41749-09: NanoSEM-3D Микроскоп сканирующий электронный - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 41749-09
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Applied Materials, Inc.", США
Скачать
41749-09: Описание типа СИ Скачать 116.8 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 41749-09
Наименование Микроскоп сканирующий электронный
Модель NanoSEM-3D
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2009
Страна-производитель  США 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 36757
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 10 от 05.11.09 п.22
Производитель / Заявитель

Фирма "Applied Materials, Inc.", США

 США 

3050 Bowers Avenue PO Box 58039 Santa Clara CA 95054 тел. +7(408)727-5555 факс +7(408)748-5119

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП ВНИИМС
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

41749-09: Описание типа СИ Скачать 116.8 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением.

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D может использоваться для контроля параметров топографии в плоскости XY при|производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.

Описание

Действие сканирующего электронного микроскопа NanoSEM-3D основано на принципе сканирования исследуемой поверхности пучком электронов, регистрации пространственного распределения электронов и получения топо-граммы поверхности образца.

Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D состоит из основного блока, пульта управления, системы держателя подложек и блока электроники. Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D реализует функцию измерения топографии поверхности кремниевой подложки методом сканирования.

Основные метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений по осям X и Y, мкм (не менее)

0- 10

Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, нм

3

Технические характеристики

Габаритные размеры основного блока, мм

3269x1786x2200

Напряжение питания, В

380±10%

Условия эксплуатации:

Класс чистоты по ГОСТ 17216-2001

10

Рабочая частота, Гц

50+1%

Масса основного блока, кг (не более)

3400

Максимальная потребляемая мощность, кВ А

12

Знак утверждения типа

Знак Утверждения типа наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на основание рамы прибора методом наклейки.

Комплектность

Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

№п/п

Наименование комплектующей части поставки

Количество

1

Базовая конструкция

1

2

Система бесперебойного пигания(иР8)

1

3

Система охлаждения

1

4

Насос робота

1

5

Насос главной камеры

1

6

Насос камеры загрузки/выгрузки

1

Поверка

Поверка приборов производится в соответствии с документом по поверке «Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП ВНИИМС в августе 2009 г..

Основные средства поверки: специальная мера периода на основе кремниевой пластины с одномерной протравленной решеткой с периодом 0.1 мкм и погрешностью, не превышающей 1 нм..

Межповерочный интервал 2 года

Заключение

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D (Зав. № U630) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Другие Микроскопы

Default ALL-Pribors Device Photo
42432-09
Philips XL 40 Микроскоп электронный растровый
Фирма "Philips Electronics N.V.", Нидерланды
Для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотел...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерения массовых долей элементов в микрообъеме различных материалов: металлов, сплавов, порошков, стружек, геологических пород и т. д., в диапазоне измерений 0,2...100,0 %. Может анализировать любой материал, не разрушающийся в вакууме, измеряя...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерений при проведении металлографических наблюдений и исследований, в том числе при контроле качества образцов в машиностроении, геологии, микроэлектронике и других отраслях промышленности.
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов. Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.