Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL
Номер в ГРСИ РФ: | 65492-16 |
---|---|
Категория: | Интерферометры |
Производитель / заявитель: | Фирма "Trioptics GmbH", Германия |
Интерферометры ^Phase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL (далее по тексту - интерферометры) предназначены для измерений двумерной карты высоты профиля поверхности (топограммы) отражающих объектов относительно начальной точки, выбираемой оператором, в микро- и нанодиапазоне.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 65492-16 |
Наименование | Интерферометры |
Модель | µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL |
Срок свидетельства (Или заводской номер) | 27.10.2021 |
Производитель / Заявитель
Компания "Trioptics GmbH", Германия
Поверка
Зарегистрировано поверок | 4 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
65492-16: Описание типа СИ | Скачать | 150.3 КБ | |
65492-16: Методика поверки МП 065.М44-15 | Скачать | 3.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Интерферометры iiPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL (далее по тексту - интерферометры) предназначены для измерений двумерной карты высоты профиля поверхности (топограммы) отражающих объектов относительно начальной точки, выбираемой оператором, в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип действия интерферометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта. В основе приборов лежит оптическая схема неравноплечного интерферометра Тваймана-Грина.
В интерферометрах световой поток от лазерного источника, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометров. В предметном плече располагается объектив и исследуемый объект, в опорном - плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора - видеокамеры.
Расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограмма).
Интерферометры представлены следующими моделями:
LPiase PLANO DOWN - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных снизу;
LPiase PLANO/ SPHERO UP - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных сверху;
LPiase ST+R - для измерения объектов размером от 2 до 50 мм, расположенных сверху;
LPiase VERTICAL - для измерения объектов размером от 2 до 150 мм, расположенных снизу;
LPiase UNIVERSAL - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных горизонтально.
Конструктивно интерферометры состоят из: интерферометрических датчиков LPiase 500/ 1000; источника излучения (HeNe-лазер); стойки настольной установки; объектива и персонального компьютера.
В зависимости от размера и поверхности испытываемого объекта в состав интерферометров могут входить различные объективы:
- для плоской испытываемой поверхности LLens PLANO 2, LLens PLANO 10, LLens PLANO 50, LLens PLANO 100, LLens PLANO 150, где цифры обозначают максимально возможный диаметр испытываемого образцы, мм;
- для сферической поверхности |iLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), iLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), Lil.ens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), |iLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), |iLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), |iLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), Lil.ens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), |iLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), |iLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), iLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°) где цифры 10 и 50 обозначают максимальный диаметр измеряемого образца в мм, f/5.4, f/4.1, f/3.0, f/1.5, f/1.0, f/0.7 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град); Interfero4 4” f/11
NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4”
f/3.3 NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9 NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°),
Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75 NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5
NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2 NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1 NA=0.45 (53°),
F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6”
f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-6” f/0.75 NA=0.67 (83°), где цифры 4”, 6” - обозначают
максимальный диаметр измеряемого образца в дюймах, f/11, f/7.2, f/4.8, f/3.3, f/2.2, f/1.1, f/1.0, f/0.75 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град).
Для ограничения доступа внутрь корпуса приборов производится их пломбирование. Пломбируется место соприкосновения передней и задней панелей корпуса на боковой стороне прибора.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам интерферометров, интерферометрические датчики пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соот-
ветственно.
в
м
б
Место нанесения маркировки
а
г д
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров ^Phase моделей: а - PLANO DOWN, б - PLANO/ SPHERO UP, в -ST+R, г - VERTICAL, д - UNIVERSAL с указанием мест нанесения маркировки, знака поверки (М) и пломбирования (М)
Программное обеспечение
Интерферометры функционируют под управлением программного обеспечения (ПО) pShape, предназначенного для управления прибором в режимах калибровки, измерения и обработки результатов. ПО разделено на две части: метрологически значимая часть ПО содержится в виде библиотек на жестком диске ПЭВМ; интерфейсная часть ПО запускается на ПЭВМ и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений.
ПО pShape представлено следующими версиями, различающимися функциональными возможностями:
- базовая (Basic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов;
- офтальмологическая (Ophthalmic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов с дополнительной функцией по определению бокового смещения инструмента на станках алмазно-токарных станках с однолезвийным инструментом;
- профессиональная (Professional) - профессиональный пакет программного обеспечения с расширенными функциями, такими как: вычисление полиномов Цернике-Лежандра, аберраций Зайделя или других статистических значений;
- индивидуальная (Customized) - индивидуальный пакет программного обеспечения, который можно сконфигурировать под индивидуальный стиль работы по требованию Заказчика.
Метрологически значимая часть программного обеспечения размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля. ПО имеет несколько уровней допуска для пользователей: «Пользователь на производстве», «Пользователь в лаборатории», «Руководитель», «Администратор».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
pShape |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
6.26 и выше |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует «среднему» уровню защиты в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||||
PLANO DOWN |
PLANO/ SPHERO |
ST+R |
VERTICAL |
UNIVERSAL | |
Размер поля зрения, мм |
от 2 до 300 |
от 2 до 300 |
от 2 до 50 |
от 2 до 150 |
от 2 до 300 |
Нижний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм, не более |
0,032 |
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||||
PLANO DOWN |
PLANO/ SPHERO |
ST+R |
VERTICAL |
UNIVERSAL | ||
Верхний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм, не менее - с датчиком pPhase 500 - с датчиком pPhase 1000 |
10,000 20,000 | |||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм |
±0,032 | |||||
Длина волны источника излучения, мкм |
0,632 | |||||
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
220±22 50±0,5 | |||||
Габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм, не более* |
200х200х350 - 1500x1000x1000 |
760х360х 360 -1100x360 x360 |
1000x350 x420 |
300х1800х 300 -1000x21000 x700 | ||
Масса, кг, не более* |
от 30 до 300 |
от 5 до 150 |
от 20 до 100 |
от 30 до 80 |
от 20 до 150 | |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более (без конденсации влаги) |
от +19 до +21 70 |
* может варьировать в зависимости от комплектации по требованию заказчика
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации печатным способом и в виде наклейки на заднюю панель корпуса интерферометрических датчиков методом наклеивания.
Комплектность
В состав интерферометров входят элементы указанные в таблице 3.
Таблица 3
Наименование |
Количество, шт. |
Интерферометры it Phase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL или UNIVERSAL в составе: - источника излучения (HeNe-лазер) |
1 |
- интерферометрический датчик pPhase 500 или 1000* |
1 |
- объектив iil.ens PLANO 2, ul.ens PLANO 10, ul.ens PLANO 50, ul.ens |
1 |
PLANO 100, pLens PLANO 150, pLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), pLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), pLens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), pLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), pLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), pLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), pLens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), pLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), pLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), pLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°), Interfero4 4” f/11 NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4” f/3.3 NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9 NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°), Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75 NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5 NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2 NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1 NA=0.45 (53°), F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 106” f/0.75 NA=0.67 (83°)* - стойка настольной установки |
1 |
Световолоконный кабель |
1 |
Набор кабелей |
1 |
Персональный компьютер |
1 |
USB-флэш-диск с программным обеспечением |
1 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
Методика поверки |
1 |
* согласно требованию Заказчика |
Поверка
осуществляется по документу МП 065.М44-15 «ГСИ. Интерферометры pPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 сентября 2015г.
Основные средства поверки:
Меры шероховатости с параметром Rа из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0,02 до 1,8 мкм и Rа номинального значения 0,0015 мкм (регистрационный номер 2.1.ZZA.00342015)
Основные метрологические характеристики:
Ra - 0,0015 мкм
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус интерферометра (место нанесения указано на рисунке 1)
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.420-2002 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений отклонений от прямолинейности и плоскостности
Техническая документация Компании «Trioptics GmbH», Германия