Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau
| Номер в ГРСИ РФ: | 98402-26 |
|---|---|
| Категория: | Интерферометры |
| Производитель / заявитель: | ЗАО "НПФ "УРАН-СПб", г.С.-Петербург |
Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта № 3189 от 15.12.2022 используются для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 280 мм.
Информация по Госреестру
| Основные данные | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 98402-26 | |||||||||
| Действует | по 30.04.2031 | |||||||||
| Наименование | Интерферометры лазерные | |||||||||
| Модель | U-Optics IH-Fizeau | |||||||||
| Модификации |
U-Optics IH-Fizeau 100 U-Optics IH-Fizeau 150 U-Optics IH-Fizeau 300 U-Optics IH-Fizeau 450 |
|||||||||
| Приказы |
№833 от
30.04.2026
— Об утверждении типов средств измерений
|
|||||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
|||||||||
| Характер производства | Серийное | |||||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 3e045009-9380-1771-98ed-75548eab2504 | |||||||||
| Испытания |
|
|||||||||
Производитель / Заявитель
Производственная площадка: Interfero Opto-electronic Technology Co. Ltd, КИТАЙ, 12th Floor, Building 11, LiYe Industrial Park, TusCity(QiDi) #26, ZhisShi Road, Qilin Sub-district Jiangning District, Nanjing; ЗАО НПФ «Уран», РОССИЯ, 198095, г. Санкт-Петербург, вн. тер. г. муниципальный округ нарвский округ, ул. Промышленная, д. 14А, Литера А, помещ. 2-Н-45
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
РТ-МП-449-203-2025 ГСИ. Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau. Методика поверки
(с 30.04.2026)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок |
Поверители
Скачать
|
98402-26: Описание типа
2026-98402-26.pdf
|
Скачать | 169.7 КБ | |
|
98402-26: Методика поверки
РТ-МП-449-203-2025
2026-mp98402-26.pdf
|
Скачать | 1.1 MБ |
Описание типа
Назначение
Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта № 3189 от 15.12.2022 используются для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 280 мм.
Описание
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления с плоской насадкой и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной насадки, закрепленной в приборе, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной насадки непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным волновым фронтом. Анализ получаемой интерференционной картины (интерферограммы) дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности. В интерферометрах реализован метод «фазовых шагов» для измерений и обработки интерферограмм.
Интерферометры изготавливают четырёх модификаций, отличающихся диапазоном диаметров измеряемых плоских деталей: U-Optics IH-Fizeau 100, U-Optics IH-Fizeau 150, U-Optics IH-Fizeau 300 и U-Optics IH-Fizeau 450 (табл. 3).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на интерферометр не предусмотрено. Заводской номер наносится на табличку печатным методом, расположенную на задней части интерферометра и имеет буквенно-цифровое обозначение.
Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
a)
б)
в)
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных U-Optics IH-Fizeau: а) U-Optics IH-Fizeau 100; б) U-Optics IH-Fizeau 150; в) U-Optics IH-Fizeau 300;
г) U-Optics IH-Fizeau 450
г)
Рисунок 2 - Общий вид маркировочной таблички с указанием места нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Программное обеспечение
Интерферометры имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО интерферометра и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от интерферометра.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
PhaseSight |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
8.0 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Модификации |
U-Optics IH-Fizeau 100, U-Optics IH-Fizeau 150 |
U-Optics IH-Fizeau 300, U-Optics IH-Fizeau 450 |
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,02 до 2,00 |
от 0,02 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,032 (X/20) |
±0,042 (X/15) |
|
где X = 0,633 мкм - длина волны лазерного излучения | ||
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров модификаций
U-Optics IH-Fizeau-100, U-Optics IH-Fizeau-150, U-Optics IH-Fizeau-300, U-Optics IH-Fizeau-450
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
Модификация |
U-Optics IH-Fizeau 100 |
U-Optics IH-Fizeau 150 |
U-Optics IH-Fizeau 300 |
U-Optics IH-Fizeau 450 |
|
Исполнение схемы |
горизонтальное | |||
|
Максимальный диаметр измеряемых плоских оптических поверхностей, мм |
100 |
150 |
300 |
300 |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 Длина волны лазера, нм, не более - He-Ne лазер |
ЗА 633 | |||
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина |
746 |
795 |
4000 |
3500 |
|
- ширина |
340 |
400 |
1500 |
1500 |
|
- высота |
284 |
264 |
1500 |
1500 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации интерферометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Температура окружающей среды, °C |
от +19 до +21 |
|
Относительная влажность воздуха, %, не более |
70 |
|
Напряжение переменного тока, В |
220 |
|
Частота, Гц |
50 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и маркировочную табличку печатным методом
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Интерферометр лазерный |
U-Optics IH-Fizeau |
1 шт. |
|
Компьютер с ПО |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 4, «Подготовка к работе и проведение измерений» документа «Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15.12.2022 № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей»
ТУ 46.69.19-011-47957633-2025 «Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau. Технические условия»