65492-16: µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL Интерферометры - Производители, поставщики и поверители

Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL

Номер в ГРСИ РФ: 65492-16
Категория: Интерферометры
Производитель / заявитель: Фирма "Trioptics GmbH", Германия
Скачать
65492-16: Описание типа СИ Скачать 150.3 КБ
65492-16: Методика поверки МП 065.М44-15 Скачать 3.3 MБ
Нет данных о поставщике
Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Интерферометры ^Phase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL (далее по тексту - интерферометры) предназначены для измерений двумерной карты высоты профиля поверхности (топограммы) отражающих объектов относительно начальной точки, выбираемой оператором, в микро- и нанодиапазоне.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 65492-16
Наименование Интерферометры
Модель µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL
Срок свидетельства (Или заводской номер) 27.10.2021
Производитель / Заявитель

Компания "Trioptics GmbH", Германия

Поверка

Зарегистрировано поверок 4
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 4 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

65492-16: Описание типа СИ Скачать 150.3 КБ
65492-16: Методика поверки МП 065.М44-15 Скачать 3.3 MБ

Описание типа

Назначение

Интерферометры iiPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL (далее по тексту - интерферометры) предназначены для измерений двумерной карты высоты профиля поверхности (топограммы) отражающих объектов относительно начальной точки, выбираемой оператором, в микро- и нанодиапазоне.

Описание

Принцип действия интерферометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта. В основе приборов лежит оптическая схема неравноплечного интерферометра Тваймана-Грина.

В интерферометрах световой поток от лазерного источника, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометров. В предметном плече располагается объектив и исследуемый объект, в опорном - плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора - видеокамеры.

Расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограмма).

Интерферометры представлены следующими моделями:

LPiase PLANO DOWN - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных снизу;

LPiase PLANO/ SPHERO UP - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных сверху;

LPiase ST+R - для измерения объектов размером от 2 до 50 мм, расположенных сверху;

LPiase VERTICAL - для измерения объектов размером от 2 до 150 мм, расположенных снизу;

LPiase UNIVERSAL - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных горизонтально.

Конструктивно интерферометры состоят из: интерферометрических датчиков LPiase 500/ 1000; источника излучения (HeNe-лазер); стойки настольной установки; объектива и персонального компьютера.

В зависимости от размера и поверхности испытываемого объекта в состав интерферометров могут входить различные объективы:

- для плоской испытываемой поверхности LLens PLANO 2, LLens PLANO 10, LLens PLANO 50, LLens PLANO 100, LLens PLANO 150, где цифры обозначают максимально возможный диаметр испытываемого образцы, мм;

- для сферической поверхности |iLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), iLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), Lil.ens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), |iLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), |iLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), |iLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), Lil.ens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), |iLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), |iLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), iLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°) где цифры 10 и 50 обозначают максимальный диаметр измеряемого образца в мм, f/5.4, f/4.1, f/3.0, f/1.5, f/1.0, f/0.7 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град); Interfero4 4” f/11

NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4”

f/3.3  NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9   NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°),

Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75 NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4” f/1.00  NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67  NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5

NA=0.09 (10°),  Interfero6 6” f/2.2   NA=0.23  (26°), Interfero6 6” f/1.1 NA=0.45 (53°),

F-Aplanar 10-6” f/3.30  NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80  NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6”

f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-6” f/0.75 NA=0.67 (83°), где цифры 4”, 6” - обозначают

максимальный диаметр измеряемого образца в дюймах, f/11, f/7.2, f/4.8, f/3.3, f/2.2, f/1.1, f/1.0, f/0.75 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град).

Для ограничения доступа внутрь корпуса приборов производится их пломбирование. Пломбируется место соприкосновения передней и задней панелей корпуса на боковой стороне прибора.

Для защиты от несанкционированного доступа к элементам интерферометров, интерферометрические датчики пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соот-

ветственно.

в

м

б

Место нанесения маркировки

а

г                                                   д

Рисунок 1 - Общий вид интерферометров ^Phase моделей: а - PLANO DOWN, б - PLANO/ SPHERO UP, в -ST+R, г - VERTICAL, д - UNIVERSAL с указанием мест нанесения маркировки, знака поверки (М) и пломбирования (М)

Программное обеспечение

Интерферометры функционируют под управлением программного обеспечения (ПО) pShape, предназначенного для управления прибором в режимах калибровки, измерения и обработки результатов. ПО разделено на две части: метрологически значимая часть ПО содержится в виде библиотек на жестком диске ПЭВМ; интерфейсная часть ПО запускается на ПЭВМ и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений.

ПО pShape представлено следующими версиями, различающимися функциональными возможностями:

- базовая (Basic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов;

- офтальмологическая (Ophthalmic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов с дополнительной функцией по определению бокового смещения инструмента на станках алмазно-токарных станках с однолезвийным инструментом;

- профессиональная (Professional) - профессиональный пакет программного обеспечения с расширенными функциями, такими как: вычисление полиномов Цернике-Лежандра, аберраций Зайделя или других статистических значений;

- индивидуальная (Customized) - индивидуальный пакет программного обеспечения, который можно сконфигурировать под индивидуальный стиль работы по требованию Заказчика.

Метрологически значимая часть программного обеспечения размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля. ПО имеет несколько уровней допуска для пользователей: «Пользователь на производстве», «Пользователь в лаборатории», «Руководитель», «Администратор».

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

pShape

Номер версии (идентификационный номер) ПО

6.26 и выше

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

-

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует «среднему» уровню защиты в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

PLANO DOWN

PLANO/

SPHERO

ST+R

VERTICAL

UNIVERSAL

Размер поля зрения, мм

от 2 до 300

от 2 до 300

от 2 до 50

от 2 до 150

от 2 до 300

Нижний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм, не более

0,032

Наименование характеристики

Значение характеристики

PLANO DOWN

PLANO/

SPHERO

ST+R

VERTICAL

UNIVERSAL

Верхний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм, не менее

- с датчиком pPhase 500 - с датчиком pPhase 1000

10,000

20,000

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм

±0,032

Длина волны источника излучения, мкм

0,632

Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц

220±22

50±0,5

Габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм, не более*

200х200х350 -

1500x1000x1000

760х360х 360 -1100x360 x360

1000x350 x420

300х1800х 300 -1000x21000 x700

Масса, кг, не более*

от 30 до 300

от 5 до 150

от 20 до 100

от 30 до 80

от 20 до 150

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более (без конденсации влаги)

от +19 до +21

70

* может варьировать в зависимости от комплектации по требованию заказчика

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации печатным способом и в виде наклейки на заднюю панель корпуса интерферометрических датчиков методом наклеивания.

Комплектность

В состав интерферометров входят элементы указанные в таблице 3.

Таблица 3

Наименование

Количество, шт.

Интерферометры it Phase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL или UNIVERSAL в составе:

- источника излучения (HeNe-лазер)

1

- интерферометрический датчик pPhase 500 или 1000*

1

- объектив iil.ens PLANO 2, ul.ens PLANO 10, ul.ens PLANO 50, ul.ens

1

PLANO 100, pLens PLANO 150, pLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), pLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), pLens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), pLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), pLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), pLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), pLens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), pLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), pLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), pLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°), Interfero4 4” f/11 NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4” f/3.3 NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9 NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°), Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75 NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5  NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2 NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1

NA=0.45 (53°), F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 106” f/0.75 NA=0.67 (83°)* - стойка настольной установки

1

Световолоконный кабель

1

Набор кабелей

1

Персональный компьютер

1

USB-флэш-диск с программным обеспечением

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки

1

* согласно требованию Заказчика

Поверка

осуществляется по документу МП 065.М44-15 «ГСИ. Интерферометры pPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 сентября 2015г.

Основные средства поверки:

Меры шероховатости с параметром Rа из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0,02 до 1,8 мкм и Rа номинального значения 0,0015 мкм (регистрационный номер 2.1.ZZA.00342015)

Основные метрологические характеристики:

Ra - 0,0015 мкм

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на корпус интерферометра (место нанесения указано на рисунке 1)

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 8.420-2002 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений отклонений от прямолинейности и плоскостности

Техническая документация Компании «Trioptics GmbH», Германия

Другие Интерферометры

71147-18
ФТИ Интерферометры лазерные
ЗАО "Дифракция", г.Новосибирск
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Default ALL-Pribors Device Photo
75511-19
DIMETIOR VB Интерферометр
Фирма "ESDI", США
Интерферометр DIMETIOR VB (далее интерферометр) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
75666-19
Lasertex HPI 3D Интерферометры лазерные
Компания "Lasertex Co. Ltd.", Польша
Интерферометры лазерные Lasertex HPI-3D (далее - Интерферометры) предназначены для измерений длины лазерным интерференционным методом в промышленности и измерительных лабораториях.
79780-20
ФТИ Интерферометры лазерные
Закрытое Акционерное общество "Дифракция" (ЗАО "Дифракция"), г. Новосибирск
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Приборы интерферометрические для оценки толщины отложений на нагревательных трубках DR 10 (далее - приборы) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в виде отложе...