Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL

Назначение

Микроскопы электронные растровые настольные модификаций Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и выпускается в 5 различных модификациях, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения, пространственного разрешения и погрешностью измерений линейных размеров.

Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного вакуумного насоса, источника питания, монитора. Модуль получения изображений включает электронно-оптическую систему (колонну), камеру образцов, разделенную на два отсека, в первом из которых имеется возможность с помощью телевизионной камеры выбирать по оптическому изображению участок для исследования, затем образец с сохранением ориентации может быть перемещен в отсек для наблюдения электронно- микроскопических изображений. Камера образцов оборудована столиком с моторизованным механизмом перемещения объектов по осям X и Y и ручным приводом по оси Z. В электронно-оптическом отсеке камеры образцов внешним насосом обеспечивается остаточное давление от 1 Па до 60 Па, которое программно устанавливается оператором в зависимости от желаемого режима работы микроскопа (режим вторичной эмиссии или обратно рассеянных электронов). Режим низкого вакуума в камере образцов (при давлении более 10 Па) позволяет проводить исследования непроводящих объектов без предварительного их запыления.

Микроскоп имеет четырехсегментный полупроводниковый детектор обратнорассеянных электронов и опционально устанавливаемый детектор вторичных электронов, обеспечивающий получение изображений в режиме SE. Интегрированный энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (штатно устанавливается на модификации Phenom ProX и опционально - на модификации Phenom Pure, Phenom Pharos, Phenom XL) выполнен на базе кремниевого дрейфового детектора SDD с активной площадью 25 мм2, охлаждаемый теромоэлектрически. Вакуумная система микроскопа включает встроенный в модуль получения изображений турбомолекулярный насос, обеспечивающий высокий вакуум в области электронной пушки с катодом из гексаборида церия и дополнительно ионный насос для обеспечения сверхвысокого вакуума для электронной пушки с катодом Шоттки с полевой эмиссией (модификация Phenom Pharos). Камера образцов и колонна разделены диафрагмой, обеспечивающей необходимый перепад остаточных давлений.