Эллипсометр спектральный APECS 3000

Назначение

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 предназначен для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления.

Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр спектральный модели APECS 3000 как в производстве на межоперационном контроле, так и для научно-исследовательских работ.

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 может применяться в полупроводниковом производстве, производстве головок магнитных дисков, интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок.

Описание

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 состоит из двух основных блоков: измерительного блока и транспортной системы. Измерительный блок включает в себя все оптические компоненты, такие как спектральный эллипсометр, систему автофокуса, систему видеофокуса и выравнивающую систему. Также он включает в себя рабочий столик, систему предварительной центровки пластин, пульт управления питанием, пульт управления оператора и шасси для всей электроники. Транспортная система состоит из двух лифтов для пластин и фильтр блока вентиляторов. В этой части эллипсометра спектрального модели APECS 3000 находятся места подключения к инженерным средам (питание, сжатый воздух, вакуум) и блок основного выключателя.

Оптическая система эллипсометра спектрального модели APECS 3000 состоит из двух основных частей: блока поляризатора (передающее устройство) и блока анализатора (принимающее устройство).

Блок поляризатора состоит из автоматизированного блока ламп, желтого светофильтра со шторкой, нейтрального светофильтра, диафрагмы, детектора интенсивности, поляризатора, фокусирующей оптики. Основная функция блока поляризатора состоит в генерации светового пучка с длиной волны в диапазоне от 320 нм до 800 нм с определенной поляризацией и интенсивностью. Пучок направлен на образец и сфокусирован в области 50 х 50 мкм. Источник света выполнен в виде автоматизированного блока смены ламп, содержащего 6 ксеноновых ламп с суммарным временем жизни около одного года. Новые лампы автоматически юстируются для правильной фокусировки. Перегоревшие лампы могут быть удалены в любое удобное время.

Блок анализатора предназначен для приема отраженного излучения и обработки его эллипсометрических характеристик. Блок анализатора включает оптические компоненты, фазовую пластинку, вращающийся анализатор, спектрометр, приемник излучения.

Технические характеристики

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.

Комплектность

Эллипсометр спектрометрический модели APECS 3000         1 шт.

Поверка

Поверка эллипсометра спектрометрического модели APECS 3000 проводится в соответствии с методикой поверки (Приложение к Руководству по эксплуатации), утвержденной ГЦИ СИ «ВНИИОФИ» в октябре 2009 г.

Основные средства поверки: пластинки эллипсометрические.

Межповерочный интервал -1 год.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Техническая документация фирмы "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия.

Заключение

Тип пластинки эллипсометрические модели APECS 3000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе по импорту и в эксплуатации.