Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP
| Номер в ГРСИ РФ: | 60084-15 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "FEI Europe B.V., P.O.", Нидерланды |
| 60084-15: Описание типа СИ | Скачать | 85.4 КБ |
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 60084-15 |
| Наименование | Микроскоп электронный просвечивающий |
| Модель | Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 9922720/D2318 |
Производитель / Заявитель
Фирма "FEI Europe B.V., P.O.", Нидерланды
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 10 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 10 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 60084-15: Описание типа СИ | Скачать | 85.4 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров объектов.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; система замкнутого водяного охлаждения.
Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объекто-держатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Внешний вид микроскопа приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP.
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
Пакет управляющих программ «ТЕМ User Interface» |
peoui.exe |
4.6.2, build 9496 |
A4DCDA36EC25390C2526B1 018A0F653DCFC77B24D5F2 E52A82F6D185E3D71193 |
По ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
от 3 до 50000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±10 |
|
Диапазон регулировки увеличений, крат |
от 25 до 1030000 |
|
Диапазон ускоряющих напряжений, кВ |
от 20 до 200 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
от 198 до 233 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
10 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
1950 х 1200 х 2940 |
|
Масса, кг, не более |
2200 |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа |
20 ± 3 80 от 84 до 107 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую колонну микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 60084-15 «Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP фирмы «FEI Europe B.V., P.O.», Нидерланды. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в феврале 2015 г.
Средства поверки: СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния (ГСО 10030-2011).
Сведения о методах измерений
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP. Руководство по эксплуатации.
Рекомендации к применению
Отсутствуют.
Другие Микроскопы
