Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX
| Номер в ГРСИ РФ: | 81285-21 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма Lasertech Corporation, Япония |
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и обеспечения трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 81285-21 |
| Наименование | Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий |
| Модель | VL2000DX |
| Страна-производитель | ЯПОНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | SVD0035CH |
Производитель / Заявитель
Фирма Lasertech Corporation, Япония
ЯПОНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 81285-21: Описание типа СИ | Скачать | 480.3 КБ | |
| 81285-21: Методика поверки МП 80/072-1-2020 | Скачать | 3.9 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и обеспечения трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на использовании конфокальной диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и подавляющей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.
В микроскопе применена лазерная конфокальная оптическая система, использующая фиолетовый лазерный диод и высокочувствительный фотоумножитель.
Конструктивно микроскоп состоит из базового блока, блока освещения, блока питания, блока электроники MC-1000A, пульта управления и персонального компьютера с программным обеспечением для управления работой микроскопа. Базовый блок, реализующий конфокальную оптическую систему, включает столик образцов с держателем пластин 150 мм, перемещаемый по осям X, Y, Z ручным приводом или автоматически, и измерительную оптическую головку с набором объективов.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа конфокального лазерного сканирующего VL2000DX
Знак поверки наносится в виде наклейки или оттиска поверительного клейма на свидетельство о поверке.
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «LM-eye». ПО «LM-eye» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «LM-eye» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
LM-eye |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
4.09 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» по Р.50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,2 до 4500 |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY , мкм - объектив 5х |
от 20 до 1280 |
|
- объектив 10х |
от 10 до 640 |
|
- объектив 20х |
от 3 до 320 |
|
- объектив 50х |
от 2 до 128 |
|
- объектив 100х |
от 1 до 64 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) |
±(0,1+0,005-L) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) |
±(0,3+0,015 <L) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Привод столика образцов |
механический |
|
Максимальная высота образцов, мм |
100 |
|
Масса, кг, не более |
100 |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ) основных составных частей, мм, не более: - базовый блок - блок электроники MC-1000A - пульт управления - блок освещения - блок питания |
540x345x1030 450x430x105 150x210x45 255x120x65 215x195x90 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 100 до 240 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
600 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель базового блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий |
VL2000DX |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 80/072-1-2020 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в документе: «Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX.
Руководство по эксплуатации», раздел 2
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя, Lasertech Corporation, Япония.
Другие Микроскопы
