Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380
| Номер в ГРСИ РФ: | 91010-24 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Hitachi", Япония |
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее- микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 91010-24 |
| Наименование | Микроскоп растровый электронный |
| Модель | Hitachi S-9380 |
Производитель / Заявитель
Hitachi High-Technologies Corporation, Япония
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 01.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 91010-24: Описание типа | Скачать | 651.2 КБ | |
| 91010-24: Методика поверки | Скачать | 8.5 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее- микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.
Описание
Принцип действия микроскопа заключается в автоматических измерениях линейных размеров по заранее разработанной программе. Изображение элементов топологии формируется в режиме медленных вторичных электронов. Из полученного изображения выделяется видеосигнал строк, по выбранным точкам которого определяется размер элементов. Микроскоп позволяет измерять размеры протяженных объектов, выступов и канавок (линии), внутренний и внешний диаметры круглых объектов, неровность края, и другие геометрические параметры объектов. Применяется для измерений как по фоторезистивной маске, так и структур после травления.
Микроскоп представляет собой напольный прибор, состоящий из основного блока; консоли оператора; системы охлаждения (чиллер) и блока питания. Для обеспечения автоматических измерений в состав микроскопа входит система автоматической загрузки и транспортировки пластин в рабочую камеру, двух координатный предметный стол с контролем координат, система распознавания в оптическом микроскопе и по электронному изображению.
На микроскопе имеется шильдик с указанием наименования прибора, страны изготовителя, серийного номера и года выпуска прибора. Шильдик расположен на задней панели основного блока справа внизу. Серийный номер содержит цифровое обозначение (№ 2153-04), наносится на шильдик методом цифровой лазерной.
Общий вид и схема маркировки микроскопа представлены на рисунках 1 и 2.
Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено.
Консоль оператора Основной блок
Блок питания
охлаждения (чиллер)
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа растрового электронного Hitachi S-9380
Рисунок 2 - Общий вид и схема маркировки микроскопа растрового электронного
Hitachi S-9380
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в микроскопе осуществляется с помощью специального программного обеспечения (далее — ПО). Программное обеспечение служит для настройки микроскопа, разработки рецептов, управления микроскопом при проведении измерений, отображения полученных данных, для коммуникации с внешним компьютером (рабочей станцией).
ПО имеет пользовательский интерфейс, управление микроскопом производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Идентификационные данные (признаки) программного обеспечения микроскопа указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Hitachi CD Measurement SEM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 26.36 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
_ |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,05 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, мкм |
± 0,02 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры (Д х В х Ш), мм, не более: | |
|
- основной блок |
1200 х 2007 х 1900 |
|
- консоль оператора |
600 х 1170 х 1850 |
|
- чиллер |
1200 х 1496 х 1900 |
|
- блок питания |
535 х 1200 х 1800 |
|
Масса, кг, не более: | |
|
- основной блок |
1850 |
|
- консоль оператора |
340 |
|
- чиллер |
600 |
|
- блок питания |
380 |
|
Параметры питания: | |
|
- напряжение питания, В |
200/208/230 |
|
- частоты переменного тока, Гц |
50/60 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающей среды, оС |
от + 20 до + 24 |
|
- относительная влажность воздуха, % |
от 30 до 50 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 50 до 106 |
|
- требования к вибрации (Point to Point) в диапазоне | |
|
частот от 1 до 10 Гц (для вертикального направления), | |
|
мкм, не более |
3 |
|
- магнитное поле, мкТ, не более |
0,3 |
Знак утверждения типа
наносится титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп растровый электронный в составе: - Основной блок - Консоль оператора - Блок питания - Чиллер - Форвакуумный насос |
Hitachi S-9380 |
1 шт. |
|
SMIF-контейнер М200 - Е011 |
_ |
1 шт. |
|
Кассета КА198 - 80МВ - 47С02 |
_ |
1 шт. |
|
Кремниевая пластина диаметром 200 мм с топологией |
_ |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
_ |
1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в руководстве по эксплуатации «Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380» раздел 7 «Использование по назначению».
Нормативные документы
Локальная поверочная схема для микроскопа электронного растрового измерительного в диапазоне значений от 0,020 до 20,000 мкм, утвержденная ФГБУ «ВНИИОФИ» от 30 мая 2023 г.
Другие Микроскопы
