Микроскопы интерференционные "НаноСкан-01"
Номер в ГРСИ РФ: | 87394-22 |
---|---|
Категория: | Микроскопы |
Производитель / заявитель: | ООО "Электростекло", г.Москва |
Микроскопы интерференционные «НаноСкан-01» (далее - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений параметров шероховатости Rmax, Ra по ГОСТ 25142-82 для производственного оптического контроля.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 87394-22 |
Наименование | Микроскопы интерференционные |
Модель | "НаноСкан-01" |
Срок свидетельства (Или заводской номер) | 22.11.2027 |
Производитель / Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью "Электростекло" (ООО "Электростекло"), г. Москва
Поверка
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 4 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
87394-22: Описание типа СИ | Скачать | 487.4 КБ | |
87394-22: Методика поверки | Скачать | 11.4 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы интерференционные «НаноСкан-01» (далее - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений параметров шероховатости Rmax, Ra по ГОСТ 25142-82 для производственного оптического контроля.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых полей, отраженных от опорного зеркала и измеряемой поверхности. Микроскоп реализован по схеме академика В.П. Линника. Восстановление фазы из интерферограмм и получение информации о высоте профиля поверхности проводится методом фазового сдвига. Для этого меняется оптическая длина пути света в опорном канале при помощи сдвига управляемого от компьютера зеркала, закрепленного на пьезоэлементе. Интерферограммы при различных положениях опорного зеркала регистрируются с помощью встроенной видеокамеры и передаются в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерного распределения высоты и графиков сечений отображаются на экране компьютера. По полученной информации о высоте профиля поверхности прибором рассчитываются параметры шероховатости Rmax, Ra. Базовая длина для параметров Ra, Rmax определяется по ГОСТ 2789-73 (приложение 1, таблицы 5, 6). Для управления вводом изображений, сдвигом пьезоэлемента, расшифровки интерферограмм и вычисления параметров шероховатости используется специальное программное обеспечение «MicroScan», работающее в операционной среде Microsoft Windows.
Микроскоп состоит из оптической схемы интерферометра Линника, высокоразрешающей видеокамеры, светодиодного осветителя, блока управления пьезоэлементом и ноутбука. Оптическая схема микроскопа позволяет работать в квазимонохроматическом пространственно-когерентном свете.
Конструктивно микроскопы выполнены в виде интерферометра Линника, собранного на вертикальной металлической плите для уменьшения влияния вибраций, закрытого пластиковым кожухом для защиты от внешней засветки и пыли.
Заводские номера содержат цифровое обозначение, наносятся на шильдик методом цифровой лазерной печати на самоклеящуюся пластиковую пленку и наклеиваются на корпус микроскопов, что обеспечивает возможность прочтения номера в процессе эксплуатации.
Пломбирование приборов не предусмотрено. Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Общий вид микроскопа с обозначением мест нанесения знаков поверки и утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов
Программное обеспечение
Для управления микроскопом используется оригинальное программное обеспечение MicroScan, разработанное для операционной системы Microsoft Windows.
Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение является открытой системой. Программное обеспечение содержит алгоритм расчета параметров шероховатости по данным, измеренным микроскопом, изменить алгоритм может только производитель. Функция ПО - восстановление формы поверхности по волновому фронту и вычисление параметров шероховатости.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
MicroScan |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v 1.0.0.1 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении микроскопа.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопа
Наименование параметра |
Значение |
Диапазон измерений параметров шероховатости Ra, мкм |
от 0,02 до 0,07 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Ra, мкм, не более |
0,0008 |
Диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, мкм |
от 0,02 до 0,2 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Rmax, мкм, не более |
0,003 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопа
Наименование параметра |
Значение |
Поле зрения, мм, не более |
1X1 |
Длина волны излучения, нм |
532 |
Диапазон показаний параметров шероховатости Rmax, Rz, Ra, Rq по ГОСТ 25142-82, мкм |
от 0,0001 до 0,2 |
Диапазон показаний параметров шероховатости Sz, Sa, Sq по ГОСТ Р ИСО 25178-2-2014, мкм |
от 0,0001 до 0,2 |
Алгоритм расшифровки интерферограмм |
метод фазовых шагов |
Размерность изображения, пиксель, не менее |
1920x1200 |
Число вводимых градаций яркости, бит, не менее |
12 |
Время измерения и обработки, сек, не более |
30 |
Число шагов для реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов, не менее |
5 |
Электропитание от сети переменного тока: - напряжением, В - частотой, Г ц |
от 200 до 250 от 50 до 60 |
Габаритные размеры (длинахширинахглубина), мм, не более |
500x250x200 |
Масса, кг, не более |
5 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, % |
от +15 до + 25 от 50 до 80 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование изделия |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп интерференционный: - встроенная видеокамера - осветитель - фазосдвигающие устройство |
«НаноСкан-01» - -- |
1 шт. |
Блок питания осветителя |
- |
1 шт. |
Персональный компьютер (ноутбук) |
- |
1 шт. |
Программное обеспечение для расшифровки интерферограмм |
MicroScan |
1 шт. |
Эталонное зеркало |
- |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
АЦБЕ180.00.00.000РЭ |
1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в Руководстве по эксплуатации АЦБЕ180.00.000РЭ глава 2 «Использование по назначению».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»;
Технические условия. АЦБЕ180.00.00.000ТУ. Микроскоп интерференционный «НаноСкан-01».