90532-23: TZTEK VMG Микроскопы видеоизмерительные портальные - Производители, поставщики и поверители

Микроскопы видеоизмерительные портальные TZTEK VMG

Номер в ГРСИ РФ: 90532-23
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: TZTEK Technology Co., Ltd., Китай
Скачать
90532-23: Описание типа Скачать 156.4 КБ
90532-23: Методика поверки Скачать 3.7 MБ
Нет данных о поставщике
Микроскопы видеоизмерительные портальные TZTEK VMG поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскопы видеоизмерительные портальные TZTEK VMG (далее - приборы) предназначены для измерений линейных размеров деталей.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 90532-23
Наименование Микроскопы видеоизмерительные портальные
Модель TZTEK VMG
Срок свидетельства (Или заводской номер) 21.11.2028
Производитель / Заявитель

TZTEK Technology Co., Ltd., Китай

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

90532-23: Описание типа Скачать 156.4 КБ
90532-23: Методика поверки Скачать 3.7 MБ

Описание типа

Назначение

Микроскопы видеоизмерительные портальные TZTEK VMG (далее - приборы) предназначены для измерений линейных размеров деталей.

Описание

Основными элементами конструкции приборов являются гранитное основание, на которое установлены неподвижный предметный стол с нижним осветителем, подвижный вертикальный портал с оптической системой, включающей в себя измерительный блок и верхний осветитель.

Принцип действия приборов основан на считывании с электронных измерительных шкал осей X, Y значений перемещений портала, и с измерительной шкалы оси Z значений перемещений видеоизмерительного блока. Измерения по оси Z выполняются с использованием лазерного датчика, устанавливаемого по заказу. При необходимости, для измерений по оси Z, приборы могут быть оснащены контактным датчиком. По заказу потребителя приборы оснащаются двумя типами оптики на выбор: 8.3:1 или 13.13:1, отличающиеся кратностью увеличения. Обозначение нанесено на объектив и указано в паспорте на прибор. Измерения по оси Z выполняются с использованием лазерного датчика, устанавливаемого по заказу. При необходимости, приборы могут быть оснащены контактным датчиком ТР20. Перемещение по осям осуществляется на механических подшипниках. Приборы работают под управлением входящего в комплект персонального компьютера. Измерения проводятся в ручном или автоматическом режимах. Ручной режим управления осуществляется с клавиатуры персонального компьютера или при помощи пульта управления. Автоматический режим реализуется через программное обеспечение, установленное на персональный компьютер, по заранее составленному алгоритму.

Основание приборов имеет антивибрационные регулируемые опоры для установки по уровню.

К данному описанию типа относятся микроскопы видеоизмерительные портальные TZTEK VMG в следующих типоразмерах: 452, 672, 8102, 10122, 12162, которые различаются между собой диапазонами измерений, метрологическими характеристиками, а также массогабаритными размерами.

Заводской номер в виде цифрового обозначения, состоящего из арабских цифр, наносится на маркировочную пластину, расположенную на задней поверхности основания.

Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено.

Пломбирование приборов не производится. В процессе эксплуатации, приборы не предусматривают внешних механических и электронных регулировок.

Общий вид приборов приведён на рисунке 1.

Место нанесения маркировочной таблички с заводским номером средства измерений

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов видеоизмерительных TZTEK VMG

Программное обеспечение

Приборы работают под управлением метрологически значимого программного обеспечения (далее - ПО) Vispec, установленного на персональный компьютер, предназначенного для обеспечения взаимодействия узлов приборов, выполнения измерений, сохранения и экспорта измеренных величин, а также обработки полученных результатов.

Защита программного обеспечения и измеренных данных от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Vispec

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 5.5.1

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Типоразмер системы

452

672

8102

10122

12162

Диапазон измерений линейных размеров, мм:

- по оси X

от 0 до 400

от 0 до 600

от 0 до 800

от 0 до 1000

от 0 до 1200

- по оси Y

от 0 до 500

от 0 до 700

от 0 до 1000

от 0 до 1200

от 0 до 1600

г7* - по оси Z

от 0 до 210

от 0 до 210

от 0 до 210

от 0 до 210

от 0 до 210

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости двух осей X, Y при использовании оптического датчика**, мкм

±(2,5+L/200)

±(3,0+L/200)

±(4,0+L/200)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z при использовании лазерного датчика, мкм

±(5,0+L/200)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности объёмных измерений при использовании контактного датчика, мкм

±(3,0+L/200)

где L - измеряемая длина в мм

*- по заказу возможно увеличение диапазона до 250 мм

**- при максимальном оптическом увеличении

Таблица 3 - Технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц

от 200 до 240 50±1

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %

от +18 до +22 от 40 до 70

Допустимое изменение температуры, °C не более, в течении: - 1 часа - 24 часов

1 2

Разрешение отсчетных шкал, мкм

0,1

Наименование характеристики

Значение

Увеличение оптики оптическое / цифровое, х: - 8.3:1 - 13.3:1

(0,6_5,0) / (21...176)

(0,6...8,0) / (21...289)

Таблица 4 - Массогабаритные размеры

Наименование характеристики

Значение

Типоразмер КИМ

452

672

8102

10122

12162

Габаритные размеры, мм

Длина

1255

1455

1715

1915

2115

Ширина

1532

1732

2212

2412

2812

Высота

1747 (1777)*

1747 (1777)*

1777 (1807)*

1777 (1807)*

1777 (1807)*

Масса, кг

1500

1900

2900

3650

4740

При увеличенном диапазоне измерений по оси Z до 250 мм

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Таблица 5 - Комплектность приборов

Наименование

Обозначение

Количество

Микроскоп видеоизмерительный портальный (типоразмер в соответствии с заказом потребителя)

TZTEK VMG

1 шт.

Лазерный датчик для измерений по оси Z

-

по заказу

Контактный датчик

ТР20

по заказу

Персональный компьютер с установленным ПО

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Паспорт

-

1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в Главе 3 «Последовательность операций» документа «Микроскопы видеоизмерительные портальные TZTEK VMG. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840;

Стандарт предприятия TZTEK Technology Co., О^.Китай.

Другие Микроскопы

Микроскопы видеоизмерительные консольные TZTEK (далее - приборы) предназначены для измерений линейных размеров деталей.
90732-23
CX-200 PLUS Микроскопы сканирующие электронные
Фирма "COXEM Co., Ltd.", Республика Корея
Микроскопы сканирующие электронные CX-200 PLUS (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного...
Микроскопы сканирующие электронные KYKY (далее микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
91010-24
Hitachi S-9380 Микроскоп растровый электронный
Hitachi High-Technologies Corporation, Япония
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее- микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.
91215-24
ZEM Микроскопы сканирующие электронные
Фирма "ZepTools Technology Co., Ltd.", Китай
Микроскопы сканирующие электронные ZEM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа...