Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM
| Номер в ГРСИ РФ: | 96755-25 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "COXEM Co., Ltd.", Корея |
Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Информация по Госреестру
| Основные данные | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 96755-25 | |||||||||
| Действует | по 29.10.2030 | |||||||||
| Наименование | Микроскопы сканирующие электронные измерительные | |||||||||
| Модель | EM | |||||||||
| Модификации |
EM-40 EM-30AXN+ EM-30N+ |
|||||||||
| Приказы |
№2327 от
29.10.2025
— Об утверждении типов средств измерений
|
|||||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
|||||||||
| Характер производства | Серийное | |||||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 392a7467-985a-8d37-42dc-2548ad54071a | |||||||||
| Испытания |
|
|||||||||
Производитель / Заявитель
COXEM Co., Ltd., КОРЕЯ, РЕСПУБЛИКА, #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, 34025
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
МП 001-2025 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM. Методика поверки
(с 29.10.2025)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 28.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
96755-25: Описание типа
2025-96755-25.pdf
|
Скачать | 141.7 КБ | |
|
96755-25: Методика поверки
МП 001-2025
2025-mp96755-25.pdf
|
Скачать | 1.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Описание
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса, персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Измерительный блок включает электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратнорассеянных (ОРЭ) электронов. Встроенная оптическая навигационная камера позволяет оперативно находить место для анализа на исследуемом образце.
Вакуумная система микроскопа обеспечивает остаточное давление менее 10-2 Па в режиме высокого вакуума (High Vacuum) и остаточное давление в камере образцов в диапазоне от 10 до 30 Па в режиме низкого вакуума (Low Vacuum) для наблюдения непроводящих объектов.
Микроскопы выпускаются в следующих модификациях: EM-40, EM-30AXN+, EM-30N+, которые различаются в основном конструкцией предметного столика и наличием энергодисперсионного рентгеновского спектрометра для локального электронно-зондового элементного анализа (модификация EM-30AXN+). Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр для модификации EM-40 поставляется опционально.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Другие Микроскопы
