Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (мод. JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A)

Назначение

Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A) (далее -микроскоп) предназначены для количественного морфологического анализа и измерения линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Описание

Микроскоп электронный растровый JSM-6x10 представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

Состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отраженных электронов, детектора прошедших электронов для режима «на просвет», вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.

Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных электронов и в режиме «на просвет».

Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом JSM-6x10 заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Создание устойчивого изображения диэлектрических объектов в режиме «Decelera-tion» обеспечивается благодаря торможению первичного пучка полем держателя образца, в результате чего сохраняется возможность наблюдения объекта при пониженных ускоряющих напряжениях с достаточно высоким разрешением.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

Конструктивно микроскоп выполнен в виде стола.

Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно.

Отличие моделей:

- JSM-6x10 - работает только в режиме высокого вакуума;

- JSM-6x10LV - работает в режиме высокого и низкого вакуума;

- JSM-6x10LA - работает в режиме высокого и низкого вакуума, может комплектоваться встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС);

- JSM-6x10A - работает только в режиме высокого вакуума, может комплектоваться встроенным ЭДС.

Внешний вид микроскопов приведен на рисунках 1 - 2.

* **

Примечание: * - место для нанесения оттисков клейм или размещения наклеек

** - места пломбировки от несанкционированного доступа

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа моделей JSM-6510LV\A\LA

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа моделей JSM-6610LV\A\LA

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) «SEM Control Program» является специализированным ПО микроскопа.

ПО «SEM Control Program» предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SEM Control Program» не может быть использовано отдельно от микроскопа.

Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики микроскопа не выходит за пределы согласованного допуска.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1

Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблицах 2 - 3.

Таблица 2 - Основные метрологические характеристики

Таблица 3 - Эксплуатационные характеристики

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки включает:

- микроскоп электронный растровый JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A), состоящий из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отраженных электронов, детектора прошедших электронов для режима «на просвет», вакуумной системы, видео-контрольного устройства, блока питания - 1 шт.;

- комплект эксплуатационной документации (Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Формуляр; Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;

- одиночный комплект ЗИП;

- методика поверки - 1 шт.;

- тестовый образец фирмы SPI (островковая пленка золота на углероде).

Поверка

осуществляется по документу ТИВН 442241.002 МП «Инструкция. Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 24.01.2013 г.

Основные средства поверки:

- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер 33598-06);

- мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм.

Сведения о методах измерений

Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Руководство по эксплуатации.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.