Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM
| Номер в ГРСИ РФ: | 64047-16 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки |
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 64047-16 |
| Действует | по 18.05.2021 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | SOLVER NEXT, TITANIUM |
| Характер производства | Серийное |
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 008c9af7-7032-e961-eaf3-9a072df4978f |
Производитель / Заявитель
ООО "Научно-техническая компания" (НТК), РОССИЯ, г.Химки
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 7 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
64047-16: Описание типа
2016-64047-16.pdf
|
Скачать | 205.6 КБ | |
|
64047-16: Методика поверки
2016-mp64047-16.pdf
|
Скачать | 439.7 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Описание
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (ACM) с использованием различных методик зондовой микроскопии.
Принцип действия в режиме СТМ основан на эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о характере рельефа проводящей поверхности образца.
В режиме АСМ реализуется принцип детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поверхность при этом может быть как проводящей, так и не проводящей. Поддерживая с помощью обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют координату измеряемой точки по вертикальной оси (Z). Тем самым, измеряют параметры микрорельефа поверхности образца. Наряду с измерениями в абсолютных единицах длины, в режиме компаратора микроскоп позволяет осуществлять сличение размеров элементов микроструктуры на одном и том же образце. Этот режим позволяет исключить часть погрешности измерений, связанную с передачей единицы длины микроскопу.
В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, который представляет собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы. В режиме СТМ в качестве микрозонда используется металлическая игла из платино-иридиевого сплава или вольфрама.
В состав СЗМ входят специальный СЗМ - контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Конструктивно СЗМ выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных устройств и принадлежностей. Модели SOLVER NEXT и TITANIUM отличаются только дизайном корпуса базового блока. Внешний вид C3M двух моделей представлен на рисунках 1 и 2. Стрелками отмечены места размещения знака утверждения типа и поверительного клейма (на задней стенке базового блока).
Рисунок 1- Внешний вид контроллера и базового блока C3M SOLVER NEXT
Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.
место нанесения знака
утверждения типа
Рисунок 2- Внешний вид контроллера и базового блока C3M TITANIUM Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.
Программное обеспечение
ПО выполняет настройку СЗМ, оптимизацию его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработку результатов измерений и их хранение.
Идентификационные данные программного обеспечения СЗМ представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные |
Значение |
|
Идентификационное наименование |
Программное обеспечение для СЗМ NOVA-Px |
|
Номер версии (идентификационный номер) |
не ниже 3.4.0.16096 |
|
Цифровой идентификатор |
65c77e6fb18fb953cd3ac99bd832f08bad67df20 |
|
Алгоритм вычисления идентификатора |
Sha1 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно Р 50.2.077-2014 соответствует высокому уровню.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики СЗМ приведены в таблицах 2 -4.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
|
Параметр |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,01 до 90 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм |
± (0,01-L+3) |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,0005 до 9 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, нм |
± (0,05-L+4) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений геометрических размеров в режиме сличения (компаратора) при размерах объекта более 10 нм, по осям X и Y, нм |
± (0,001-L +1) |
|
L - измеряемое значение длины, нм | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Параметр |
Значение |
|
Угол между осями сканирования X и Y,. ° |
от 88,5 до 91,5 |
|
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY,...° |
5 |
|
Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи, % |
0,1 |
|
Отклонение от плоскостности сканирования в плоскости XY, нм, не более |
200 |
|
Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более |
0,3 |
|
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0,1 |
|
Дрейф в плоскости XY, нм/с, не более |
0,2 |
|
Дрейф по оси Z, нм/с, не более |
0,15 |
|
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
4000 х 4000 |
|
Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм, не более |
20 х 10 |
|
Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, мм, не менее |
5 х 5 |
|
Напряжение питания переменного тока, В |
от 95 до 121/ от 187 до 242 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
400 |
|
Габаритные размеры СЗМ контроллера (ДхШхВ), мм, не более |
470х180х500 |
|
Габаритные размеры базового блока (ДхШхВ), мм, не более |
220х330х500 |
|
Масса СЗМ контроллера, кг, не более |
23 |
|
Масса базового блока, кг, не более |
16 |
|
Срок службы, лет |
10 |
Таблица 4
|
Условия эксплуатации: | |
|
Температура окружающей среды, °С |
от плюс 15 до плюс 25 |
|
Относительная влажность при температуре плюс 25 °С, %, не более |
от 50 до 80 |
|
Атмосферное давление, мм рт.ст. |
от 730 до 790 |
|
Дрейф температуры, °С в час, не более |
1 |
|
Амплитуда вибраций в полосе частот от 1 до 1000 Гц, мкм, не более |
0,5 |
Знак утверждения типа
наносится на средство измерений методом наклейки в соответствии с рисунками 1 и 2 и на руководство по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 5
|
Наименование |
Кол-во |
|
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM |
1 шт. |
|
Комплект соединительных кабелей |
1 шт. |
|
Программное обеспечение (NOVA-Рх) на CD-диске |
1 шт. |
|
Набор кантилеверов (измерительных зондов) |
50 шт. |
|
Набор для поверки и калибровки, включающий 3 меры: меру периода и высоты линейную TGQ1; меру периода линейную TDG01; меру периода и высоты линейную TGZ1 |
1 шт. |
|
Комплект рабочих принадлежности для СЗМ |
1 шт. |
|
Методика поверки |
1 шт. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 64047-16 «Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 11 марта 2016 г. Знак поверки наносится в виде голографической наклейки на свидетельство о поверке.
Основные средства поверки:
- мера периода и высоты линейная TGQ1 (ГР№ 41680-09);
- мера периода линейная TDG01 (ГР№ 41676-09);
- мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГР № 41678-09).
Сведения о методах измерений
Методики проведения измерений и их описание приведены в разделах 7-11 Руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия ТУ 4254-004-40349675-2015.
Другие Микроскопы
