Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA
Номер в ГРСИ РФ: | 53938-13 |
---|---|
Категория: | Микроскопы |
Производитель / заявитель: | Фирма "TESCAN, a.s.", Чехия |
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 53938-13 |
Наименование | Микроскопы сканирующие электронные |
Модель | TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA |
Год регистрации | 2013 |
Страна-производитель | Чехия |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | 26.06.2018 |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | C |
Дата протокола | Приказ 650 п. 35 от 26.06.2013 |
Производитель / Заявитель
Фирма "TESCAN, a.s.", Чехия
Чехия
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП 53938-13 |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 243 |
Найдено поверителей | 7 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 242 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 1 (0%) |
Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
53938-13: Описание типа СИ | Скачать | 366.8 КБ | |
Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA предназначены для измерений размеров, формы, ориентации и других параметров наноструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA (далее - микроскопы) состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов, форвакуумного насоса и стола оператора с персональным компьютером.
Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а так же получение информации с детекторов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах.
Управление и настройка микроскопов осуществляются с помощью трекбола, мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.
К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа, стол оператора, блок электроники, управляющий компьютер. Провода от блока электроники и компьютера уложены в специальный короб в столе оператора. Стол оператора служит для размещения органов управления микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор, так и используется для подготовки образцов перед исследованием). Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа
Принцип работы микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов.
Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований. В качестве источника электронов в микроскопах серии VEGA, VELA, INDUSEM и TIMA используется электронная пушка с вольфрамовым термоэмиссионным катодом.
В качестве источника электронов в микроскопах MIRA, LYRA и FERA используется электронная пушка с катодом Шоттки с полевой эмиссией, что позволяет получать изображения с более высоким разрешением, чем при использовании вольфрамового термоэмиссионного катода при больших токах пучка.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей. Стандартный держатель выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключается выносная панель с ручками и ЖК-дисплеем, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.
Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA приведен на рисунках 1 - 7.
Рисунок 1 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN VEGA
Рисунок 2 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN INDUSEM
Рисунок 3 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN TIMA
Рисунок 4 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN MIRA
Рисунок 5 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN LYRA
Рисунок 6 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN VELA
Рисунок 7 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN FERA
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение TESCAN Software Package, разработанное для конкретных измерительных задач и осуществляет также
функции уп |
эавления процессом измерений. | |||
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
Tescan Software Package |
Tescan main application |
4.X |
- |
- |
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защитой ПО являются лицензионные файлы, жестко привязанные к уникальному идентификатору процессорного блока компьютера или флеш-ключу, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «С» по МИ 32862010.
Технические характеристики
Характеристики приборов |
VEGA |
TIMA |
INDUSEM |
MIRA |
LYRA |
FERA |
VELA |
Диапазон измерений |
От 300 нм |
От 300 нм |
От 300 нм |
От 300 нм |
От 300 нм |
От 300 нм |
От 300 нм |
линейных размеров |
до 10 мм |
до 10 мм |
до 10 мм |
до 10 мм |
до 10 мм |
до 10 мм |
до 10 мм |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % |
± 3 |
± 3 |
± 3 |
± 3 |
± 3 |
± 3 |
± 3 |
Разрешение, нм |
3,0 |
1,2; 3,0 |
3,0 |
1,2 |
1,2 |
1,2 |
3,0 |
Давление в камере, Па, не более |
1x10-2 |
1 x 10 2 |
1 x 10 2 |
1 x 10-2 |
1 x 10-2 |
1 x10-2 |
1 x 10-2 |
Увеличение, крат |
От 2 до 1000 000 вкл |
От 2 до 1000 000 вкл |
От 1 до 1000 000 вкл |
От 2 до 1000 000 вкл |
От 1 до 1000000 вкл |
От 1 до 1000 000 вкл |
От 1 до 1000 000 вкл |
Диапазон рабочих температур,оС |
От 17 до 23 |
От 17 до 23 |
От 17 до 23 |
От 17 до 23 |
От 17 до 23 |
От 17 до 23 |
От 17 до 23 |
Относительная влажность, %, не более, без конденсата |
80 |
80 |
80 |
80 |
80 |
80 |
80 |
Габаритные размеры, не более, мм: | |||||||
-длина, |
2360 |
2360 |
2360 |
2360 |
3000 |
3000 |
3000 |
-ширина, |
1030 |
1030 |
1030 |
1175 |
1330 |
1330 |
1330 |
-высота |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
Питающее напряжение, В |
230±10 % |
230± 10 % |
230 ±10 % |
230± 10% |
230 ± 10% |
230±10% |
230±10 % |
Частота, Гц |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
Потребляемая мощность, В-А, не более |
1300 |
1500; 2400 |
1300 |
2200 |
2300 |
2300 |
2300 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и на боковую грань рабочей камеры микроскопов методом наклейки .
Комплектность
В комплект поставки микроскопов сканирующих электронных TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA входит:
Микроскоп сканирующий электронный TESCAN |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
Методика поверки |
1 экз. |
Поверка
Осуществляется по документу МП 53938-13 «Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA. Методика поверки», разработанному ООО «ТЕСКАН», Санкт-Петербург и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС», г. Москва в мае 2013 года.
Основные средства поверки: меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в Руководстве по эксплуатации на приборе в п.7.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1*10-9 ...50 м и длин волн в диапазоне 0,2 ... 50 мкм».
Техническая документация фирмы TESCAN a.s., Чехия.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.