Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM
Номер в ГРСИ РФ: | 64047-16 |
---|---|
Категория: | Микроскопы |
Производитель / заявитель: | ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки |
64047-16: Описание типа СИ | Скачать | 205.9 КБ |
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 64047-16 |
Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
Модель | SOLVER NEXT, TITANIUM |
Срок свидетельства (Или заводской номер) | 18.05.2021 |
Производитель / Заявитель
ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки
Поверка
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 7 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 7 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
64047-16: Описание типа СИ | Скачать | 205.9 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Описание
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (ACM) с использованием различных методик зондовой микроскопии.
Принцип действия в режиме СТМ основан на эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о характере рельефа проводящей поверхности образца.
В режиме АСМ реализуется принцип детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поверхность при этом может быть как проводящей, так и не проводящей. Поддерживая с помощью обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют координату измеряемой точки по вертикальной оси (Z). Тем самым, измеряют параметры микрорельефа поверхности образца. Наряду с измерениями в абсолютных единицах длины, в режиме компаратора микроскоп позволяет осуществлять сличение размеров элементов микроструктуры на одном и том же образце. Этот режим позволяет исключить часть погрешности измерений, связанную с передачей единицы длины микроскопу.
В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, который представляет собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы. В режиме СТМ в качестве микрозонда используется металлическая игла из платино-иридиевого сплава или вольфрама.
В состав СЗМ входят специальный СЗМ - контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Конструктивно СЗМ выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных устройств и принадлежностей. Модели SOLVER NEXT и TITANIUM отличаются только дизайном корпуса базового блока. Внешний вид C3M двух моделей представлен на рисунках 1 и 2. Стрелками отмечены места размещения знака утверждения типа и поверительного клейма (на задней стенке базового блока).
Рисунок 1- Внешний вид контроллера и базового блока C3M SOLVER NEXT
Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.
место нанесения знака
утверждения типа
Рисунок 2- Внешний вид контроллера и базового блока C3M TITANIUM Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.
Программное обеспечение
ПО выполняет настройку СЗМ, оптимизацию его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработку результатов измерений и их хранение.
Идентификационные данные программного обеспечения СЗМ представлены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные |
Значение |
Идентификационное наименование |
Программное обеспечение для СЗМ NOVA-Px |
Номер версии (идентификационный номер) |
не ниже 3.4.0.16096 |
Цифровой идентификатор |
65c77e6fb18fb953cd3ac99bd832f08bad67df20 |
Алгоритм вычисления идентификатора |
Sha1 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно Р 50.2.077-2014 соответствует высокому уровню.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики СЗМ приведены в таблицах 2 -4.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
Параметр |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,01 до 90 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм |
± (0,01-L+3) |
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,0005 до 9 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, нм |
± (0,05-L+4) |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений геометрических размеров в режиме сличения (компаратора) при размерах объекта более 10 нм, по осям X и Y, нм |
± (0,001-L +1) |
L - измеряемое значение длины, нм |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Параметр |
Значение |
Угол между осями сканирования X и Y,. ° |
от 88,5 до 91,5 |
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY,...° |
5 |
Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи, % |
0,1 |
Отклонение от плоскостности сканирования в плоскости XY, нм, не более |
200 |
Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более |
0,3 |
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0,1 |
Дрейф в плоскости XY, нм/с, не более |
0,2 |
Дрейф по оси Z, нм/с, не более |
0,15 |
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
4000 х 4000 |
Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм, не более |
20 х 10 |
Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, мм, не менее |
5 х 5 |
Напряжение питания переменного тока, В |
от 95 до 121/ от 187 до 242 |
Потребляемая мощность, В •А, не более |
400 |
Габаритные размеры СЗМ контроллера (ДхШхВ), мм, не более |
470х180х500 |
Габаритные размеры базового блока (ДхШхВ), мм, не более |
220х330х500 |
Масса СЗМ контроллера, кг, не более |
23 |
Масса базового блока, кг, не более |
16 |
Срок службы, лет |
10 |
Таблица 4
Условия эксплуатации: | |
Температура окружающей среды, °С |
от плюс 15 до плюс 25 |
Относительная влажность при температуре плюс 25 °С, %, не более |
от 50 до 80 |
Атмосферное давление, мм рт.ст. |
от 730 до 790 |
Дрейф температуры, °С в час, не более |
1 |
Амплитуда вибраций в полосе частот от 1 до 1000 Гц, мкм, не более |
0,5 |
Знак утверждения типа
наносится на средство измерений методом наклейки в соответствии с рисунками 1 и 2 и на руководство по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 5
Наименование |
Кол-во |
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM |
1 шт. |
Комплект соединительных кабелей |
1 шт. |
Программное обеспечение (NOVA-Рх) на CD-диске |
1 шт. |
Набор кантилеверов (измерительных зондов) |
50 шт. |
Набор для поверки и калибровки, включающий 3 меры: меру периода и высоты линейную TGQ1; меру периода линейную TDG01; меру периода и высоты линейную TGZ1 |
1 шт. |
Комплект рабочих принадлежности для СЗМ |
1 шт. |
Методика поверки |
1 шт. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 64047-16 «Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 11 марта 2016 г. Знак поверки наносится в виде голографической наклейки на свидетельство о поверке.
Основные средства поверки:
- мера периода и высоты линейная TGQ1 (ГР№ 41680-09);
- мера периода линейная TDG01 (ГР№ 41676-09);
- мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГР № 41678-09).
Сведения о методах измерений
Методики проведения измерений и их описание приведены в разделах 7-11 Руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия ТУ 4254-004-40349675-2015.