Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN
| Номер в ГРСИ РФ: | 99275-26 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Pue (Shanghai) Innovation Incubator Management Co. Ltd., КИТАЙ |
Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа, определения формы, ориентации и других параметров, нано - и микроструктур поверхностей различных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 99275-26 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Действует | по 28.08.2031 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Наименование | Микроскопы сканирующие электронные | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Модель | IQSCAN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Модификации |
IQSCAN W21 IQSCAN W32 IQSCAN W33 IQSCAN F40 IQSCAN F50 IQSCAN FIB55 IQSCAN FIB60 IQSCAN HEM60 Исполнения: Стандартное Auto На испытания представлены: IQSCAN W32 исп. стандартное IQSCAN F50 исп. стандартное IQSCAN F40 исп. стандартное IQSCAN W21 исп. стандартное IQSCAN FIB55 исп. стандартное |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Приказы |
№1749 от
28.08.2026
— Об утверждении типов средств измерений
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Характер производства | Серийное | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | b1f028a4-a71b-1eae-dfb4-5aa92dfcd7e0 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Испытания |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Производитель / Заявитель
Pue (Shanghai) Innovation Incubator Management Co. Ltd., КИТАЙ, 619 room, building A, №58 Xiangke road, Shanghai Pilot Free Trade Zone
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
РТ-МП-571-203-2026 ГСИ. Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN. Методика поверки
(с 28.08.2026)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
2 года
|
| Зарегистрировано поверок |
Поверители
Скачать
|
99275-26: Описание типа
2026-99275-26.pdf
|
Скачать | 946.2 КБ | |
|
99275-26: Методика поверки
РТ-МП-571-203-2026
2026-mp99275-26.pdf
|
Скачать | 1.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа, определения формы, ориентации и других параметров, нано - и микроструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (далее - ЭДС) для регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. ЭДС позволяет проводить электронно-зондовый элементный анализ исследуемого объекта путем обработки спектра рентгеновского излучения, который включает в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента. ЭДС выполнен на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.
Микроскопы выпускаются в следующих модификациях IQSCAN W21, IQSCAN W32, IQSCAN W33, IQSCAN F40, IQSCAN F50, IQSCAN FIB55, IQSCAN FIB60, IQSCAN HEM60 которые представлены в двух исполнениях: стандартном и Auto. Модификации различаются между собой значениями ускоряющего напряжения, типом источника электронов, пространственным разрешением, наличием/отсутствием режима низкого вакуума и наличием/отсутствием дополнительной ионной колонны. Микроскопы в исполнении Auto имеют возможность проведения автоматизированных процедур, в том числе с использованием ЭДС.
Конструктивно микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и форвакуумного насоса. Управление микроскопами осуществляется с помощью персонального компьютера. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей микроскопов, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов, детектор обратно отражённых электронов, детектор прошедших электронов, а также другие специализированные детекторы. К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки воздуха при помощи вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор) и используется для подготовки образцов перед исследованием.
Общий вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Пломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Нанесение знака поверки на корпус микроскопов не предусмотрено.
Серийные номера в виде цифрового или буквенно-цифрового обозначения, состоящие из арабских цифр или из латинских букв и арабских цифр, наносятся методом печати на наклейку или методом гравировки на идентификационную табличку, которая расположена на задней части микроскопа. Маркировка исполнения Auto наносится на идентификационную табличку после обозначения модификации микроскопов, в случае стандартного исполнения маркировка после обозначения модификации микроскопов отсутствует.
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 2 - Общий вид микроскопов IQSCAN W32
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 4 - Общий вид микроскопов IQSCAN F40
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 5 - Общий вид микроскопов IQSCAN F50
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 6 - Общий вид микроскопов IQSCAN FIB55
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 7 - Общий вид микроскопов IQSCAN FIB60
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 8 - Общий вид микроскопов IQSCAN HEM60
Product: Scanning Electron Microscope IQSCAN
Model: FIB55
Voltage: 220V AC
Power: 5.5 KW
Serial No.:6N25070034
Date of Production : Sept.2025
Manufacturer: Pue(Shanghai)lnnovation
Incubator Management Co.Ltd
-Made in China
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение (далее - ПО), предустановленное на персональный компьютер оператора, разработанное для выполнения определённых измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
ПО предназначено для управления микроскопами, составления измерительных программ, обработки и хранения результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от микроскопов.
ПО микроскопов разделено на метрологически значимую и незначимую части. За метрологически значимую часть принимают мажорную версию ПО.
Конструкция микроскопов исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию средства измерений. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) указаны в таблицах 1, 2.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |||
|
IQSCAN W21 |
IQSCAN W32 |
IQSCAN W33 |
IQSCAN F40 | |
|
Идентификационное наименование ПО |
W21 |
W32 |
W33 |
F40 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
3.1.0.0 и выше | |||
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- | |||
Таблица 2 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |||
|
IQSCAN F50 |
IQSCAN FIB55 |
IQSCAN FIB60 |
IQSCAN HEM60 | |
|
Идентификационное наименование ПО |
F50 |
FIB55 |
FIB60 |
HEM60 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
3.1.0.0 и выше | |||
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- | |||
Технические характеристики
Метрологические характеристики микроскопов представлены в таблице 3.
Таблица 3 - Метрологические характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Модификация |
IQSCAN W21, IQSCAN W32, IQSCAN W33, IQSCAN F40, IQSCAN F50, IQSCAN FIB55, IQSCAN FIB60, IQSCAN HEM60 |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,2 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±4 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ka марганца, эВ, не более* |
129 |
|
Примечание: * - опционально в случае комплектации с ЭДС. | |
Технические и эксплуатационные характеристики микроскопов представлены в таблицах 4-7.
Таблица 4 - Технические характеристики микроскопов модификаций: IQSCAN W21, IQSCAN
W32, IQSCAN W33
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация |
IQSCAN W21 |
IQSCAN W32 |
IQSCAN W33 |
|
Источник электронов |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод | ||
|
Тетродная схема |
- |
да |
- |
|
Диапазон ускоряющего напряжения, кВ* |
от 0,2 до 30 |
от 0,1 до 30 | |
|
Разрешение, нм, не более |
3,0 |
2,5 | |
|
Диапазон наклона столика образцов* |
- |
от -10° до +70° | |
|
Модификация |
IQSCAN W21 |
IQSCAN W32 |
IQSCAN W33 |
|
Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X - по оси Y - по оси Z |
110 110 50 |
110 110 65 | |
|
Диапазон вращения столика образцов |
- |
от 0° до 360° | |
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота |
3200 1700 2200 | ||
|
Масса, кг, не более |
700 |
800 |
900 |
Продолжение таблицы 4
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Увеличение, крат* |
от 17 до 1 000 000 |
от 17 до 1 000 000 |
|
Давление в камере, Па, не более |
540-4 | |
|
Примечание: * - Указан минимальный диапазон, опционально может быть расширен. | ||
Таблица 5 - Технические характеристики микроскопов модификаций IQSCAN F40, IQSCAN F50,
IQSCAN HEM60______________._________________________________________________.
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация |
IQSCAN F40 |
IQSCAN F50 |
IQSCAN HEM60 |
|
Источник электронов |
Автоэмиссионный катод |
Шоттки | |
|
Разрешение, нм, не более |
0,9 |
0,7 |
1,5 |
|
Диапазон ускоряющего напряжения, кВ* |
от 0,2 до 30 |
от 0,02 до 30 |
от 0,1 до 30 |
|
Диапазон наклона столика образцов* |
от -10° до +70° |
- | |
|
Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X - по оси Y - по оси Z |
110 110 50 |
110 110 50 |
110 110 16 |
|
Диапазон вращения столика образцов |
от 0° до 360° |
- | |
|
Модификация |
IQSCAN F40 |
IQSCAN F50 |
IQSCAN HEM60 |
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота |
3200 1700 2200 | ||
|
Масса, кг, не более |
1200 |
1400 |
1500 |
|
Увеличение, крат* |
от 17 до 1 000 000 |
от 17 до 2 500 000 |
от 66 до 1 000 000 |
|
Давление в камере, Па, не более |
540-4 | ||
|
Примечание: * - Указан минимальный диапазон, опционально может быть расширен. | |||
Таблица 6 - Технические характеристики микроскопов модификаций IQSCAN FIB55, IQSCAN FIB60
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Модификация |
IQSCAN FIB55 |
IQSCAN FIB60 |
|
Источник электронов |
Автоэмиссионный катод Шоттки | |
|
Ионная колонна |
да | |
|
Разрешение, нм, не более |
0,9 |
0,7 |
Продолжение таблицы 6
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Диапазон ускоряющего напряжения, кВ* |
от 0,02 до 30 | |
|
Диапазон наклона столика образцов* |
от -10° до +70° | |
|
Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X - по оси Y - по оси Z |
110 110 65 |
110 110 65 |
|
Диапазон вращения столика образцов |
от 0° до 360° | |
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота |
3200 1700 2200 | |
|
Масса, кг, не более |
1600 |
1800 |
|
Увеличение, крат* |
от 17 до 2 500 000 | |
|
Давление в камере, Па, не более |
540-4 | |
|
Примечание: * - Указан минимальный диапазон, опционально может быть расширен. | ||
Таблица 7 - Эксплуатационные характеристики микроскопов
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация |
IQSCAN W21, IQSCAN W32, IQSCAN W33 |
IQSCAN F40, IQSCAN F50, IQSCAN HEM60 |
IQSCAN FIB55, IQSCAN FIB60 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более |
от +20 до +25 50 |
от +17 до +25 65 |
от +20 до +25 60 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
от 207 до 253 от 47,5 до 52,5 | ||
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Комплектность средства измерений представлена в таблице 8
Таблица 8 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный |
IQSCAN |
1 шт. |
|
Компьютер с ПО |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в п. 7.8. «ИЗМЕРЕНИЕ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ» документов «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN W21. Руководство по эксплуатации», «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN W32. Руководство по эксплуатации», «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN W33. Руководство по эксплуатации»; в п. 7.4.1 «Измерение линейных размеров» документов «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN F40. Руководство по эксплуатации», «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN F50. Руководство по эксплуатации», «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN HEM60. Руководство по эксплуатации»; в п. 7.9.1 «Измерение линейных размеров» документов «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN FIB55. Руководство по эксплуатации», «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN FIB60. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657
Стандарт предприятия «Микроскопы сканирующие электронные IQSCAN»