59636-15: SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные - Производители, поставщики и поверители

Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP

Номер в ГРСИ РФ: 59636-15
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия
Скачать
59636-15: Описание типа СИ Скачать 95.9 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 59636-15
Наименование Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные
Модель SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP
Срок свидетельства (Или заводской номер) 23.01.2020
Производитель / Заявитель

Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 6 месяцев
Зарегистрировано поверок 9
Найдено поверителей 2
Успешных поверок (СИ пригодно) 9 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

59636-15: Описание типа СИ Скачать 95.9 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP (далее по тексту - микроскопы) измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Принцип работы микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком электронов поверхности образца для создания изображения.

Для функционирования микроскопов необходимо поддерживать вакуум в вершине пушки, колонне и камере для образцов. Вакуум также необходим для того, чтобы электроны не смешивались с газом. Измерение вакуума в камере для образцов осуществляется с помощью измерителя Пеннинга. Максимальный уровень вакуума поддерживается в верхней части пушки с помощью одного или двух геттеро-ионных наносов.

Образец располагается в специальной герметичной камере. Стандартный столик для образцов представляет собой столик в возможностью перемещения по 5 осям координат. Управление столиком осуществляется с помощью панели управления со сдвоенными джойстиками или программного джойстика в пользовательском интерфейсе.

Колонна представляет собой зону, где происходит эмиссия, ускорение, создание пучка, фокусировка и смещение электронов. Основными компонентами оптики являются ускоритель пучков электронов и линза объектива, которая состоит из электростатической и электромагнитной линз.

В стандартную комплектацию входит ПЗС-камера с инфракрасной подсветкой.

В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:

- VP - микроскопы с режимом разного уровня вакуума;

- HD - микроскопы с более высокой разрешающей способностью, размерами рабочей камеры и столика, приведенными в таблицах 3 и 4.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов

полевых эмиссионных растровых электронных

SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP

Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.

Программное обеспечение

Микроскопы имеют автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

SmartSEM

Номер версии (идентификационный номер )ПО

5.06

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

7B1EE57BEE2FF0614EF5F8822FB71632

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

MD5

Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует среднему уровню в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм

150

Диапазон показаний линейных размеров, нм

от 1 до 2406

Диапазон измерений линейных размеров, нм

от 500 до 2-106

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм

±(4+0,05L*)

Диапазон регулирования увеличения, крат

_ *>!<

10 - 500000

_ ______***

10 - 1000000

Номинальное напряжение сети питания, В

220 ± 5 %

Масса, кг, не более

636

Габаритные размеры, мм, не более

822x980x1757

Условия эксплуатации:

Температура окружающего воздуха, оС

Относительная влажность воздуха при 25оС, не более, %

Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па

23 ± 1

65

30 ± 0,3

* - L - длина измеряемого объекта, нм

- для микроскопа автоэмиссионного электронного сканирующего SIGMA/SIGMA VP

- для микроскопа автоэмиссионного электронного сканирующего SIGMA HD/SIGMA HD VP

Таблица 3

Модификация микроскопа

Размер рабочей камеры, мм

Размер столика, мм

SIGMA

SIGMA VP

Диаметр 330

Высота 270

X = 125

Y = 125

Z = 50

SIGMA HD

SIGMA HD VP

Диаметр 358

Высота 270,5

X = 130

Y = 130

Z = 50

Таблица 4

Модификация микроскопа

Разрешающая способность

SIGMA

SIGMA VP

1,5 нм при 15 кВ

2,8 нм при 1 кВ

SIGMA HD

SIGMA HD VP

1 нм при 15 кВ

1,9 нм при 1 кВ

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 5

Наименование

Количество, шт

Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP

1

Компьютер

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки МП 127.Д4-13

1

Поверка

осуществляется по документу МП 127.Д4-13 «Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP. Методика поверки», утвержденному 23.12.2013 г.

Основные средства поверки:

Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.

Основные метрологические характеристики:

Наименование метрологических характеристик

Номинальное значение, нм

Погрешность, нм

Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм

2001

±2

Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм

597

±2

Сведения о методах измерений

«Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP. Руководство по эксплуатации», раздел «Эксплуатация».

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.

Другие Микроскопы

32060-15
176 Микроскопы измерительные
Фирма "Mitutoyo Corporation", Япония
Микроскопы измерительные серии 176 (далее - микроскопы) предназначены для оптического измерения линейных размеров деталей.
Default ALL-Pribors Device Photo
4184-83
ИМЦ 150х50 Б Микроскопы инструментальные
Приборостроительный завод, г.Новосибирск
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.
63408-16
МИМ-340 Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами
АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ), г.Екатеринбург
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту - микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового ан...
64214-16
Nikon MM Микроскопы измерительные
Компания "Nikon Corporation", Япония
Микроскопы измерительные Nikon MM (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений линейных размеров деталей.