Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus
| Номер в ГРСИ РФ: | 95798-25 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus (далее -микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, микро- и наночастиц на пленке-подложке, определения параметров кристаллической решетки и локального элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 95798-25 | ||||||
| Действует | по 03.07.2030 | ||||||
| Наименование | Микроскоп просвечивающий электронный измерительный | ||||||
| Модель | JEM-2100 Plus | ||||||
| Приказы |
№1342 от
03.07.2025
— Об утверждении типов средств измерений
|
||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 2c1774f5-4b6c-3b0b-645f-948694bdd30e | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
JEOL Ltd., ЯПОНИЯ, 1-2 Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo, 196-8558
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
МП СС-61-24-2024 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus. Методика поверки
(с 03.07.2025)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
95798-25: Описание типа
2025-95798-25.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 377.6 КБ | |
|
95798-25: Методика поверки
2025-mp95798-25.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 1.2 MБ | |
|
95798-25: Описание типа
2025-95798-25-1.pdf
|
Скачать | 377.6 КБ | |
|
95798-25: Методика поверки
МП СС-61-24-2024
2025-mp95798-25-1.pdf
|
Скачать | 1.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus (далее -микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, микро- и наночастиц на пленке-подложке, определения параметров кристаллической решетки и локального элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на прохождении пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на кристаллической решетке или неоднородностях структуры объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят:
- модуль получения изображений;
- источник высокого напряжения;
- блок электроники;
- форвакуумный насос;
- система замкнутого водяного охлаждения.
Основным компонентом модуля получения изображений является электроннооптическая колонна. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и систему электронных линз: блок конденсорных линз, объективную линзу, блок промежуточных линз и проекционную линзу. Электронная пушка включает источник электронов на основе монокристаллического катода LaB6. Объективная линза дополнена диафрагмой, положением которой можно управлять. Регистрация изображения в режиме просвечивающей электронной микроскопии и режиме дифракции осуществляется с помощью 11 Мп ПЗС-камеры.
Модуль получения изображений также включает в себя управляющий компьютер со специализированным программным обеспечением и энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), выполненный на основе SDD детектора для регистрации химических элементов от Be до Am.
Источник высокого напряжения вырабатывает высокостабильное ускоряющее напряжение, которое подается на электронную пушку, в диапазоне от 80 до 200 кВ.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Заводской номер № EM1753000180018 и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа просвечивающего электронного измерительного
JEM-2100 Plus
Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 2
место установки шильдика с заводским номером
Рисунок 2 - Место установки шильдика с заводским номером
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «TEM Center» является специализированным ПО и предназначено для управления всеми функциями микроскопа, включая перемещение образца, фокусировку, коррекцию астигматизма, управление вакуумной системой, контроль и формирование изображения с детектора. Также ПО «TEM Center» позволяет управлять ЭДС спектрометром и проводить качественный и количественный анализ спектров характеристического рентгеновского излучения, получаемого из измерительного тракта детектора рентгеновского излучения.
Программное обеспечение (ПО) «RADIUS» является специализированным ПО и предназначено для управления цифровой ПЗС-камерой. Также ПО «RADIUS» позволяет формировать, обрабатывать и анализировать изображения, получаемые с камеры.
ПО «TEM Center» и «RADIUS» не могут быть использованы отдельно от микроскопа. Метрологически значимая часть ПО микроскопа, цифровой камеры и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Идентификационные данные (признаки) ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
TEM Center |
RADIUS |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.7.6.1591 |
1.4 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
- |
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,0003 до 50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 200 кВ, нм (L-линейный размер, нм) |
±(0,3+0,03^ L ) |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ka марганца, эВ, не более |
136 |
Таблица 3 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры основных составных частей (ширинахглубинахвысота), мм, не более: - модуль получения изображений - источник высокого напряжения - блок электроники |
2040х1800х2440 880x690x1400 570x800x1750 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 205 до 255 |
Знак утверждения типа
Наносится на боковую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп просвечивающий электронный измерительный |
JEM-2100 Plus |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в документе «Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus. Руководство по эксплуатации», раздел 5 «Работа с микроскопом».
Нормативные документы
Локальная поверочная схема.
Другие Микроскопы
