Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts Сubе II
| Номер в ГРСИ РФ: | 98492-26 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | EmCrafts Co., Ltd, КОРЕЯ |
Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts С^е II (далее по тексту — микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 98492-26 | ||||||||||||
| Действует | по 13.05.2031 | ||||||||||||
| Наименование | Микроскопы сканирующие электронные | ||||||||||||
| Модель | EmCrafts Сubе II | ||||||||||||
| Приказы |
№902 от
13.05.2026
— Об утверждении типов средств измерений
|
||||||||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
||||||||||||
| Характер производства | Серийное | ||||||||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | e12d9675-20c4-ebfb-c96f-29302e553bf4 | ||||||||||||
| Испытания |
|
||||||||||||
Производитель / Заявитель
EmCrafts Co., Ltd, КОРЕЯ, РЕСПУБЛИКА, #602, Misadongilnexus bldg., 30, Misagangbyeonjungang-ro 31beon-gil, Hanam-si, Gyeonggi-do 12939
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
РТ-МП-1506-203-2025 ГСИ. Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts Cube II. Методика поверки.
(с 13.05.2026)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок |
Поверители
Скачать
|
98492-26: Описание типа
2026-98492-26.pdf
|
Скачать | 135.4 КБ | |
|
98492-26: Методика поверки
РТ-МП-1506-203-2025
2026-mp98492-26.pdf
|
Скачать | 1.1 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts СиЬе II (далее по тексту — микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.
Конструктивно микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и форвакуумного насоса. Управление микроскопами осуществляется с помощью персонального компьютера. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей микроскопов, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов, детектор обратно отражённых электронов, детектор прошедших электронов, а также другие специализированные детекторы. К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки воздуха при помощи вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения микроскопа, органов управления микроскопом (джойстик, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием.
Общий вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Пломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Нанесение знака поверки на корпус микроскопов не предусмотрено.
Серийный номер в виде цифробуквенного обозначения нанесен методом печати или гравировки на идентификационную табличку, которая расположена на задней части микроскопа.
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов
Рисунок 2 - Внешний вид идентификационной таблички
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение (далее - ПО), предустановленное на персональный компьютер оператора, разработанное для выполнения определённых измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
ПО предназначено для управления микроскопами, составления измерительных программ, обработки и хранения результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от микроскопов.
Конструкция микроскопов исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию средства измерений. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Virtuoso |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.1.253 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблицах 2-4.
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,2 до 500 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±5 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Разрешение, нм, не более |
5 |
|
Диапазон наклона столика образцов |
от -90° до +90° |
|
Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X |
40 |
|
- по оси Y |
40 |
|
- по оси Z |
38 |
|
Диапазон вращения столика образцов |
от 0° до 360° |
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина |
440 |
|
- ширина |
410 |
|
- высота |
520 |
|
Масса, кг, не более |
65 |
|
Увеличение, крат |
от 10 до 200000 |
|
Давление в камере, Па, не более |
1-10-2 |
Таблица 4 - Эксплуатационные характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % |
от +17 до +28 от 15 до 65 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
от 220 до 240 50 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Комплектность средства измерений представлена в таблице 5.
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный |
EmCrafts СиЬе II |
1 шт. |
|
Компьютер с ПО |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 2-7-7 «Проведение измерений линейных размеров объекта» Руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657
Стандарт предприятия «Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts СиЬе II»