Микроскоп электронный сканирующий Quattro S
| Номер в ГРСИ РФ: | 81342-21 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | "Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o.", Чешская Республика |
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S (далее - микроскоп Quattro S) предназначен для измерений линейных размеров, формы и ориентации наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 81342-21 |
| Наименование | Микроскоп электронный сканирующий |
| Модель | Quattro S |
| Страна-производитель | ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 9953401 |
Производитель / Заявитель
"Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o.", Чешская Республика
ЧЕШСКАЯ РЕСПУБЛИКА
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 81342-21: Описание типа СИ | Скачать | 450.7 КБ | |
| 81342-21: Методика поверки МП 94-223-2020 | Скачать | 8.9 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S (далее - микроскоп Quattro S) предназначен для измерений линейных размеров, формы и ориентации наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип работы микроскопа Quattro S основан на физических эффектах взаимодействия сфокусированного пучка электронов с поверхностью объекта (образца). Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько сигналов и формируется конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен.
Микроскоп Quattro S измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта, позволяет получать увеличенное изображение различных образцов, достигая увеличения до 1000000 крат.
Микроскоп Quattro S представляет собой стационарный лабораторный прибор, состоящий из основной консоли, включающей электронно-оптическую колонну с источником электронов и систему линз; вакуумной системы; вакуумной камеры для образцов с установленным пятиосевым моторизированным столиком для перемещения образцов; блока электроники, включающего модули сканирования и обнаружения, и управляющего (серверного) компьютера со специализированным программным обеспечением xT и операционной средой Windows 7. Опционально можно установить дополнительный компьютер с ЖК-монитором, который либо используется как расширенный рабочий стол основного управляющего компьютера, либо как дополнительный компьютер с другими программными утилитами.
Источником электронов высокой энергии является электронная колонна с высокостабильным полевым источником типа Шоттки.
Микроскоп Quattro S работает в трех операционных вакуумных режимах: высокого вакуума (HiVac), низкого вакуума (LoVac) и сверхнизкого вакуума естественной влажной/газовой среды (ESEM). Вакуумная система микроскопа Quattro S полностью автоматизирована.
Вакуумная аналитическая камера микроскопа Quattro S поддерживает одновременное размещение следующих детекторов, позволяющих получать электронно-микроскопические изображения: детектор вторичных электронов (SED) и детектор обратно-рассеянных электронов (BSED).
Предметный столик камеры образцов моторизирован по 5 осям (X, Y, Z, наклон и вращение) с углом наклона от минус 15° до 90° и вращением вокруг оси сканирования на 360°.
Все движения предметного столика задаются и контролируются программным обеспечением микроскопа Quattro S. Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей: держателя для одного образца, который крепится непосредственно к предметному столику, и универсальных держателей для нескольких образцов.
Управление всеми системами микроскопа Quattro S, контроль его состояния, настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью мыши и клавиатуры основного управляющего компьютера со специализированным программным обеспечением, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на ЖК-монитор управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроскопа Quattro S соответствующей команды.
Общий вид микроскопа Quattro S представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа Quattro S
Пломбирование микроскопа Quattro S не предусмотрено.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Программное обеспечение
Программное обеспечение микроскопа Quattro S xT работает в операционной системе Windows 7, со следующими функциональными возможностями каждой части пользовательского интерфейса:
- xT Microscope Server (Сервер управления): запускает и останавливает основные функции микроскопа Quattro S;
- Microscope Control (User Interface (UI)) (Интерфейс пользователя): контролирует все системные функции, включая визуализацию, сбор, вывод изображений и видео; обнаружение, анализ, измерение и обработку данных измерений; сканирование, увеличение, навигацию по столику, давлению в камере и колонне и т.д.;
- Account Manager (Менеджер учетных записей): настраивает доступ пользователей к операционной системе Windows 7 и пользовательскому интерфейсу Microscope Control.
Конструкция микроскопа Quattro S исключает возможность несанкционированного влияния на метрологически значимую часть программного обеспечения и измерительную информацию посредством ограничения прав учетной записи пользователя. Для программного обеспечения микроскопа Quattro S предусмотрено 2 уровня доступа: пользовательский и сервисный.
Идентификационные данные программного обеспечения микроскопа Quattro S приведены в таблице 1.
Уровень защиты программного обеспечения микроскопа Quattro S «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроскопа Quattro S.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
xT |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 15.2.2 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
|
Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО (сервер управления) |
xT Microscope Server |
|
Идентификационное наименование модуля пользовательского интерфейса ПО |
Microscope Control (User Interface (UI)) |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров - при низком вакууме и сверхнизком вакууме естественной среды |
от 300 нм до 2 мкм |
|
- при высоком вакууме |
от 300 нм до 1 мм |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
|
Разрешение (при оптимальном рабочем расстоянии в зависимости от вакуумного режима и типа детектора), нм, не более: - высокий вакуум в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 30 кВ |
1,0 |
|
- высокий вакуум в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 1 кВ |
3,0 |
|
- низкий вакуум и сверхнизкий вакуум естественной среды в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 30 кВ |
1,3 |
|
- низкий вакуум в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 3 кВ |
3,0 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний линейных размеров - при низком вакууме и сверхнизком вакууме естественной среды - при высоком вакууме |
от 10 нм до 500 мкм от 10 нм до 4 мм |
Окончание таблицы 3
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 29 до 1000000 |
|
Давление в камере (в зависимости от вакуумного режима), Па: -высокий вакуум -низкий вакуум -сверхнизкий вакуум естественной влажной/газовой среды |
менее 6 • 10-4 от 10 до 200 от 10 до 4000 при использовании азота; от 10 до 2600 при использовании паров воды |
|
Ускоряющее напряжение электронно-оптической колонны, кВ |
от 0,2 до 30 |
|
Ток пучка, А |
от 1-10-12 до 4,5-10-8 |
|
Параметры электрического питания: - питающее напряжение, В - частота, Гц |
230±23 50±1 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
1368 890 1768 |
|
Масса, кг, не более |
1233 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха, %, не более |
от +17 до +23 80 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп электронный сканирующий |
Quattro S |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 94-223-2020 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главе 5 «Выполнение работ» эксплуатационного документа «Микроскоп электронный сканирующий Quattro S. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1-10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
Другие Микроскопы
