Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D
| Номер в ГРСИ РФ: | 41749-09 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Applied Materials, Inc.", США |
| 41749-09: Описание типа СИ | Скачать | 116.8 КБ |
Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 41749-09 |
| Наименование | Микроскоп сканирующий электронный |
| Модель | NanoSEM-3D |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 36757 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 10 от 05.11.09 п.22 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Applied Materials, Inc.", США
США
3050 Bowers Avenue PO Box 58039 Santa Clara CA 95054 тел. +7(408)727-5555 факс +7(408)748-5119
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 41749-09: Описание типа СИ | Скачать | 116.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением.
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D может использоваться для контроля параметров топографии в плоскости XY при|производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.
Описание
Действие сканирующего электронного микроскопа NanoSEM-3D основано на принципе сканирования исследуемой поверхности пучком электронов, регистрации пространственного распределения электронов и получения топо-граммы поверхности образца.
Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D состоит из основного блока, пульта управления, системы держателя подложек и блока электроники. Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D реализует функцию измерения топографии поверхности кремниевой подложки методом сканирования.
Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений по осям X и Y, мкм (не менее) |
0- 10 |
|
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, нм |
3 |
Технические характеристики
|
Габаритные размеры основного блока, мм |
3269x1786x2200 |
|
Напряжение питания, В |
380±10% |
|
Условия эксплуатации: Класс чистоты по ГОСТ 17216-2001 |
10 |
|
Рабочая частота, Гц |
50+1% |
|
Масса основного блока, кг (не более) |
3400 |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВ А |
12 |
Знак утверждения типа
Знак Утверждения типа наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на основание рамы прибора методом наклейки.
Комплектность
Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
|
№п/п |
Наименование комплектующей части поставки |
Количество |
|
1 |
Базовая конструкция |
1 |
|
2 |
Система бесперебойного пигания(иР8) |
1 |
|
3 |
Система охлаждения |
1 |
|
4 |
Насос робота |
1 |
|
5 |
Насос главной камеры |
1 |
|
6 |
Насос камеры загрузки/выгрузки |
1 |
Поверка
Поверка приборов производится в соответствии с документом по поверке «Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП ВНИИМС в августе 2009 г..
Основные средства поверки: специальная мера периода на основе кремниевой пластины с одномерной протравленной решеткой с периодом 0.1 мкм и погрешностью, не превышающей 1 нм..
Межповерочный интервал 2 года
Заключение
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D (Зав. № U630) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Микроскопы
