Микроскопы конфокальные μSurf
| Номер в ГРСИ РФ: | 69535-17 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "NanoFocus AG", Германия |
Микроскопы конфокальные pSurf (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий в области оптического производственного контроля.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 69535-17 |
| Действует | по 04.12.2022 |
| Наименование | Микроскопы конфокальные |
| Модель | μSurf |
| Характер производства | Серийное |
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | b5d1443a-b551-b32f-1d31-1301b14a295a |
Производитель / Заявитель
Фирма "NanoFocus AG", ГЕРМАНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 6 (86%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 1 (14 %) |
| Актуальность информации | 28.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
69535-17: Описание типа
2017-69535-17.pdf
|
Скачать | 166.3 КБ | |
|
69535-17: Методика поверки
2017-mp69535-17.pdf
|
Скачать | 1.8 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы конфокальные iSurf (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий в области оптического производственного контроля.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на запатентованной CMP-технологии (Confocal Multi Pinhole). При этом исследуемая поверхность освещается через объектив внешним источником света. До детектора (ПЗС-матрица) доходят только сфокусированные на него световые пучки, отраженные исследуемой поверхностью. Все расфокусированные пучки задерживаются точечной диафрагмой. Данный принцип точечного измерения, за счет использования вращающегося непрозрачного диска с большим количеством точечных отверстий, позволяет осуществлять полное сканирование поверхности объекта.
Конструктивно микроскопы iSurf состоят из конфокальной измерительной головки со встроенным регулятором освещенности, состоящей из конфокального микроскопа с источником света, в нижней части находится объектив и пьезо-привод, в верхней части -ПЗС-камера, контроллера iSurf, прецизионного измерительного стола, массивной гранитной плиты в виброизолированном исполнении, светодиода, объективов, джойстика, компьютера с операционной системой не ниже Windows 7, соединительных кабелей.
Микроскопы выпускаются в четырёх модификациях: explorer, expert, custom, mobile, различающихся диапазоном перемещения по измеряемой поверхности, а также максимальным числом точек в одном измерении. Для модификаций explorer и expert характерно наличие гранитной стойки в виброизолированном исполнении, имеющей форму L-образного штатива. Модификация custom может быть выполнена в двух вариантах, имеющих П-образный или L-образный гранитный штатив. Модификация mobile имеет мобильный тип стойки.
Результаты сканирования поверхности передаются на внешний компьютер. Управление прибором осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением (isoft metrology, isoft analysis), позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Общий вид микроскопов конфокальных iSurf в модификациях explorer, expert, custom, mobile с обозначением мест нанесения маркировки представлен на рисунке 1.
Схема нанесения пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов конфокальных pSurf с обозначением мест нанесения маркировки
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа (2), обозначение места нанесения знака поверки (1) микроскопов конфокальных pSurf: custom (А1 - П-образный штатив, А2 - L-образный штатив), explorer (Б), mobile (В), expert (Г)
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в конфокальных микроскопах осуществляется с помощью специального программного обеспечения pSoft (metrology, analysis версии Standard, Extended, Premium). Программа psoft analysis выпускается в трех вариациях: Standard, Extended и Premium, различающихся дополнительным набором функций для последующей обработки бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий. Программное обеспечение (ПО) служит для настройки конфокальных микроскопов, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры, мыши и джойстика.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, наличием пароля и аппаратного ключа разблокировки ПО (заглушки, вставляемой в порт USB компьютера перед запуском ПО). Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
□ Soft metrology |
□Soft analysis |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.7.X и выше |
v.7.X и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО | ||
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики при увеличении объектива | |||||
|
5x |
10x |
20x |
50x |
100x | ||
|
Диапазон показаний линейных размеров по осям Х и Y, мкм |
от 0 до 3200 |
от 0 до 1600 |
от 0 до 800 |
от 0 до 320 |
от 0 до 160 | |
|
Диапазон измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм |
от 10 до 1001 |
от 3 до 700 |
от 3 до 300 |
от 3 до 100 | ||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по осям X, Y, мкм - в диапазоне от 3 до 9 мкм включительно - в диапазоне свыше 9 до 100 мкм включительно - в диапазоне свыше 100 мкм |
±0,01 ±2,80 ±3,70 | |||||
|
Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 350 | |||||
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,02 до 330 | |||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по оси Z, мкм - в диапазоне от 0,02 до 0,5 мкм включительно - в диапазоне свыше 0,5 мкм до 100 мкм включительно - в диапазоне свыше 100 до 330 мкм |
±0,004 ±1,410 ±4,000 | |||||
|
Диапазон показаний параметров шероховатости поверхности (Ra, Rmax), мкм |
- |
- |
от 0,00036 до 1,80000 | |||
|
Диапазон измерений параметров шероховатости поверхности (Ra, Rmax), мкм |
- |
- |
от 0,01 до 1,80 | |||
|
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерении параметров шероховатости (Ra, Rmax), мкм |
- |
- |
0,012 | |||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | ||||
|
explorer |
expert |
custom |
mobile | ||
|
Тип стойки |
L |
L |
L |
П |
Мобильная |
|
Диапазон перемещения: по осям X,Y, мм по оси Z, мм |
от 0 до 50 от 0 до 75 |
от 0 до 100 от 0 до 50 |
от 0 до 100 от 0 до 100 |
Опционально |
от 0 до 50 от 0 до 35 |
|
Размер поля зрения вдоль осей (Xх Y), мкм |
3200x3200 |
1600x1600 |
800x800 |
320x320 |
160x160 |
|
Увеличение объективов, крат |
5x, 10х, 20х, 50х, 100x | ||||
|
Максимальное число точек в одном измерении X, Y |
512x512 |
984x984 1200x1200 2048x2048 |
984x984 1200x1200 2048x2048 |
512x512 | |
|
Диапазон измерений вдоль вертикальной оси Z (прецизионное перемещение), мкм |
от 0 до 350 |
от 0 до 350 |
от 0 до 350 или 550 |
от 0 до 350 | |
|
Г абаритные размеры, мм, не более - высота - ширина - длина |
328 268 707 |
526 378 799 |
450 400 862 |
900 750 1614 |
417 136 234 |
|
Масса, кг, не более |
28 |
48 |
80 |
300 |
5,5 |
|
Электропитание осущ ествляется от сети переменного тока напряжением, В частотой, Гц |
от 100 до 240 50/60 | ||||
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
45 |
90 |
550 |
50 | |
|
Время измерения, сек |
от 2 до 10 | ||||
|
Источник света |
Светодиодный источник света высокой мощности (1 = 505/475 нм), средняя наработка на отказ 50000 часов | ||||
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
explorer |
expert |
custom |
mobile | |
|
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность,%, не более |
от 15 до 35 80 | |||
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскопы конфокальные pSurf модификации explorer/ expert/ custom/mobile в составе: конфокальная измерительная головка с моторизованной осью Z; объективы (5х, 10х, 20х, 50х, 100х)* с пьезо-приводом; прецизионный измерительный стол*; контроллер pSurf; джойстик (ручной 3D-навигатор); виброизоляционный гранитный штатив (стойка)* |
- |
1 шт. |
|
Компьютер |
- |
1 шт. |
|
CD-диск с программным обеспечением |
- |
1 шт. |
|
Аппаратный ключ для разблокировки ПО |
- |
1 шт. |
|
Комплект соединительных кабелей |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 029.М44-17 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Определяется опционально по согласованию с заказчиком | ||
Поверка
осуществляется по документу МП 029.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений «Микроскопы конфокальные pSurf. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «20» марта 2017 г.
Основные средства поверки:
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (Регистрационный номер 41678-09)
Таблица 5 - Основные метрологические характеристики
|
TGZ1 |
TGZ2 |
TGZ3 | |
|
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры, нм |
20 |
110 |
520 |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 | ||
2 Объект-микрометр ОМО (Регистрационный номер 590-63)
Основные метрологические характеристики:
длина шкалы 1001,4±3 мкм, длина между 10 делениями 100±2 мкм, среднее значение шаговой структуры 10±0,1 мкм
3 Меры длины концевые плоскопараллельные из состава рабочего эталона единицы длины 3-го разряда в диапазоне от 0,5 до 100 мм по ГОСТ Р 8.763-2011
Основные метрологические характеристики:
длина меры №1 (1±0,0002 мм), №1,33 (1,33±0,0002 мм), № 1,1 (1,1±0,0002 мм)
4 Меры шероховатости поверхности в ранге рабочего эталона 3-го разряда по ГОСТ 8.296-2015
Основные метрологические характеристики:
диапазон шероховатостей от 0,01 до 1,80 мкм, пределы допускаемой погрешности 1%
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса микроскопов (место нанесения указано на рисунке 2)
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «NanoFocus AG», Германия;
ГОСТ 8.296-2015 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм».
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Другие Микроскопы
