Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа Hitachi TM4000/TM4000Plus
| Номер в ГРСИ РФ: | 76481-19 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Hitachi", Япония |
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов микрорельефа и электроннозондового рентгеноспектрального качественного и количественного микроанализа состава образца.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 76481-19 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие электронные с приставкой для энергодисперсионного микроанализа |
| Модель | Hitachi TM4000/TM4000Plus |
| Страна-производитель | ЯПОНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 28.10.2024 |
Производитель / Заявитель
Фирма "HITACHI High-Technologies Corporation", Япония
ЯПОНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 4 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 76481-19: Описание типа СИ | Скачать | 116.3 КБ | |
| 76481-19: Методика поверки 651-19-017 МП | Скачать | 5.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов микрорельефа и электроннозондового рентгеноспектрального качественного и количественного микроанализа состава образца.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на взаимодействии сфокусированного электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч по точкам сканирует участок поверхности исследуемого объекта, изображение которого формируется микроскопом. Каждая точка поверхности объекта в границах поля зрения микроскопа отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта одновременно возникает сразу несколько типов ответного сигнала и, в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент используется, происходит формирование того или иного конкретного изображения.
Конструктивно микроскоп представляет собой стационарный лабораторный прибор, который состоит из основной консоли, включающей в себя электронно-оптическую колонну, камеру образцов и вакуумную систему, отдельного безмасляного форвакуумного насоса, а также управляющего компьютера с программным обеспечением (ПО). Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, то есть расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности.
Микроскопы выпускаются в двух модификациях Hitachi TM4000 и Hitachi TM4000Plus, которые отличаются тем, что модификация TM4000Plus оснащена дополнительным низковакуумным детектором вторичных электронов, который позволяет более эффективно исследовать поверхность образцов, имеющих низкий контраст в обратно-отраженных электронах.
Источником электронов является электронная пушка микроскопа с термо-эмиссионным вольфрамовым катодом. Микроскоп оборудован детекторами вторичных и отраженных электронов, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения. Микроскоп оснащен моторизированным предметным столиком SEMover с двумя осями перемещения (X, Y), который предназначен для перемещения образца в микроскопе с помощью двух шаговых двигателей, смонтированных на передней панели камеры микроскопа. Вакуумная система микроскопа полностью автоматизирована и включает в себя безмасляный форвакуумный насос и турбо-молекулярный насос. Микроскоп работает в трёх операционных вакуумных режимах: высокого, среднего и низкого вакуума.
Управление микроскопом, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью серверного компьютера со специализированным ПО TM4000 Tabletop Microscope, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор серверного компьютера.
Дополнительно микроскоп может быть укомплектован приставкой для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75 на базе безазотного (Пельтье-охлаждаемого) кремний-дрейфового детектора, которая позволяют проводить рентгеновское картирование, элементный анализ по линии и мультиэлементный анализ в точке. Принцип действия приставки для энергодисперсионного микроанализа основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (зондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества. Управление работой приставки для энергодисперсионного микроанализа, выбор режимов измерений и контроль параметров, обработка спектров и получение результатов измерений осуществляется с помощью компьютера под управлением ПО Esprit Compact.
Общий вид микроскопа и приставки для энергодисперсионного микроанализа представлен на рисунках 1 и 2.
Место нанесения знака
утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа
Рисунок 2 - Приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75. Слева - детектор, справа - блок контроля сканирования
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью серверного компьютера, на котором установлено специализированное ПО TM4000 Tabletop Microscope. Управление работой приставки для энергодисперсионного микроанализа осуществляют с помощью серверного компьютера, на котором установлено специализированное ПО Esprit Compact.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопа
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
TM4000 Tabletop Microscope |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.5 |
Таблица 2 - Идентификационные данные ПО приставки для энергодисперсионного микроанализа_____________________________________________________________________
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Esprit Compact |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 2.1.1.17347 |
Технические характеристики
Таблица 3 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,278 до 3000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
|
Диапазон измерений массовой доли, % |
от 0,5 до 100 |
|
Энергетическое разрешение приставки для энергодисперсионного микроанализа на линии характеристического излучения Mn Ka1,2, эВ, не более |
129 |
|
Предел допускаемого СКО случайной составляющей относительной погрешности измерений массовой доли элементов в диапазоне, %: - от 0,5 до 1,5 % включ. |
20 |
|
- св. 1,5 до 10 % включ. |
15 |
|
- св.10 до 20 % включ. |
10 |
|
- св. 20 до 100 % включ. |
5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элементов в диапазоне, %: - от 0,5 до 1,5 % включ. |
±40 |
|
- св. 1,5 до 10 % включ. |
±30 |
|
- св.10 до 20 % включ. |
±10 |
|
- св. 20 до 100 % включ. |
±5 |
Таблица 4 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 10 до 100 000 |
|
Масса основной консоли, кг, не более |
60 |
|
Напряжение сети переменного тока, В |
от 198 до 242 |
|
Габаритные размеры основной консоли, мм, не более: | |
|
- высота |
550 |
|
- ширина |
330 |
|
- длина |
620 |
|
Рабочие условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха, °C |
от +15 до +30 |
|
- относительная влажность окружающего воздуха, % |
от 20 до 70 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю панель корпуса микроскопа.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность микроскопа
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа в составе: |
_ |
_ |
|
- микроскоп сканирующий электронный |
Hitachi TM4000 или Hitachi TM4000Plus* |
1 шт. |
|
- моторизованный столик образца |
SEMover |
1 шт. |
|
- приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75** |
_ |
1 шт. |
|
Микроскоп сканирующий электронный Hitachi TM4000/TM4000Plus. Руководство по эксплуатации |
_ |
1 экз. |
|
Приставка для энергодисперсионного микроанализа Quantax 75. Руководство по эксплуатации** |
_ |
1 экз. |
|
Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа. Методика поверки |
651-19-017 МП |
1 экз. |
|
* Модификация по согласованию с заказчиком * * Комплектация по согласованию с заказчиком | ||
Поверка
осуществляется по документу 651-19-017 МП «Микроскопы сканирующие электронные Hitachi TM4000/TM4000Plus с приставкой для энергодисперсионного микроанализа. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 15.01.2019 г.
Основные средства поверки:
- меры периода линейные TDG01 (рег. № 41679-09), номинальное значение шага шаговой структуры меры 0,278 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры ±0,001 мкм, пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры ±0,03 %;
- меры периода и высоты линейные TGZ1 (рег. № 41678-09), номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры ±0,01 мкм;
- меры длины концевые плоскопараллельные Holex модификаций 480450 и 481050 (рег. 35997-07), мера с номинальным значением длины 3,0 мм (набор 480450 - 103), допускаемое отклонение от номинального значения длины ±0,20 мкм;
- стандартные образцы сталей легированных типов 12Х18Н9Т, 12Х18Н10Т, 17Х18Н9, 12Х18Н12Т (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), ГСО 4506-92П/4510-92П, интервал аттестованных значений массовой доли элементов от 0,002 до 21 %, интервал границ абсолютной погрешности аттестованных значений от ±0,0012 % до ±0,24 % при доверительной вероятности 0,95;
- стандартные образцы состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171), ГСО 6319-92/6323-92, интервал аттестованных значений массовой доли элементов от 0,045 % до 72,5 %, интервал границ абсолютной погрешности аттестованных значений от ±0,005 % до ± 0,7 % при доверительной вероятности 0,95.
Допускается применение других средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Техническая документация фирмы-изготовителя
Другие Микроскопы
