Микроскопы конфокальные MarSurf CM
| Номер в ГРСИ РФ: | 87607-22 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Mahr GmbH", Германия |
Микроскопы конфокальные MarSurf CM (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 87607-22 |
| Наименование | Микроскопы конфокальные |
| Модель | MarSurf CM |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 12.12.2027 |
Производитель / Заявитель
Mahr GmbH, Германия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 87607-22: Описание типа СИ | Скачать | 628.4 КБ | |
| 87607-22: Методика поверки | Скачать | 4.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы конфокальные MarSurf CM (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий.
Описание
Микроскопы конфокальные MarSurf CM относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на смещении конфокальной плоскости освещения.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе.
Конструктивно микроскопы состоят из конфокальной измерительной головки со встроенным регулятором освещенности, состоящей из конфокального микроскопа с источником света, в нижней части находится объектив и пьезо-привод, в верхней части ПЗС-камера, контроллер прецизионного измерительного стола, массивной гранитной плиты, светодиодный источник света, объективов, джойстика, компьютера с операционной системой Windows, соединительных кабелей.
Микроскопы могут оснащаться объективами с увеличениями x5, x10, x20, x50 и x100 крат.
Микроскопы выпускаются в четырёх модификациях: explorer, expert, select, mobile, различающихся техническим характеристиками. Для модификаций explorer и expert характерно наличие гранитной стойки в виброизолированном исполнении, имеющей форму L-образного штатива. Модификация select выполнена в исполнении, имеющем П-образный гранитный штатив. Модификация mobile имеет переносной вид стойки и не оснащается гранитной плитой. Микроскопы оснащаются двумя видами ПЗС-камер: цветной (обозначение - color) и черно-белой (обозначение - b/w).
Результаты сканирования поверхности передаются на внешний компьютер. Управление микроскопом осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением, позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Опломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Заводской номер нанесен на корпус в виде этикетки (шильдика) и имеет цифровое обозначение. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
(а)
(б)
(в)
Рисунок 1- Внешний микроскопов модификаций: а) explorer, б) expert, в) select, г) mobile.
(г)
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «MarSurf MSW» и «MarSurf MFM» является специализированным ПО микроскопов и предназначено для управления механическими частями, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости .
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения.
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
MarSurf MSW |
MarSurf MFM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v. 8.2.2.28469 и выше |
v. 9.0 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение | ||||
|
Увеличение |
5х |
Юх |
2 Ох |
2 Ох |
2 Ох |
|
Модель объектива |
3200S |
1600S |
800L |
800S |
800XS |
|
Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
от 2,67 до 3200 |
от 1,33 до 1600 |
от 0,67 до 800 |
от 0,67 до 800 |
от 0,67 до 800 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(6+1750), где L измеряемая величина в мкм |
±(3+1750), где L измеряемая величина в мкм |
±(2,2+1750), где L измеряемая величина в мкм | ||
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
- |
от 1 до 9000 |
от 1 до 9000 |
от 0,2 до 3000 |
от 0,1 до 900 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(0,088+4-17100), где L - измеряемая величина в мкм |
±(0,05+4-17100), где L - измеряемая величина в мкм |
±(0,04+3-L/100), где L - измеряемая величина в мкм |
±(0,026+3-L/100), где L - измеряемая величина в мкм | |
|
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
- |
от 1 до 10 |
от 1 до 5 |
от 0,2 до 5 |
от 0,1 до 5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
- |
±(0,08+4-17100), где L измеряемая величина в мкм |
±(0,04+4-17100), где L измеряемая величина в мкм |
±(0,025+3-L/100), где L измеряемая величина в мкм |
±(0,008+3-L/100), где L измеряемая величина в мкм |
Продолжение таблицы 2
|
Наименование характеристики |
Значение | |||||
|
Увеличение |
5 Ох |
5 Ох |
5 Ох |
ЮОх |
ЮОх |
ЮОх |
|
Модель объектива |
320L |
320S |
320XS |
160L |
160S |
160XS |
|
Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
от 0,36 до 320 |
от 0,36 до 320 |
от 0,36 до 320 |
от 0,32 до 160 |
от 0,32 до 160 |
от 0,32 до 160 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(1,5±1750), где L - измеряемая величина в мкм |
±(1,1±1750), где L - измеряемая величина в мкм | ||||
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,1 до 9000 |
от 0,05 до 900 |
от 0,01 до 250 |
от 0,05 до 3000 |
от 0,01 до 900 |
от 0,01 до 250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(0,026+4-17100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,011+3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,011 ±3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
|
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 0,1 до 2 |
от 0,05 до 2 |
от 0,01 до 2 |
от 0,05 до 1 |
от 0,01 до 1 |
от 0,01 до 1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
±(0,01+4-17100), где L-измеряемая величина в мкм |
±(0,002+3-17100), где L-измеряемая величина в мкм |
±(0,001+3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,002+3-L/100), где L-измеряемая величина в мкм |
±(0,001 ±3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,001 ±3-17100), где L - измеряемая величина в мкм |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||
|
explorer |
expert |
select |
mobile | |
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота |
383 290 690 |
526 378 799 |
900 750 1614 |
417 136 234 |
|
Масса, кг, не более |
25 |
50 |
300 |
9 |
|
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % |
от +18 до +22 до 80 | |||
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средств измерений
|
Наименование |
Количество |
Обозначение |
|
Микроскоп конфокальный |
1 шт. |
MarSurf CM |
|
Объективы* |
3200S, 1600S, 800L, 800S, 800XS, 320L, 320S, 320XS, 160L, 160S, 160XS | |
|
Персональный компьютер |
1 шт. |
- |
|
Монитор |
1 шт. |
- |
|
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
- |
|
* Количество и модели объективов определяются при заказе микроскопа и указываются в руководстве по эксплуатации. | ||
Сведения о методах измерений
приведены в разделе «Выполнение измерений» или «Измерение с использованием MarSurf CM» руководств по эксплуатации.
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»;
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1-10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»;
Техническая документация изготовителя.
Другие Микроскопы
