поверхность образца сканируется электронным лучом, и образующиеся при этом обратнорассеянные электроны, несут информацию о топографии поверхности, а также физических и химических свойствах образца. Эти электроны, несущие вышеуказанную информацию, летят с различных направлений и детектируются полупроводниковыми элементами, расположенными симметрично относительно оптической оси. При этом количественные изменения детектируемых электронов в процессе сканирования преобразуются в электрические сигналы. Два сигнала от детекторных элементов усиливаются предусилителем и поступают в операционный усилитель. Операционный усилитель дополнительно усиливает эти сигналы и одновременно производит их сложение и вычитание. Суммарный сигнал используется в качестве видеосигнала для формирования композиционного изображения, а разностный сигнал служит видеосигналом для формирования топографического изображения. Детектирование обратнорассеянных электронов, несущих информацию о неоднородности поверхности образца и распределении на ней составных элементов, позволяет наблюдать изображение поверхности образца.

В состав микроскопа входят:

- система энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450

- электронно-оптическая система, которая позволяет получать изображения с минимальным увеличении х8 при рабочем расстоянии (WD) 48 мм;

- 5-ти осевой моторизованный объектный столик;

- объектная камера, конструкция которой позволяет вместить образцы высотой до 80мм;

- электронный детектор;

- дисплейная система;

- операционная система;

- вакуумная система;

- устройства для защиты от падения вакуума, отключения воды, напряжения и короткого замыкания.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV

Место нанесения маркировки

Место пломбирования

Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV

Программное обеспечение

Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).

Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющей программы INCA Energy 450.

Программное обеспечение INCA Energy 450 снабжено уникальной системой навигаторов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.

Система имеет три основных навигатора:

- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемого электронным пучком);

- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);

- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам).

Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.

Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.

Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.

Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.

И дентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики Микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV приведены в таблице 2.

Таблица 2

Знак утверждения типа

наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

Перечень основного и дополнительного оборудования приведен в таблице 3. Таблица 3

Поверка

осуществляется по документу: «Микроскоп электронный сканирующий JSM6490LV. Методика поверки № МП 73.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 15 марта 2011 г

Основные средства поверки:

Рельефная мера ширины и периода нанометрового диапазона специальная МШПС-2.0К.

Основные метрологические характеристики:

Значение величины проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) - 400 нм;

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера (a) не более ± 1 нм.

Сведения о методах измерений

«Сканирующий электронный микроскоп JSM-6490LV с системой энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450. Руководство по эксплуатации», раздел 6 «Работа с микроскопом».

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.631-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений.

Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки»

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям