Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL

Номер в ГРСИ РФ: 75820-19
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Thermo Fisher Scientific", США
Нужна поверка? Найдите поверителя на сайте www.ktopoverit.ru

Микроскопы электронные растровые настольные модификаций Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа.

Скачать

75820-19: Описание типа СИ Скачать 114.1 КБ
75820-19: Методика поверки Скачать 3.8 MБ

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 75820-19
Наименование Микроскопы электронные растровые настольные
Модель Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Страна-производитель НИДЕРЛАНДЫ
Срок свидетельства (Или заводской номер) 20.08.2024
Производитель / Заявитель

Фирма "Thermo Fisher Scientific", Нидерланды

НИДЕРЛАНДЫ


Назначение

Микроскопы электронные растровые настольные модификаций Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и выпускается в 5 различных модификациях, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения, пространственного разрешения и погрешностью измерений линейных размеров.

Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного вакуумного насоса, источника питания, монитора. Модуль получения изображений включает электронно-оптическую систему (колонну), камеру образцов, разделенную на два отсека, в первом из которых имеется возможность с помощью телевизионной камеры выбирать по оптическому изображению участок для исследования, затем образец с сохранением ориентации может быть перемещен в отсек для наблюдения электронно- микроскопических изображений. Камера образцов оборудована столиком с моторизованным механизмом перемещения объектов по осям X и Y и ручным приводом по оси Z. В электронно-оптическом отсеке камеры образцов внешним насосом обеспечивается остаточное давление от 1 Па до 60 Па, которое программно устанавливается оператором в зависимости от желаемого режима работы микроскопа (режим вторичной эмиссии или обратно рассеянных электронов). Режим низкого вакуума в камере образцов (при давлении более 10 Па) позволяет проводить исследования непроводящих объектов без предварительного их запыления.

Микроскоп имеет четырехсегментный полупроводниковый детектор обратнорассеянных электронов и опционально устанавливаемый детектор вторичных электронов, обеспечивающий получение изображений в режиме SE. Интегрированный энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (штатно устанавливается на модификации Phenom ProX и опционально - на модификации Phenom Pure, Phenom Pharos, Phenom XL) выполнен на базе кремниевого дрейфового детектора SDD с активной площадью 25 мм , охлаждаемый теромоэлектриче-ски. Вакуумная система микроскопа включает встроенный в модуль получения изображений турбомолекулярный насос, обеспечивающий высокий вакуум в области электронной пушки с катодом из гексаборида церия и дополнительно ионный насос для обеспечения сверхвысокого вакуума для электронной пушки с катодом Шоттки с полевой эмиссией (модификация Phenom Pharos). Камера образцов и колонна разделены диафрагмой, обеспечивающей необходимый перепад остаточных давлений.

Другие Микроскопы

Микроскопы сканирующие электронные серий GeminiSEM, Crossbeam, EVO, SIGMA (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов микрорельефа и электроннозондового рентгеноспектрального каче...
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
74241-19
МВ и МВZ Микроскопы видеоизмерительные
ООО "Профноватор", г.Челябинск
Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и МВ2 (далее - микроскопы) предназначены для бесконтактных и контактных измерений линейных и угловых размеров, а также взаимного расположения элементов различных деталей в прямоугольных и полярных координатах.