Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M
| Номер в ГРСИ РФ: | 62841-15 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Компания "SEC Co., Ltd.", Корея |
| 62841-15: Описание типа СИ | Скачать | 134.8 КБ |
Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 62841-15 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие электронные |
| Модель | SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 24.12.2020 |
Производитель / Заявитель
Компания "SEC Co., Ltd.", Корея
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 62841-15: Описание типа СИ | Скачать | 134.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип действия микроскопов сканирующих электронных SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M (далее по тексту - микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскопы укомплектованы двумя детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: стандартный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons), который позволяет получать изображения с топографическим контрастом, и детектор отраженных электронов BSE (backscattered electrons), предназначенный для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру.
В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:
- M - наличие детекторов BSE и SE;
- MB - наличие детектора SE;
Микроскоп SNE-4500M имеет мультиапертуру (30/50/100/200 мкм) и возможность контроля низкого вакуума;
Микроскопы имеют различное разрешение и увеличение, количество осей перемещения у стола, которые приведены в таблице 3.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
MiniSEM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.0.4.26855 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
39e500dccdc611943001330a5bb0054b |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует среднему уровню в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пикс |
от 2,65 до 19531 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа, нм |
40 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 2-10’2 до 2-103 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм |
±(4+0,05L*) |
Продолжение таблицы 2
|
Диапазон регулирования увеличения, крат: - для SNE-3000MB - для SNE-3200M - для SNE-4500M |
от 20 до 30000 от 20 до 60000 от 100 до 100000 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5 % |
|
Масса, кг, не более: - для SNE-3000MB |
90 |
|
- для SNE-3200M |
90 |
|
- для SNE-4500M |
98 |
|
- роторный насос |
10 |
|
контроллер к SNE-4500M |
18 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - для SNE-3000MB |
390x640x560 |
|
- для SNE-3200M |
390x640x560 |
|
- для SNE-4500M |
390x330x560 |
|
- роторный насос |
150x200x215 |
|
контроллер к SNE-4500M |
390x310x560 |
|
Условия эксплуатации: - Температура окружающего воздуха, °С |
от 15 до 30 |
|
- Относительная влажность воздуха при 25°С, %, не более |
70% |
|
* - L - линейный размер объекта, нм |
Таблица 3
|
Модификация микроскопа |
Размер столика, мм |
ускоряющее напряжение, кВ |
рабочее расстояние, мм |
разрешение, нм |
|
SNE-3000MB |
Х = 20 У = 20 Z = 80 |
30 |
8 |
20 |
|
SNE-3200MB |
Х = 20 У = 20 Z = 80 |
30 |
8 |
15(SE) 20(BSE) |
|
SNE-4500MB |
Х = 40 У = 40 Z = 80 |
30 |
3 |
5 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Микроскоп электронный сканирующий SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M |
1 |
|
Роторный насос |
1 |
|
Компьютер |
1 |
|
Набор кабелей |
1 |
Продолжение таблицы 4
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Катод |
5 |
|
Масло для насоса |
1 |
|
Набор стандартных изделий |
1 |
|
Канцелярский набор |
1 |
|
Набор инструментов |
1 |
|
Методика поверки МП 010.М1-15 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 010.М1-15 «Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 22.01.2015 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
|
Наименование метрологических характеристик |
Номинальное значение, мкм |
Погрешность, мкм |
|
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм |
2001 |
±2 |
|
Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм |
597 |
±2 |
Сведения о методах измерений
«Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M.
Руководство по эксплуатации» раздел п. 5.1.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
Другие Микроскопы
