91522-24: Melytec Микроскопы сканирующие электронные - Производители, поставщики и поверители

Микроскопы сканирующие электронные Melytec

Номер в ГРСИ РФ: 91522-24
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: "Zhejiang Nade Scientific Instrument Co., Ltd.", Китай
Скачать
91522-24: Описание типа Скачать 368.4 КБ
91522-24: Методика поверки Скачать 2.4 MБ
Нет данных о поставщике
Микроскопы сканирующие электронные Melytec поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскопы сканирующие электронные Melytec (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 91522-24
Наименование Микроскопы сканирующие электронные
Модель Melytec
Срок свидетельства (Или заводской номер) 05.03.2029
Производитель / Заявитель

Фирма "Zhejiang Nade Scientific Instrument Co., Ltd.", Китай

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 6
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 6 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

91522-24: Описание типа Скачать 368.4 КБ
91522-24: Методика поверки Скачать 2.4 MБ

Описание типа

Назначение

Микроскопы сканирующие электронные Melytec (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).

Описание

Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно-рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Опционально микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (ЭДС) для регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. ЭДС позволяет проводить электронно-зондовый элементный анализ исследуемого объекта путем обработки спектра рентгеновского излучения, который включает в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента. ЭДС выполнен на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.

Микроскопы выпускается в следующих модификациях: SM-20, SM-32, SM-32A, SM-33, SM-40, SM-50, DB-50, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения, типом источника электронов, пространственным разрешением, наличи-ем/отсутствием режима низкого вакуума и наличием/отсутствием дополнительной ионной колонны. Микроскопы выполнены в напольном варианте и представляют собой автоматизированные многофункциональные измерительные системы.

Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса и персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.

Модуль получения изображений включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратно-рассеянных электронов (ОРЭ). Модификация микроскопа DB-50 оснащена дополнительной ионной колонной, позволяющей реализовать режим облучения образца сфокусированным пучком ионов Ga.

Камера образцов оборудована встроенной оптической цифровой навигационной камерой, позволяющей делать снимок загруженного столика с образцом, который в дальнейшем будет использоваться для навигации. Столик образцов имеет моторизованный механизм перемещения объектов по осям X и Y (модификация SM-20), по осям X, Y, Z (модификация SM-32A), по осям X, Y, Z, R, T для остальных модификаций.

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

Другие Микроскопы

91729-24
UNIMETRO Микроскопы видеоизмерительные портальные
Dongguan UNIMETRO Precision Machinery Co., Ltd, Китай
Микроскопы видеоизмерительные портальные UNIMETRO (далее - приборы) предназначены для измерений линейных и угловых размеров, а также взаимного расположения элементов различных деталей в прямоугольных и полярных координатах.
91730-24
UNIMETRO Микроскопы видеоизмерительные консольные
Dongguan UNIMETRO Precision Machinery Co., Ltd, Китай
Микроскопы видеоизмерительные консольные UNIMETRO (далее - приборы) предназначены для измерений линейных и угловых размеров, а также взаимного расположения элементов различных деталей в прямоугольных и полярных координатах.
91215-24
ZEM Микроскопы сканирующие электронные
Фирма "ZepTools Technology Co., Ltd.", Китай
Микроскопы сканирующие электронные ZEM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа...
91010-24
Hitachi S-9380 Микроскоп растровый электронный
Hitachi High-Technologies Corporation, Япония
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее- микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.
Микроскопы сканирующие электронные KYKY (далее микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.