Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA
| Номер в ГРСИ РФ: | 84445-22 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ООО "НТ-МДТ", г.Москва |
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 84445-22 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | NTEGRA |
| Страна-производитель | РОССИЯ |
Производитель / Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ" (ООО "НТ-МДТ"), г. Москва, г. Зеленоград
РОССИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 84445-22: Описание типа СИ | Скачать | 440.7 КБ | |
| 84445-22: Методика поверки | Скачать | 4.1 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Описание
СЗМ работают в режиме атомно-силового микроскопа (ACM). Принцип действия в СЗМ реализуется посредством детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поддерживая с помощью системы обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности, по которому можно определить линейные размеры измеряемых элементов.
В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, представляющий собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы.
СЗМ состоят из следующих основных элементов: СЗМ-контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Базовый блок представляет собой отдельно стоящую установку, которая обеспечивает защиту от воздействий окружающей среды: защиту от
виброакустических воздействий, от изменений температуры и влажности. В базовом блоке расположен держатель образца, который обеспечивает его перемещение в заданном диапазоне и устройство, которое производит сканирование исследуемого объекта. СЗМ-контроллер предназначен для управления базовым блоком и обработки сигналов, полученных в результате проводимых измерений исследуемого образца. Персональный компьютер требуется для обеспечения управления пользователем данным программно-аппаратным комплексом и анализом результатов измерений.
Конструктивно СЗМ выполнены в виде отдельно стоящего базового блока с отдельно устанавливаемым компьютером. Дополнительно микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA могут работать в режимах: сканирующиго туннельного микроскопа и ближнепольного оптического микроскопа.
СЗМ выпускаются в семи модификациях, отличающихся реализацией дополнительных возможностей:
1. NTEGRA PRIMA (Интегра Прима) базовая конфигурация микроскопа, имеющая в составе измерительные головки для атомно-силовой и сканирующей туннельной микроскопии;
2. NTEGRA SOLARIS (Интегра Солярис) позволяет дополнительно реализовать сканирующую ближнепольную оптическую микроскопию, с использованием апертурных кантилеверов;
3. NTEGRA AURA (Интегра Аура) позволяет дополнительно реализовать работу в вакууме и внешних магнитных полях;
4. NTEGRA ACADEMIA (Интегра Академия) позволяет дополнительно работать с вольфрамовой проволокой в режиме АСМ.
5. NTEGRA SNOM (Интегра СБОМ) позволяет дополнительно реализовать сканирующую ближнепольную оптическую микроскопию, с использованием оптоволоконных
датчиков.
6. NTEGRA MAXIMUS (Интегра Максимус) позволяет проводить дополнительные исследования больших образцов, в том числе полупроводниковых пластин.
7. NTEGRA SPECTRA (Интегра Спектра) позволяет одновременно реализовывать АСМ и оптические методики (конфокальную микроскопию/спектроскопию комбинационного рассеяния (Раман), зондово-усиленную Рамановскую / флуоресцентную
микроскопию/спектроскопию (TERS, TEFS, TERFS).
Заводские номера наносятся на заднюю часть корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют цифровое обозначение. Пломбирование микроскопов сканирующих зондовых NTEGRA от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых NTEGRA
а) NTEGRA PRIMA; б) NTEGRA SOLARIS; в) NTEGRA AURA; г) NTEGRA ACADEMIA; д) NTEGRA SNOM; е) NTEGRA MAXIMUS; ж) NTEGRA SPECTRA.
Программное обеспечение
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «NOVA SPM» является специализированным ПО СЗМ и предназначено для их управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «NOVA SPM» не может быть использовано отдельно от СЗМ.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО СЗМ и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
NOVA SPM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,01 до 100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм* |
± (3+0,01-L), где L - измеряемое значение длины в нм |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,01 до 5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
± (4+0,05-L), |
|
измерений линейных размеров по оси сканирования Z, нм* |
где L - измеряемое значение длины в нм |
Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.
Таблица 3 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,0001 до 0,01 |
|
Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи не более, нм |
0,3 |
|
Разрешение по оси Z не более, нм |
0,1 |
|
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
8000 х 8000 |
|
Размеры исследуемых образцов (длина х ширина х толщина), не более, мм |
100 х 100 х 15 |
|
Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, не менее, мм |
5 х 5 |
|
Потребляемая мощность (без дополнительных плат) , не более, Вт |
80 |
|
Габаритные размеры СЗМ контроллера, не более, мм (длина х ширина х высота) |
500 х 445 х 270 |
|
Габаритные размеры базового блока, не более, мм (длина х ширина х высота) |
400 х 250 х 600 |
|
Масса СЗМ контроллера, не более, кг |
12 |
|
Масса базового блока, не более, кг |
15 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
|
Температура окружающей среды, °C |
от +15 до +25 |
|
Относительная влажность воздуха, не более, % |
до 80% |
|
Напряжение переменного тока, В |
от 95 до 121 или от 187 до 242 |
|
Частота, Гц |
50/60 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
СЗМ контроллер |
- |
1 шт. |
|
Базовый блок |
NTEGRA |
1 шт. |
|
Персональный компьютер |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA |
1 экз. |
|
Программное обеспечение на CD-диске |
NOVA SPM |
1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в части № 3 «Атомно-силовая микроскопия» руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
ТУ 26.51.61-001- 40474771-2021 «Микроскопы сканирующие зондовые серии
NTEGRA. Технические условия»
Другие Микроскопы
