Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25
| Номер в ГРСИ РФ: | 55118-13 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия |
| 55118-13: Описание типа СИ | Скачать | 98.6 КБ |
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 55118-13 |
| Наименование | Микроскоп сканирующий электронный |
| Модель | EVO MA25 |
| Год регистрации | 2013 |
| Страна-производитель | Великобритания |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 1133 п. 27 от 04.10.2013 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Великобритания
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 77.Д4-13 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 6 месяцев |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 55118-13: Описание типа СИ | Скачать | 98.6 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25 предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип работы микроскопа сканирующего электронного EVO MA25 (далее по тексту - микроскоп) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
Микроскоп оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа сканирующего электронного EVO MA25.
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.
Программное обеспечение
Микроскоп имеет автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений.
Идентификационные данные метрологически значимой части программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1____________________________________________________________________________
|
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификацио нный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
SmartSEM |
5.06 |
7B1EE57BEE2FF061 4EF5F8822FB71632 |
MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С». Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно
защищены с помощью ограничения прав доступа.
Таблица 2
Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель |
2,65 - 19531 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм |
50 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
20 - 2-106 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм |
±(4+0,05L*) |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
5-1000000 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5 % |
|
Масса, кг, не более |
650 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
980x774x1700 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающего воздуха, °С Относительная влажность воздуха при 25°С, % Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па |
22 ± 0,2 40 ± 2 30 ± 0,3 |
|
* - L - длина измеряемого объекта, нм | |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Микроскоп электронный сканирующий EVO MA25 |
1 |
|
Компьютер с сетевым источником питания |
1 |
|
Дисплей |
1 |
|
Клавиатура |
1 |
|
Манипулятор «мышь» |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки МП 77. Д4-13 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 77.Д4-13 «Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 30 августа 2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
|
Наименование метрологических характеристик |
Номинальное значение, нм |
Погрешность, нм |
|
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм. |
2001 |
±2 |
|
Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм. |
597 |
±2 |
Сведения о методах измерений
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Руководство по эксплуатации раздел 2.2.4.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.
