84445-22: NTEGRA Микроскопы сканирующие зондовые - Производители, поставщики и поверители

Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA

Номер в ГРСИ РФ: 84445-22
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: ООО "НТ-МДТ", г.Москва
Скачать
84445-22: Описание типа СИ Скачать 440.7 КБ
84445-22: Методика поверки Скачать 4.1 MБ
Нет данных о поставщике
Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 84445-22
Наименование Микроскопы сканирующие зондовые
Модель NTEGRA
Страна-производитель РОССИЯ
Производитель / Заявитель

Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ" (ООО "НТ-МДТ"), г. Москва, г. Зеленоград

РОССИЯ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 3
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 3 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

84445-22: Описание типа СИ Скачать 440.7 КБ
84445-22: Методика поверки Скачать 4.1 MБ

Описание типа

Назначение

Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.

Описание

СЗМ работают в режиме атомно-силового микроскопа (ACM). Принцип действия в СЗМ реализуется посредством детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поддерживая с помощью системы обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности, по которому можно определить линейные размеры измеряемых элементов.

В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, представляющий собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы.

СЗМ состоят из следующих основных элементов: СЗМ-контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Базовый блок представляет собой отдельно стоящую установку, которая обеспечивает защиту от воздействий окружающей среды:  защиту от

виброакустических воздействий, от изменений температуры и влажности. В базовом блоке расположен держатель образца, который обеспечивает его перемещение в заданном диапазоне и устройство, которое производит сканирование исследуемого объекта. СЗМ-контроллер предназначен для управления базовым блоком и обработки сигналов, полученных в результате проводимых измерений исследуемого образца. Персональный компьютер требуется для обеспечения управления пользователем данным программно-аппаратным комплексом и анализом результатов измерений.

Конструктивно СЗМ выполнены в виде отдельно стоящего базового блока с отдельно устанавливаемым компьютером. Дополнительно микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA могут работать в режимах: сканирующиго туннельного микроскопа и ближнепольного оптического микроскопа.

СЗМ выпускаются в семи модификациях, отличающихся реализацией дополнительных возможностей:

1. NTEGRA PRIMA (Интегра Прима) базовая конфигурация микроскопа, имеющая в составе измерительные головки для атомно-силовой и сканирующей туннельной микроскопии;

2. NTEGRA SOLARIS (Интегра Солярис) позволяет дополнительно реализовать сканирующую ближнепольную оптическую микроскопию, с использованием апертурных кантилеверов;

3. NTEGRA AURA (Интегра Аура) позволяет дополнительно реализовать работу в вакууме и внешних магнитных полях;

4. NTEGRA ACADEMIA (Интегра Академия) позволяет дополнительно работать с вольфрамовой проволокой в режиме АСМ.

5. NTEGRA SNOM (Интегра СБОМ) позволяет дополнительно реализовать сканирующую ближнепольную оптическую микроскопию, с использованием оптоволоконных

датчиков.

6. NTEGRA MAXIMUS (Интегра Максимус) позволяет проводить дополнительные исследования больших образцов, в том числе полупроводниковых пластин.

7. NTEGRA SPECTRA (Интегра Спектра) позволяет одновременно реализовывать АСМ и оптические методики (конфокальную микроскопию/спектроскопию комбинационного рассеяния    (Раман),    зондово-усиленную    Рамановскую    /    флуоресцентную

микроскопию/спектроскопию (TERS, TEFS, TERFS).

Заводские номера наносятся на заднюю часть корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют цифровое обозначение. Пломбирование микроскопов сканирующих зондовых NTEGRA от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых NTEGRA

а) NTEGRA PRIMA; б) NTEGRA SOLARIS; в) NTEGRA AURA; г) NTEGRA ACADEMIA; д) NTEGRA SNOM; е) NTEGRA MAXIMUS; ж) NTEGRA SPECTRA.

Программное обеспечение

Микроскопы сканирующие зондовые NTEGRA имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.

Программное обеспечение «NOVA SPM» является специализированным ПО СЗМ и предназначено для их управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «NOVA SPM» не может быть использовано отдельно от СЗМ.

Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО СЗМ и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

NOVA SPM

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 1.0

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

от 0,01 до 100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм*

± (3+0,01-L), где L - измеряемое значение длины в нм

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0,01 до 5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности

± (4+0,05-L),

измерений линейных размеров по оси сканирования Z, нм*

где L - измеряемое значение длины в нм

Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.

Таблица 3 - Технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм

от 0,0001 до 0,01

Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи не более, нм

0,3

Разрешение по оси Z не более, нм

0,1

Максимальное число точек сканирования по X и Y

8000 х 8000

Размеры исследуемых образцов (длина х ширина х толщина), не более, мм

100 х 100 х 15

Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, не менее, мм

5 х 5

Потребляемая мощность (без дополнительных плат) , не более, Вт

80

Габаритные размеры СЗМ контроллера, не более, мм (длина х ширина х высота)

500 х 445 х 270

Габаритные размеры базового блока, не более, мм (длина х ширина х высота)

400 х 250 х 600

Масса СЗМ контроллера, не более, кг

12

Масса базового блока, не более, кг

15

Таблица 4 - Условия эксплуатации

Температура окружающей среды, °C

от +15 до +25

Относительная влажность воздуха, не более, %

до 80%

Напряжение переменного тока, В

от 95 до 121 или от 187 до 242

Частота, Гц

50/60

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом

Комплектность

Таблица 5 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

СЗМ контроллер

-

1 шт.

Базовый блок

NTEGRA

1 шт.

Персональный компьютер

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

Микроскопы     сканирующие

зондовые NTEGRA

1 экз.

Программное обеспечение на CD-диске

NOVA SPM

1 шт.

Сведения о методах измерений

приведены в части № 3 «Атомно-силовая микроскопия» руководства по эксплуатации.

Нормативные документы

ТУ 26.51.61-001-  40474771-2021 «Микроскопы сканирующие зондовые серии

NTEGRA. Технические условия»

Другие Микроскопы

84447-22
МПБ Микроскопы отсчётные
Общество с ограниченной ответственностью "Восток-7" (ООО "Восток-7"), г. Москва
Микроскопы отсчётные МПБ (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров в отражённом свете, в том числе для измерений диаметра отпечатка (лунки), образуемого на поверхности различных металлов при определении твёрдости по методу Бр...
Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX (далее - система) предназначена для измерений линейных размеров в плоскости XY нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
86402-22
Phenom Микроскопы электронные растровые настольные
Фирма "Thermo Fisher Scientific", Нидерланды
Микроскопы электронные растровые настольные Phenom (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементн...
86403-22
Themis Z G3 Микроскоп электронный просвечивающий
Фирма "Thermo Fisher Scientific", Нидерланды
Микроскоп электронный просвечивающий Themis Z G3 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, микро- и наночастиц, определения их элементного состава методом энергодисперсио...
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.