64047-16: SOLVER NEXT, TITANIUM Микроскопы сканирующие зондовые - Производители, поставщики и поверители

Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM

Номер в ГРСИ РФ: 64047-16
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки
Скачать
64047-16: Описание типа СИ Скачать 205.9 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 64047-16
Наименование Микроскопы сканирующие зондовые
Модель SOLVER NEXT, TITANIUM
Срок свидетельства (Или заводской номер) 18.05.2021
Производитель / Заявитель

ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 7
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 7 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

64047-16: Описание типа СИ Скачать 205.9 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.

Описание

СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (ACM) с использованием различных методик зондовой микроскопии.

Принцип действия в режиме СТМ основан на эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о характере рельефа проводящей поверхности образца.

В режиме АСМ реализуется принцип детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поверхность при этом может быть как проводящей, так и не проводящей. Поддерживая с помощью обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют координату измеряемой точки по вертикальной оси (Z). Тем самым, измеряют параметры микрорельефа поверхности образца. Наряду с измерениями в абсолютных единицах длины, в режиме компаратора микроскоп позволяет осуществлять сличение размеров элементов микроструктуры на одном и том же образце. Этот режим позволяет исключить часть погрешности измерений, связанную с передачей единицы длины микроскопу.

В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, который представляет собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы. В режиме СТМ в качестве микрозонда используется металлическая игла из платино-иридиевого сплава или вольфрама.

В состав СЗМ входят специальный СЗМ - контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Конструктивно СЗМ выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных устройств и принадлежностей. Модели SOLVER NEXT и TITANIUM отличаются только дизайном корпуса базового блока. Внешний вид C3M двух моделей представлен на рисунках 1 и 2. Стрелками отмечены места размещения знака утверждения типа и поверительного клейма (на задней стенке базового блока).

Рисунок 1- Внешний вид контроллера и базового блока C3M SOLVER NEXT

Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.

место нанесения знака

утверждения типа

Рисунок 2- Внешний вид контроллера и базового блока C3M TITANIUM Стрелкой показано место размещения знака утверждения типа.

Программное обеспечение

ПО выполняет настройку СЗМ, оптимизацию его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработку результатов измерений и их хранение.

Идентификационные данные программного обеспечения СЗМ представлены в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационные данные

Значение

Идентификационное наименование

Программное обеспечение для СЗМ NOVA-Px

Номер версии (идентификационный номер)

не ниже 3.4.0.16096

Цифровой идентификатор

65c77e6fb18fb953cd3ac99bd832f08bad67df20

Алгоритм вычисления идентификатора

Sha1

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно Р 50.2.077-2014 соответствует высокому уровню.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики СЗМ приведены в таблицах 2 -4.

Таблица 2 - Основные метрологические характеристики

Параметр

Значение

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

от 0,01 до 90

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм

± (0,01-L+3)

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0,0005 до 9

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, нм

± (0,05-L+4)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений геометрических размеров в режиме сличения (компаратора) при размерах объекта более 10 нм, по осям X и Y, нм

± (0,001-L +1)

L - измеряемое значение длины, нм

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Параметр

Значение

Угол между осями сканирования X и Y,. °

от 88,5 до 91,5

Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY,...°

5

Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи, %

0,1

Отклонение от плоскостности сканирования в плоскости XY, нм, не более

200

Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более

0,3

Разрешение по оси Z, нм, не более

0,1

Дрейф в плоскости XY, нм/с, не более

0,2

Дрейф по оси Z, нм/с, не более

0,15

Максимальное число точек сканирования по X и Y

4000 х 4000

Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм, не более

20 х 10

Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, мм, не менее

5 х 5

Напряжение питания переменного тока, В

от 95 до 121/ от 187 до 242

Потребляемая мощность, В •А, не более

400

Габаритные размеры СЗМ контроллера (ДхШхВ), мм, не более

470х180х500

Габаритные размеры базового блока (ДхШхВ), мм, не более

220х330х500

Масса СЗМ контроллера, кг, не более

23

Масса базового блока, кг, не более

16

Срок службы, лет

10

Таблица 4

Условия эксплуатации:

Температура окружающей среды, °С

от плюс 15 до плюс 25

Относительная влажность при температуре плюс 25 °С, %, не более

от 50 до 80

Атмосферное давление, мм рт.ст.

от 730 до 790

Дрейф температуры, °С в час, не более

1

Амплитуда вибраций в полосе частот от 1 до 1000 Гц, мкм, не более

0,5

Знак утверждения типа

наносится на средство измерений методом наклейки в соответствии с рисунками 1 и 2 и на руководство по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 5

Наименование

Кол-во

Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM

1 шт.

Комплект соединительных кабелей

1 шт.

Программное обеспечение (NOVA-Рх) на CD-диске

1 шт.

Набор кантилеверов (измерительных зондов)

50 шт.

Набор для поверки и калибровки, включающий 3 меры: меру периода и высоты линейную TGQ1; меру периода линейную TDG01; меру периода и высоты линейную TGZ1

1 шт.

Комплект рабочих принадлежности для СЗМ

1 шт.

Методика поверки

1 шт.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 64047-16 «Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 11 марта 2016 г. Знак поверки наносится в виде голографической наклейки на свидетельство о поверке.

Основные средства поверки:

- мера периода и высоты линейная TGQ1 (ГР№ 41680-09);

- мера периода линейная TDG01 (ГР№ 41676-09);

- мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГР № 41678-09).

Сведения о методах измерений

Методики проведения измерений и их описание приведены в разделах 7-11 Руководства по эксплуатации.

Нормативные документы

Технические условия ТУ 4254-004-40349675-2015.

Другие Микроскопы

Микроскопы видеоизмерительные серии Venture модификации 2510, 3030, 2510-CNC, 3030-CNC и серии Venture Plus модификации VP-6460, VP-6490, VP-101040, VP-101540 (далее -микроскопы) предназначены для измерений бесконтактным и контактным методом двухмерн...
66097-16
Nicolet iN10 и Nicolet iN10MX ИК-фурье микроскопы
Фирма "Thermo Fisher Scientific", США
ИК-фурье микроскопы моделей Nicolet iN10 и Nicolet iN10MX (далее по тексту -приборы) предназначены для измерения содержания различных органических и неорганических веществ в твердых, жидких и газообразных образцах, продуктах питания, почвах, волокнах...
67005-17
EVO 18 Микроскопы сканирующие электронные
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Микроскопы сканирующие электронные EVO 18 (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскоп электронный растровый Nova NanoSEM 450, с системами для энергодисперсионного микроанализа, микроанализа с волновой дисперсией и системой анализа дифракции обратно рассеянных электронов, предназначен для измерений линейных размеров элементов...
Микроскопы измерительные MarVision серий MM 200, MM 220, MM 420, MM 420 CNC (далее - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений линейных размеров деталей.